统计过程控制方法及装置制造方法及图纸

一种统计过程控制方法及装置，所述统计过程控制方法包括应用界限对测量数据进行失控分析，所述界限通过下述方法获得：设定容限系数；根据标准正态累积分布函数获得对应所设定的容限系数的正态分布概率值；根据百分位数函数和所述测量数据获得对应所述正态分布概率值的界限。由于以百分位数函数所得界限对测量数据进行失控分析既可适用于数据为正态分布的情况，也可适用于数据为非正态分布的情况，还可适用于数据为双峰或多峰且非正态分布的情况，因而所述统计过程控制方法及装置解决了现有技术统计过程控制方法不适用于非正态分布数据的问题。

Statistical process control method and apparatus

A statistical process control method and device, including the application limits of the measurement data is out of control analysis the statistical process control, the bounds obtained by the following methods: setting tolerance coefficient; according to the standard normal cumulative distribution function to obtain the tolerance distribution coefficient values corresponding to the set according to the percent; number function and the measurement data obtained limit corresponding to the normal distribution of probability. Due to the percentile function limits the measurement data is out of control can be applied to data analysis for the normal distribution, can also apply to the data for the non normal distribution, but also can be applied to the data for Shuangfeng or multi peak and non normal distribution, so the statistical process control method and device solves the statistical process control method is not applicable to non normal distribution data problem.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种统计过程控制方法及装置。
技术介绍
统计过程控制(SPC, Statistical Process Control)是目前生产过程中控制稳 定产出的主要工具之一，在生产型企业的质量管理控制中应用的非常广泛。 有效的实施、应用SPC可以及时发现生产过程中的问题，采取适当的改善措施， 在发生问题之前，消除问题或降低问题带来的损失。统计过程控制的含义是"使用控制图等统计技术来分析过程或其输出， 以便采取必要的措施获得且维持统计控制状态，并提高过程能力"。实施统计过 程控制分为两个阶段， 一是分析阶段，二是监控阶段。分析阶段是在生产准 备完成后，用过去稳定生产过程中收集的多组样本数据计算控制图的控制界， 做成分析用控制图、直方图、或进行过程能力分析，检验生产过程是否处于 统计稳态、以及过程能力是否足够。如果任何一个不能满足，则寻找原因， 进行改进，并重新准备生产及分析，直到达到了分析阶段的两个目的，则分 析阶段可以宣告结束，进入统计过程控制监控阶段，此时分析用控制图转化 为控制用控制图。监控阶段的主要工作是使用控制用控制图进行监控，其中， 控制图的控制界已经根据分析阶段的结果而确定，新的生产过程的数据也及 时绘制到控制图上，并密切观察控制图，控制图中点的波动情况可以显示出 过程受控或失控，如果发现失控，则寻找原因并尽快消除其影响。监控可以 充分体现出统计过程控制预防控制的作用。在工厂的实际应用中，对于每个 控制项目，都必须经过以上两个阶段，并在必要时会重复进行这样从分析到 监控的过程。5对于控制图中控制界的确定方法有多种，在例如申请号为200480037968.6 的中国专利申请中还能发现更多与确定控制界相关的内容。 -目前在生产过程中应用统计过程控制的时候，通常都是先计算所要进行 质量控制的数据的方差(Sigma),然后根据对数据的分析情况选用合适的容 限系数，并将容限系数和方差的乘积作为控制界。而WECO rules作为一种较 经典的确定控制界并根据控制界进行监控的方法，可以适用于大多数的情况。 