【技术实现步骤摘要】
多晶硅片打磨装置
本技术涉及太阳能电池用硅片制绒机,具体涉及多晶硅片打磨装置。
技术介绍
多晶硅片打磨装置包括制绒设备和清洗设备;所述制绒设备用于将多晶硅片的表面打毛,打毛后的多晶硅片进入所述清洗设备中,通过与氢氟酸反应来清洗掉多余的硅屑。在二氧化硅与氢氟酸反应的同时会产生四氟化硅气体和氢氟酸蒸气等氟化物,若多余的四氟化硅气体和氢氟酸蒸气不及时排出清洗室,会造成硅片表面过度腐蚀,另外还有泄露的风险,所述四氟化硅气体有毒性,氢氟酸具有腐蚀性,一旦泄露对工作人员的人身安全会造成损害。
技术实现思路
为了解决现有技术中存在的不足,本技术提供一种多晶硅片打磨装置,所述多晶硅片打磨装置,能够及时排出并处理氟化物,从而能够保证多晶硅片打磨工艺能够精准、安全、环保地进行。根据本技术提供的技术方案,一种多晶硅片打磨装置,所述多晶硅片打磨装置包括制绒设备、清洗设备和抽风设备,所述制绒设备和清洗设备相连;所述抽风设备包括抽风管、抽风泵和信号采集系统;所述抽风泵和信号采集系统设置在所述抽风管中,抽风设备的抽风端连接所述清洗设备的清洗室。进一步地,靠近排气端所述抽风管中设有单向阀,气体在所述单向阀位置处的流通方向为所述抽风管的抽风端至抽风管的排气端。进一步地,所述信号采集系统包括压力传感器和氟化物检测器,所述氟化物检测器和压力传感器安装在抽风管的抽风端位置处。进一步地,所述抽风设备还包括连在所述抽风管排风端的氟化物反应罐。进一步地,所述信号采集系统的输出端连接控制器的输入端,所述控制器的控制端连接抽风泵。进一步地,所述控制器采用型号为STM32的单片机。从以上所述可以看出,本技术提供 ...
【技术保护点】
1.一种多晶硅片打磨装置,所述多晶硅片打磨装置包括相连的制绒设备(100)和清洗设备(200),其特征在于,还包括抽风设备(300),所述抽风设备(300)包括抽风管(310)、抽风泵(320)和信号采集系统(330);所述抽风泵(320)和信号采集系统(330)设置在所述抽风管(310)中,抽风设备(300)的抽风端连接所述清洗设备(200)的清洗室。
【技术特征摘要】
1.一种多晶硅片打磨装置,所述多晶硅片打磨装置包括相连的制绒设备(100)和清洗设备(200),其特征在于,还包括抽风设备(300),所述抽风设备(300)包括抽风管(310)、抽风泵(320)和信号采集系统(330);所述抽风泵(320)和信号采集系统(330)设置在所述抽风管(310)中,抽风设备(300)的抽风端连接所述清洗设备(200)的清洗室。2.如权利要求1所述的多晶硅片打磨装置,其特征在于,靠近排气端所述抽风管(310)中设有单向阀(311),气体在所述单向阀(311)位置处的流通方向为所述抽风管(310)的抽风端至抽风管(310)的排气端。3.如权利要求1所述的多晶硅...
【专利技术属性】
技术研发人员:杜东恒,陈龙,
申请(专利权)人:无锡尚德太阳能电力有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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