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本发明涉及真空泵的使用方法技术领域，提供了一种钛升华泵的泵芯灯丝除气和升华装置及方法，其中装置包括：钛升华泵、电阻检测模块和电流调节模块，钛升华泵内设置有泵芯，泵芯包括并联的灯丝和回路金属棒；电阻检测模块的一端分别与灯丝和回路金属棒连接，另...
该专利属于中国科学院近代物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院近代物理研究所授权不得商用。

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