WECO rules包括下列5条规则1 )设置3sigma控制界，如果所测数据中有 任意一点数据位于3sigma控制界所覆盖的数据范围之外，那么该点数据就是 失控数据2 )设置2sigma控制界，如果所测数据中的连续三点中任意两点的 数据位于2sigma之外，那么该三点的数据就是失控数据3 )设置lsigma控制 界，如果所测数据中的连续五点中有任意4点位于lsigma之外，那么该五点 数据就是失控数据4 )如果所测数据中有至少连续8个点在平均值的一边，那 么所述数据就是失控数据5 )如果所测数据有至少连续6个点呈单调上升或单 调下降，那么所述数据就是失控数据。当然，应用WECO rules有一个重要的 前提就是所釆集测量数据在时间上需要具有连续性，即所述测量数据是在一 段时间内连续釆集的，并且所述测量数据的数据分布要符合正态分布，因为 只有这样，才能够>^人所采集的测量数据中准确分析出制程中的缺陷。而对于非正态分布的测量数据，应用WECO rules就会出现较大误差，影 响统计过程控制的准确性。
技术实现思路
本专利技术提供一种统计过程控制方法及装置，解决现有技术统计过程控制 方法不适用于非正态分布数据的问题。为解决上述问题，本专利技术提供一种统计过程控制方法，包括应用界限对6，所述界限通过下述方法获得设定容限系数；根据 标准正态累积分布函数获得对应所设定的容限系数的正态分布概率值；根据 百分位数函数和测量数据获得对应所述正态分布概率值的界限。可选的，当所设定的容限系数为第一容限系数时，所述界限为第一界限； 所述应用界限对测量数据进行失控分析包括设定第一规则若所述测量数据中的任意一点超过第一界限覆盖的数据 范围，所述测量数据为失控数据；采用所述第 一规则对测量数据进行失控分析。可选的，当所设定的容限系数为第二容限系数时，所述界限为第二界限； 所述应用界限对测量数据进行失控分析包括设定第二规则若所述测量数据任意连续三点数据中的任意两点数据在 同一边超过第二界限覆盖的数据范围，所述测量数据为失控数据；采用所述第二规则对测量数据进行失控分析。可选的，当所设定的容限系数为第三容限系数时，所述界限为第三界限； 所述应用界限对测量数据进行失控分析包括设定第三规则若所述测量数据任意连续五点数据中的任意四点数据在 同 一边超过第三界限覆盖的数据范围，所述测量数据为失控数据；采用所述第三规则对测量数据进行失控分析。可选的，所述统计过程控制方法还包括采用第四规则对测量数据进行失 控分析，所述第四规则为若所测量数据中有至少连续八个点的数据均大于 或均小于第四界限，所述测量数据为失控数据；其中，所述第四界限为所测 量数据的中位值。可选的，所述统计过程控制方法还包括采用第五规则对测量数据进行失7控分析，所述第五规则为若所测量数据中有至少连续六个点的数据呈现单调上升或单调下降的趋势，则所述测量数据为失控数据。本专利技术提供一种统计过程控制装置，包括，计算单元，用于根据标准正态累积分布函数获得对应所设定的容限系数的正态分布概率值，并根据百分位数函数和测量数据获得对应所述正态分布概率值的界限；分析单元，用于读取计算单元获得的界限，对测量数据进行失控分析。可选的，所述计算单元包括第一计算单元，所述第一计算单元用于根据标准正态累积分布函数获得对应所设定的第 一容限系数的正态分布概率值，并根据百分位数函数和测量数据获得对应所述正态分布概率值的第一界限；所述分析单元包括第 一分析单元，所述第 一分析单元用于读取第 一计算单元的第一界限，并设定第一规则对测量数据进行失控分析，所述第一规则为若所述测量数据中的任意一点超过第一界限覆盖的数据范围，所述测量数据为失控数据。可选的，所述计算单元还包括第二计算单元，所述第二计算单元用于根据标准正态累积分布函数获得对应第二容限系数的正态分布概率值，并根据百分位数函数和测量数据获得对应所述正态分布概率值的第二界限；所述分析单元还包括第二分析单元，所述第二分析单元用于读取第二计算单元的第二界限，并设定第二规则对测量数据进行失控分析，所述第二规则为若所述测量数据任意连续三点数据中的任意两点数据在同 一边超过第二界限覆盖的数据范围，所述测量数据为失控数据。可选的，所述计算单元还包括第三计算单元，所述第三计算单元用于根据标准正态累积分布函数获得对应第三容限系数的正态分布概率值，并根据百分位数函数和测量数据获得对应所述正态分布概率值的第三界限；所述分8析单元还包括第三分析单元，所述第三分析单元用于读取第三计算单元的第三界限，并设定第三规则对测量数据进行失控分析，所述第三规则为若所述测量数据任意连续五点数据中的任意四点数据在同一边超过第三界限覆盖的数据范围，所述测量数据为失控数据。可选的，所述统计过程控制装置还包括第四计算单元，所述第四计算单元用于计算所测量数据的中位值作为第四界限；所述统计过程控制装置还包括第四分析单元，所述第四分析单元用于读取第四计算单元的第四界限，并设定第四规则对测量数据进行失控分析，所述第四规则为若所述测量数据中有至少连续八个点的数据均大于或均小于第四界限，所述测量数据为失控数据。可本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种统计过程控制方法，其特征在于，包括应用界限对测量数据进行失控分析，所述界限通过下述方法获得：设定容限系数；根据标准正态累积分布函数获得对应所设定的容限系数的正态分布概率值；根据百分位数函数和所述测量数据获得对应所述正态分布概率值的界限。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：杨斯元，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]