本发明专利技术提供制造太阳能电池用的燧道炉传送带及其制造方法。制造太阳能电池用的燧道炉传送带用“镍铬合金带”构成，其特征是，传送带上表面设置多个“镍铬合金”构成的支撑柱，在支撑柱顶表面涂覆陶瓷层（即Ａｌ↓［２］Ｏ↓［３］）。按照本发明专利技术方法制造的制造太阳能电池用的燧道炉传送带，在制造太阳能电池的过程中“镍铬合金带”构成的燧道炉传送带不与硅晶片直接接触，避免了“镍铬合金带”中包含的金属污染硅晶片；而且能承受燧道炉中高达９００℃－１０００℃的烧结高温。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及燧道炉用传送带，特别涉及。
技术介绍
电子元器件制造行业中通常用燧道炉作为烧结工具，燧道炉传送带在燧道炉中传送要烧结的元器件。太阳能电池制造过程中，被加工件硅片在燧道炉中靠燧道炉传送带传送，来进行干燥和烧结由丝网印刷机印刷的制造电极的浆料，或是用于磷扩散磷源(P2O5)，在P-型硅片表面上形成导电电极，或N-阱，形成PN结。现有的燧道炉传送带的制作材料通常为“镍铬合金带”，即“不锈钢带”。但是“镍铬合金带”中包含有铁(Fr)、镍(Ni)、和铬(Cr)。如果用镍铬合金带制成的燧道炉传送带在高达900℃-1000℃高温的燧道炉中传送被加工件，因镍铬合金中含有的金属元素会迁移到被加工的硅片中，导致太阳能电池的转换效率的下降。如果用其它的非金属材料制造燧道炉传送带，则不能承受高达900℃-1000℃的烧结高温。为了克服现有的镍铬合金制作的燧道炉传送带造成对太阳能电池的污染，和非金属燧道炉传送带不能承受高达900℃-1000℃的烧结高温的缺点，提出本专利技术。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供制造太阳能电池用燧道炉的传送带及其制造方法，使燧道炉传送带在制造太阳能电池的过程中“镍铬合金带”构成的燧道炉传送带不与硅晶片直接接触，避免了“镍铬合金带”中包含的金属污染硅晶片；而且能承受燧道炉中高达900℃-1000℃的烧结高温。为达到上述目的，本专利技术提供制造太阳能电池用的燧道炉传送带用“镍铬合金带”构成，传送带表面设置“镍铬合金带”构成的多个支撑柱，在支撑柱顶表面涂覆陶瓷层(即Al2O3层)。本专利技术提供制造太阳能电池用的燧道炉传送带的制造方法，包括以下工艺步骤步骤1，冲压“镍铬合金带”，在其正面上形成向上突起的多个支撑柱；步骤2，多个支撑柱顶表面利用等离子微弧陶瓷层技术涂覆陶瓷层。进一步，步骤2中传送带支撑柱表面涂覆Al2O3替换为涂覆碳化硅(SIC)；同样采用等离子微弧技术处理。等离子微弧陶瓷层技术是一种在有色金属表面原位生长陶瓷层的高新技术，它的原理是在工件表面生长阳极化膜的同时，通过等离子微电弧的高温把阳极化膜的非晶结构转变为陶瓷相，从而提高其耐磨性、耐蚀性、耐高温烧蚀性等性能。微弧处理中只放出氢、氧气体；工件微弧处理后，用清水冲洗即可；微弧处理的槽液(PH9～10)，显微碱性，不含重金属等污染物。整个处理过程无污染，属清洁表面处理工艺，符合环保要求。本专利技术的有益效果是，按照本专利技术方法制造的制造太阳能电池用的燧道炉传送带，在制造太阳能电池的过程中“镍铬合金带”构成的燧道炉传送带不与硅晶片直接接触，避免了“镍铬合金带”中包含的金属污染硅晶片。而且能承受燧道炉中高达900℃-1000℃的烧结高温。附图说明图1是按照本专利技术一个实施例制造太阳能电池用的燧道炉剖视图，在燧道炉传送带表面上设置的“镍铬合金带”的构成多个支撑柱顶表面涂覆有陶瓷(Al2O3)层。具体实施例方式图1是按照本专利技术一个实施例制造太阳能电池用的燧道炉剖视图，在燧道炉传送带上的元器件支撑柱顶部涂覆陶瓷(Al2O3)层。参见图1，按照本专利技术的技术方案，提供制造太阳能电池用的燧道炉传送带，它用“镍铬合金带”构成，传送带表面上设置“镍铬合金带”构成的多个支撑柱，在支撑柱表面涂覆陶瓷层(即Al2O3层)。所用Al2O3陶瓷粉的纯度是99.99％；密度是3.98g/cm3；硬度是9(Mohs)；熔点是2040℃。按照本专利技术的另一个技术方案，提供制造太阳能电池用的燧道炉传送带的制造方法，包括以下工艺步骤步骤1，冲压“镍铬合金带”，在其正面上形成向上突起的多个支撑柱；步骤2，多个支撑柱顶表面利用等离子微弧陶瓷层技术涂覆陶瓷层。是以纯度为99.99％、密度为3.98g/cm3、硬度为9(Mohs)、熔点是2040℃的陶瓷粉为原料。经过步骤1和2处理的“镍铬合金带”，使粘结材料熔化到Al2O3粉和“镍铬合金带”中，将Al2O3粉和“镍铬合金带”粘结在一起，构成本专利技术的燧道炉传送带。以上用实施例说明了本专利技术提供的。按本专利技术的制造太阳能电池用的燧道炉传送带不仅用于制造太阳能电池，也可以用于制造需要防止金属离子污染的其他电子元器件。本专利技术不限于本文中的详细描述。本行业的技术人员应了解，本专利技术能以其他的形式实施。因此，按本专利技术的全部技术方案，所列举的实施方式只是用于说明本专利技术而不是限制本专利技术，并且，本专利技术不局限于本文中描述的细节。本专利技术要求保护的范围由所附的权利要求书界定。权利要求1.制造太阳能电池用的燧道炉传送带，它用“镍铬合金带”构成，其特征是，传送带上表面设置多个“镍铬合金带”构成的支撑柱，在支撑柱表面涂覆陶瓷层(即Al2O3)。2.制造太阳能电池用的燧道炉传送带的制造方法，包括以下步骤步骤1，冲压“镍铬合金带”，在其正面上形成向上突起的多个支撑柱；步骤2，利用等离子微弧陶瓷层技术在支撑柱表面涂覆陶瓷层Al2O3。3.如权利要求1所述的制造太阳能电池用的燧道炉传送带的制造方法，其特征是，步骤2中传送带支撑柱表面涂覆Al2O3替换为涂覆碳化硅(SIC)。全文摘要本专利技术提供。制造太阳能电池用的燧道炉传送带用“镍铬合金带”构成，其特征是，传送带上表面设置多个“镍铬合金”构成的支撑柱，在支撑柱顶表面涂覆陶瓷层(即Al文档编号F27B9/30GK1920458SQ20051002914公开日2007年2月28日 申请日期2005年8月26日 优先权日2005年8月26日专利技术者陈卓明, 苏晓平, 江彤 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司本文档来自技高网...
【技术保护点】
制造太阳能电池用的燧道炉传送带，它用“镍铬合金带”构成，其特征是，传送带上表面设置多个“镍铬合金带”构成的支撑柱，在支撑柱表面涂覆陶瓷层（即Ａｌ↓［２］Ｏ↓［３］）。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈卓明，苏晓平，江彤，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。