【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及真空，具体是关于一种低温吸气剂泵及其制作方法。
技术介绍
1、重离子加速器是研究原子核结构、核反应机制、宇宙演化中的核过程、以及重离子相关前沿科学技术问题的重要工具。随着其应用领域的不断拓展，重离子加速器对高能量、高流强和高束团功率的极限等指标不断提高，超导加速器将会是未来重离子加速器发展的一个主要方向。束流寿命与真空腔室中的残余气体量、涡流效应及阻抗等相关，而离子与残余气体分子/原子碰撞以及离子与真空室壁面碰撞会产生大量气体解吸，从而引发动态真空效应，即出现局部压力升高现象，这会大大影响束流寿命。众所周知，超高/极高真空系统中残余气体主要是氢气、一氧化碳、氦气等。低温吸气剂泵对氢气以及氦气等难以凝结的气体有非常可观的抽速和饱和容量，若系统配备有低温吸气剂泵，则可以将因束流损失而产生的气体及时的进行排出。另一方面，低温吸气剂泵属于捕集式泵，泵中无运动部件、结构简单且造价便宜、且可工作于高电场和磁场的环境中。因此在超导加速器、冶金、化学工业、半导体工业、航天、聚变系统等领域都有着广泛的应用。
2、传统低温吸气剂泵...
【技术保护点】
1.一种低温吸气剂泵，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的低温吸气剂泵，其特征在于，所述低温制剂循环管路包括低温制剂循环入口管和低温制剂循环出口管；
3.根据权利要求1所述的低温吸气剂泵，其特征在于，所述活性碳棒上镀有纯Ti和纯Ag双层薄膜。
4.根据权利要求1所述的低温吸气剂泵，其特征在于，还包括铟薄片，所述铟薄片缠绕在所述低温制剂循环管路外，且位于所述低温制剂循环管路和所述吸附组合体之间。
5.根据权利要求1所述的低温吸气剂泵，其特征在于，还包括第二金属垫片，所述限位件与最上层的所述吸附组合体之间设置所述第二
<...【技术特征摘要】
1.一种低温吸气剂泵，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的低温吸气剂泵，其特征在于，所述低温制剂循环管路包括低温制剂循环入口管和低温制剂循环出口管；
3.根据权利要求1所述的低温吸气剂泵，其特征在于，所述活性碳棒上镀有纯ti和纯ag双层薄膜。
4.根据权利要求1所述的低温吸气剂泵，其特征在于，还包括铟薄片，所述铟薄片缠绕在所述低温制剂循环管路外，且位于所述低温制剂循环管路和所述吸附组合体之间。
5.根据权利要求1所述的低温吸气剂泵，其特征在于，还包括第二金属垫片，所述限位件与最上层的所述吸附组合体之间设置所述第二金属垫片。
6.根据权利要求5所述的低温吸气剂泵，其特征在于，所述第一...
【专利技术属性】
技术研发人员：魏宁斐，罗成，蒙峻，杨建成，柴振，杨伟顺，焦纪强，刘建龙，李长春，谢文君，蔺晓建，马向利，万亚鹏，姚鹏，朱小荣，
申请(专利权)人：中国科学院近代物理研究所，
类型：发明
国别省市：
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