本发明专利技术涉及真空泵的使用方法技术领域，提供了一种钛升华泵的泵芯灯丝除气和升华装置及方法，其中装置包括：钛升华泵、电阻检测模块和电流调节模块，钛升华泵内设置有泵芯，泵芯包括并联的灯丝和回路金属棒；电阻检测模块的一端分别与灯丝和回路金属棒连接，另一端与电流调节模块连接，用于检测灯丝与回路金属棒之间的实际电阻，并发送至电流调节模块；电流调节模块与泵芯连接，基于预设电阻与实际电阻进行比对得到比对结果，根据比对结果调节输出电流的电流值，并将输出电流传递至泵芯。本申请提供的装置通过精确调节电流提高除气以及升华效果，能够提高钛升华泵的工作稳定性和效率，使其维持在长期稳定的工作状态。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及真空泵的使用方法，特别涉及一种钛升华泵的泵芯灯丝除气和升华装置及方法。
技术介绍
1、钛升华泵作为加速器超高/极高真空系统的核心真空获得设备，主要包含泵壳、泵芯、电源及附属线缆部件。钛升华泵在启动时，需要先将钛钼合金泵芯灯丝加热到1094℃并持续24h以上，用于除去附着气体，再将泵芯灯丝加热到1470℃并持续3min，使钛升华后附着在泵壳上形成新鲜的钛膜。
2、现有技术中，为了保证足够的除气和升华温度，分别对特定制造的钛钼合金泵芯灯丝施加28a和48a恒定直流电流。但此方法存在以下两方面的问题，第一，由于新加工的泵芯灯丝较粗，通常需要较大电流才能满足除气和升华温度的需求，否则会影响钛泵的出气率和抽速；第二，随着泵芯材料升华而消耗，灯丝截面变细导致电阻增加，根据功率公式p＝i2r，当施加电流保持原有数值不变时，会使得灯丝温度过高而被烧断。同时，灯丝的电阻也会受机械加工和温度的变化而受影响。因此，现有技术中在对钛升华泵的泵芯灯丝除气和升华的过程中，会因为电路中电流值偏高或偏低而导致钛升华泵的效率和寿命降低。
技术实现思路
1、针对上述现有技术存在的不足之处，本专利技术提供了一种钛升华泵的泵芯灯丝除气和升华装置及方法，解决了现有技术中在对钛升华泵的泵芯灯丝进行除气和升华时会受电路中电流值的影响，导致钛升华泵的效率和寿命降低的技术问题。
2、本专利技术一方面提供了一种钛升华泵的泵芯灯丝除气和升华装置，包括：钛升华泵、电阻检测模块和电流调节模块；
3、所述钛升华泵内设置有泵芯，所述泵芯包括灯丝和回路金属棒，所述灯丝与所述回路金属棒并联连接；
4、所述电阻检测模块的一端分别与所述灯丝和所述回路金属棒连接，所述电阻检测模块的另一端与所述电流调节模块连接，所述电阻检测模块用于检测所述灯丝与所述回路金属棒之间的实际电阻，并将所述实际电阻发送至所述电流调节模块；
5、所述电流调节模块还与所述泵芯连接，所述电流调节模块基于预设电阻与所述实际电阻进行比对得到比对结果，根据所述比对结果调节输出电流的电流值，并将所述输出电流传递至所述泵芯。
6、可选地，所述电阻监测模块包括继电器和电阻表，其中，所述继电器包括阳极触角、阴极触角、灯丝触角和回路触角；
7、所述灯丝触角通过线缆与所述灯丝连接，所述回路触角通过线缆与所述回路金属棒连接；
8、所述阳极触角与所述回路金属棒对应设置，所述阳极触角与所述回路触角之间导通或断开；
9、所述阴极触角与所述灯丝对应设置，所述阴极触角与所述灯丝触角之间导通或断开；
10、所述电阻表的一端通过引线与所述阳极触角连接，所述电阻表的另一端通过引线与所述阴极触角连接。
11、可选地，所述灯丝的数量至少为两个，所述灯丝触角的数量与所述灯丝数量的相等，且每一所述灯丝触角与每一所述灯丝一一对应连接；
12、所述阴极触角分别与每一所述灯丝的灯丝触角导通或断开，且所述阴极触角至多与其中一个所述灯丝触角保持导通状态。
13、可选地，所述阴极触角与多个所述灯丝触角之间循环切换导通；
14、当对所述泵芯进行除气时，所述阴极触角与每一所述灯丝触角之间的切换时间为2小时。
15、可选地，当对所述泵芯进行升华时，所述阴极触角与任一所述灯丝触角导通，以对所述灯丝触角对应的所述灯丝进行升华，所述灯丝的升华时间为3分钟。
16、可选地，所述电流调节模块包括plc控制器和可控恒流电源；
17、所述plc控制器分别与所述电阻检测模块和所述可控恒流电源连接，所述plc控制器用于接收所述电流检测模块发送的实际电阻，并将所述实际电阻与所述预设电阻进行比对，得到比对结果，将所述比对结果发送至所述可控恒流电源；
18、所述可控恒流电源还与所述泵芯连接，所述可控恒流电源获取所述比对结果，根据所述比对结果调节所述输出电流，并将所述输出电流传递至所述泵芯。
19、可选地，当所述实际电阻大于所述预设电阻时，所述plc控制器控制所述可控恒流电源减小所述输出电流的电流值；
20、当所述实际电阻小于所述预设电阻时，所述plc控制器控制所述可控恒流电源增大所述输出电流的电流值。
21、可选地，所述可控恒流电源调节输出电流时保持输出功率不变。
22、可选地，所述钛升华泵包括相连接的真空腔体和泵壳，所述灯芯设置在所述泵壳内。
23、本专利技术另一方面提供了一种钛升华泵的泵芯灯丝除气和升华方法，具体应用于上述任一项所述的钛升华泵的泵芯灯丝除气和升华装置中，所述方法包括：
