The invention provides a cutting method of a workpiece, which is carried out by a wire saw. In the wire saw, a fixed abrasive steel wire with abrasive particles fixed on the surface is wound on a plurality of grooved rollers to form a steel wire array, and the fixed abrasive steel wire is sent out from one of a group of coilers and taken up to another coiler, and the fixed abrasive steel wire is reciprocally moved along the axial direction, In addition, the workpiece is cut into the steel wire array for feeding, and the workpiece is cut off at multiple positions arranged along the axial direction at the same time, which is characterized in that the abrasive wear step is carried out before the workpiece is cut off, wherein the abrasive wear step is carried out by moving the fixed abrasive steel wire which is not accompanied with the cutting of the workpiece, so that the fixed abrasive steel wires are rubbed against each other in the coiler, while the fixed abrasive steel wires are fixed The surface of the abrasive steel wire is trimmed, and in the abrasive wear step, the surface of the fixed abrasive steel wire is trimmed for more than 30 minutes. Thus, a cutting method of a workpiece capable of simply finishing a fixed abrasive steel wire at a low cost and being able to inhibit the thickness change of a wafer is provided.
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】工件的切断方法
本专利技术涉及一种工件的切断方法。
技术介绍
目前,作为从例如硅铸块、化合物半导体铸块等工件切出晶圆的装置,已知具备在表面固定有磨粒的固定磨粒钢线的线锯。对于该固定磨粒方式的线锯,通过在多个滚轮的周围卷绕多个切断用的固定磨粒钢线以形成钢线列,并通过在轴向上高速驱动该固定磨粒钢线,且适当供给加工液并且将工件相对于钢线列切入进给,从而该工件在各钢线位置被同时切断。这里,图4显示使用一般的固定磨粒钢线的线锯的一例。如图4所示,该固定磨粒方式的线锯101主要由:在钢线(高张力钢线)的表面固定有磨粒并用于切断工件W的固定磨粒钢线102、固定磨粒钢线102所卷绕的带沟滚轮103、带沟滚轮103’、由卷绕于带沟滚轮103的固定磨粒钢线102所构成的钢线列111、用于赋予固定磨粒钢线102张力的机构104、机构104’、将所切断的工件W向下方送出的装置105、以及在切断时供给冷却液109(也称为冷却剂)的机构106所构成。固定磨粒钢线102被从一端的卷线器107送出,经过张力赋予机构104进入带沟滚轮103。固定磨粒钢线102在卷绕带沟滚轮103、带沟滚轮103’300至400圈之后,经过另一端的张力赋予机构104’被卷取至卷线器107’。另外,带沟滚轮103及带沟滚轮103’是在钢铁制圆筒的周围压入聚氨酯树脂,并在其表面以固定间距切出沟的滚轮,所卷绕的固定磨粒钢线102,藉由驱动用马达110而能够以所预定的周期于往复方向驱动。另外,在切断工件W时,工件W由工件输送构件105保持并被相 ...
【技术保护点】
1.一种工件的切断方法,所述方法通过线锯进行,在所述线锯中,将表面固定有磨粒的固定磨粒钢线通过卷绕于多个带沟滚筒以形成钢线列,所述固定磨粒钢线从一组的卷线器中的其中一个卷线器送出并被卷取至另一个卷线器,通过使所述固定磨粒钢线沿轴向往复移动,并且将工件向所述钢线列切入进给,而将所述工件在沿轴向排列的多个位置同时切断,其特征在于,/n在开始切断所述工件之前进行磨粒磨损步骤,其中,所述磨粒磨损步骤通过进行不伴随所述工件的切断的所述固定磨粒钢线的移动,从而在所述卷线器内使所述固定磨粒钢线彼此互相磨擦,而对所述固定磨粒钢线的表面进行修整,并且在所述磨粒磨损步骤中,对所述固定磨粒钢线的表面进行30分钟以上的修整。/n
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170404 JP 2017-0747791.一种工件的切断方法,所述方法通过线锯进行,在所述线锯中,将表面固定有磨粒的固定磨粒钢线通过卷绕于多个带沟滚筒以形成钢线列,所述固定磨粒钢线从一组的卷线器中的其中一个卷线器送出并被卷取至另一个卷线器,通过使所述固定磨粒钢线沿轴向往复移动,并且将工件向所述钢线列切入进给,而将所述工件在沿轴向排列的多个位置同时切断,其特征在于,
在开始切断所述工件之前进行磨粒磨损步骤,其中,所述磨粒磨损步骤通过进行不伴随所述工件的切断的所述固定磨粒钢线的移动,从而在所述卷线器内使所述固定磨粒钢线彼此互相磨擦,而对所述固定磨粒钢线的表面进行修整,并且在所述磨粒磨损步骤中,对所述固定磨粒钢线的表面进行30分钟以上的修整。
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