【技术实现步骤摘要】
一种检测炉管真空泵漏率方法
本专利技术涉及太阳能电池生产领域。
技术介绍
工业化光伏电池生产过程中,设备的完好性可保证工艺的稳定,而镀膜工艺设备真空泵的漏率问题,直接关系镀膜质量的好坏,由于专业侧漏设备价格高昂,且操作复杂,不利于在生产过程中的应用。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是:如何提供一种可快速检测炉管真空泵漏率方法。本专利技术所采用的技术方案是:一种检测炉管真空泵漏率方法,按如下步骤进行步骤一、将待测真空泵安装在炉管上,启动待测真空泵抽真空,检测炉管内部压力是否可以低于50mTorr,如果不能,说明真空泵漏率大于等于2000PaL/S;步骤二、对同一个炉管,首先采用完好的真空泵对炉管抽真空,当炉管内的压力为300mTorr,给炉管通气,保持炉管内的压力不变,每隔一分钟,测量通气流量S与真空泵蝶阀开度γ的对应关系,以γ为横坐标,S为纵坐标,建立直接坐标系,拟合得到斜率为β的一条直线;步骤三、将待测真空泵安装在炉管上,启动启动待测真空泵抽真空,当炉管内的压力为300mTorr,给炉管通气,保持炉管内的压力不变,观察待测真空泵蝶阀开度γ,待其稳定后得到真空泵蝶阀开度γ0,待测真空泵漏率Q漏=Pstp*(β/γ0),其中,Pstp为炉管内外压力差,Pstp取大气压,如果Q漏大于等于800PaL/S,则得到待测真空泵漏率Q漏即为待测真空泵的真实漏率,否则进行步骤四;步骤四、对同一个炉管,首先采用完好的真空泵对炉管抽真空,当炉管内的压力低于50mT ...
【技术保护点】
1.一种检测炉管真空泵漏率方法,其特征在于:安如下步骤进行/n步骤一、将待测真空泵安装在炉管上,启动待测真空泵抽真空,检测炉管内部压力是否可以低于50mTorr,如果不能,说明真空泵漏率大于等于2000PaL/S;/n步骤二、对同一个炉管,首先采用完好的真空泵对炉管抽真空,当炉管内的压力为300mTorr,给炉管通气,保持炉管内的压力不变,每隔一分钟,测量通气流量S与真空泵蝶阀开度γ的对应关系,以γ为横坐标,S为纵坐标,建立直接坐标系,拟合得到斜率为β的一条直线;/n步骤三、将待测真空泵安装在炉管上,启动启动待测真空泵抽真空,当炉管内的压力为300mTorr,给炉管通气,保持炉管内的压力不变,观察待测真空泵蝶阀开度γ,待其稳定后得到真空泵蝶阀开度γ
【技术特征摘要】
1.一种检测炉管真空泵漏率方法,其特征在于:安如下步骤进行
步骤一、将待测真空泵安装在炉管上,启动待测真空泵抽真空,检测炉管内部压力是否可以低于50mTorr,如果不能,说明真空泵漏率大于等于2000PaL/S;
步骤二、对同一个炉管,首先采用完好的真空泵对炉管抽真空,当炉管内的压力为300mTorr,给炉管通气,保持炉管内的压力不变,每隔一分钟,测量通气流量S与真空泵蝶阀开度γ的对应关系,以γ为横坐标,S为纵坐标,建立直接坐标系,拟合得到斜率为β的一条直线;
步骤三、将待测真空泵安装在炉管上,启动启动待测真空泵抽真空,当炉管内的压力为300mTorr,给炉管通气,保持炉管内的压力不变,观察待测真空泵蝶阀开度γ,待其稳定后得到真空泵蝶阀开度γ0,待测真空泵漏率Q漏=Pstp*(β/γ0),其中,Pstp为炉管内外压力差,Pstp取...
【专利技术属性】
技术研发人员:杨飞飞,张波,赵科巍,刘东林,申开愉,梁玲,李雪方,张云鹏,郭丽,吕爱武,杜泽霖,李陈阳,
申请(专利权)人:山西潞安太阳能科技有限责任公司,
类型:发明
国别省市:山西;14
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