24、所述电阻检测模块检测所述泵芯中所述灯丝与所述回路金属棒之间的实际电阻，并将所述实际电阻发送至所述电流调节模块；
25、所述电流调节模块将所述实际电阻与所述预设电阻进行比对；
26、当所述实际电阻大于所述预设电阻时，所述电流调节模块减小所述输出电流的电流值；
27、当所述实际电阻小于所述预设电阻时，所述电流调节模块增大所述输出电流的电流值；
28、所述电流调节模块将调节后的所述输出电流传递至所述泵芯。
29、本专利技术提供的钛升华泵的泵芯灯丝除气和升华装置及方法，利用电阻检测模块检测灯丝和回路金属棒之间的实际电阻，并将实际电阻发送到电流调节模块，能够精确地调节输出电流的电流值，避免在对泵芯灯丝除气以及升华的过程中，受电流值过高或过低的影响，导致钛升华泵的效率和寿命降低，本申请能够确保钛升华泵的工作稳定性和效率；并且，通过调节输出电流的电流值可以优化泵芯的工作状态，进而提高泵芯的除气效果，有助于提高设备的性能和维护其长期稳定的工作状态；电流调节模块根据预设电阻与实际电阻的比对结果，自动调节输出电流，无需人工干预，使得装置可以根据实际情况做出相应的调整，提高了操作的便利性。综上所述，本申请提供的装置通过精确调节电流提高除气以及升华效果，能够提高钛升华泵的工作稳定性和效率，使其维持在长期稳定的工作状态。。
30、本专利技术的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本专利技术而了解。本专利技术的目的和其他优点可通过在所写的说明书、权利要求书、以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。
31、下面通过附图和实施例，对本专利技术的技术方案做进一步的详细描述。
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【技术保护点】
1.一种钛升华泵的泵芯灯丝除气和升华装置，其特征在于，包括：钛升华泵、电阻检测模块和电流调节模块；
2.根据权利要求1所述的钛升华泵的泵芯灯丝除气和升华装置，其特征在于，所述电阻监测模块包括继电器(3)和电阻表(4)，其中，所述继电器(3)包括阳极触角(36)、阴极触角(35)、灯丝触角和回路触角(34)；
3.根据权利要求2所述的钛升华泵的泵芯灯丝除气和升华装置，其特征在于，所述灯丝的数量至少为两个，所述灯丝触角的数量与所述灯丝数量的相等，且每一所述灯丝触角与每一所述灯丝一一对应连接；
4.根据权利要求3所述的钛升华泵的泵芯灯丝除气和升华装置，其特征在于，所述阴极触角(35)与多个所述灯丝触角之间循环切换导通；
5.根据权利要求3所述的钛升华泵的泵芯灯丝除气和升华装置，其特征在于，当对所述泵芯(2)进行升华时，所述阴极触角(35)与任一所述灯丝触角导通，以对所述灯丝触角对应的所述灯丝进行升华，所述灯丝的升华时间为3分钟。
6.根据权利要求1所述的钛升华泵的泵芯灯丝除气和升华装置，其特征在于，所述电流调节模块包括PLC控制器(6)和可控恒流电源(5)；
7.根据权利要求6所述的钛升华泵的泵芯灯丝除气和升华装置，其特征在于，
8.根据权利要求1所述的钛升华泵的泵芯灯丝除气和升华装置，其特征在于，所述可控恒流电源(5)调节输出电流时保持输出功率不变。
9.根据权利要求1所述的钛升华泵的泵芯灯丝除气和升华装置，其特征在于，所述钛升华泵包括相连接的真空腔体(7)和泵壳(1)，所述灯芯设置在所述泵壳(1)内。
10.一种钛升华泵的泵芯灯丝除气和升华方法，其特征在于，所述方法应用于权利要求1至9中任一项所述的钛升华泵的泵芯灯丝除气和升华装置中，所述方法包括：
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【技术特征摘要】
1.一种钛升华泵的泵芯灯丝除气和升华装置，其特征在于，包括：钛升华泵、电阻检测模块和电流调节模块；
2.根据权利要求1所述的钛升华泵的泵芯灯丝除气和升华装置，其特征在于，所述电阻监测模块包括继电器(3)和电阻表(4)，其中，所述继电器(3)包括阳极触角(36)、阴极触角(35)、灯丝触角和回路触角(34)；
3.根据权利要求2所述的钛升华泵的泵芯灯丝除气和升华装置，其特征在于，所述灯丝的数量至少为两个，所述灯丝触角的数量与所述灯丝数量的相等，且每一所述灯丝触角与每一所述灯丝一一对应连接；
4.根据权利要求3所述的钛升华泵的泵芯灯丝除气和升华装置，其特征在于，所述阴极触角(35)与多个所述灯丝触角之间循环切换导通；
5.根据权利要求3所述的钛升华泵的泵芯灯丝除气和升华装置，其特征在于，当对所述泵芯(2)进行升华时，所述阴极触角(35)...
【专利技术属性】
技术研发人员：柴振，蒙峻，杨建成，焦纪强，谢文君，魏宁斐，朱小荣，马向利，罗成，万亚鹏，
申请(专利权)人：中国科学院近代物理研究所，
类型：发明
国别省市：
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