化学水浴镀膜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术是关于一种化学水浴镀膜装置。该装置包括：反应槽，包括固定结构，固定结构用于固定放置于反应槽内的待镀膜衬板；馈入单元，设置在反应槽的槽内，与放置于反应槽内的待镀膜衬板平行，馈入单元内部中空，用于缓存加热后的反应液；馈入单元的第一侧面有喷射口，第一侧面为朝向待镀膜衬板的面，其中，第一侧面在待镀膜衬板的待镀膜面上的正投影的面积至少占待镀膜面面积的预设比值；加热器，位于反应槽外，通过导管与馈入单元连通，使加热后的反应液注入馈入单元。该技术方案可以提升反应槽内反应液的浓度和温度的均匀性，避免由于反应槽的底部与上部的反应液的浓度、温度相差较大，所造成的在待镀膜衬板上沉积的薄膜的厚度不均匀的问题。

Chemical Water Bath Coating Device

【技术实现步骤摘要】
化学水浴镀膜装置
本技术涉及表面工程
，尤其涉及一种化学水浴镀膜装置。
技术介绍
在铜铟镓硒薄膜太阳能电池的多层薄膜结构中，硫化镉薄膜作为缓冲层对电池的光电转换效率的提升具有重要影响。在硫化镉薄膜的制备技术中，化学水浴沉积技术被广泛使用，采用化学水浴沉积技术的衬板立式镀膜方法是一种常用的硫化镉薄膜制备方法，多用于制备大尺寸的铜铟镓硒薄膜太阳能电池所需的硫化镉薄膜，且生产效率高。在相关技术中，衬板立式镀膜方法中所采用的化学水浴镀膜装置在衬板上沉积硫化镉薄膜时，由外部加热器加热的反应液从安装在反应槽底部的馈入管的上喷射口持续不断地馈入反应槽，如此，为所属反应槽内的立式衬板镀膜。然而，此种反应液的馈入方式会造成槽底的反应液的温度和浓度高于顶部，致使在衬板同一表面的上、下部所沉积的硫化镉薄膜的厚度严重不一致，从而增大了对硫化镉薄膜厚度、硫化镉薄膜的整体均匀程度、反应液浓度的控制难度，并减少了反应液的使用次数，增加了硫化镉薄膜的制备成本。
技术实现思路
为了提高衬板上沉积的硫化镉薄膜的均匀程度，本技术实施例提供一种化学水浴镀膜装置。该技术方案如下：根据本技术实施例的第一方面，提供一种化学水浴镀膜装置，包括：反应槽，包括固定结构，所述固定结构用于固定放置于所述反应槽内的待镀膜衬板；馈入单元，设置在所述反应槽的槽内，与放置于所述反应槽内的所述待镀膜衬板平行，所述馈入单元内部中空，用于缓存加热后的反应液；所述馈入单元的第一侧面有喷射口，所述第一侧面为朝向所述待镀膜衬板的面，其中，所述第一侧面在所述待镀膜衬板的待镀膜面上的正投影的面积至少占所述待镀膜面面积的预设比值；加热器，位于所述反应槽外部，通过导管与所述馈入单元连通，使加热后的反应液注入所述馈入单元。在一个实施例中，所述馈入单元还包括至少两个注液口和第二侧面；所述第二侧面与所述第一侧面相邻，包括两个相对的侧面，或者包括四个侧面；所述至少两个注液口设置于所述两个相对的侧面，或者设置于所述四个侧面。在一个实施例中，所述第二侧面中的每一个侧面上设置有N个注液口，所述N为大于等于1的整数；在所述N为奇数时，所述N个注液口中的一个注液口位于所述侧面的中间位置，(N-1)/2个注液口位于所述一个注液口的一侧，剩余(N-1)/2个注液口位于所述一个注液口的另一侧；在所述N为偶数时，N/2个注液口位于所述侧面的半侧，剩余N/2个注液口位于所述侧面的另半侧。在一个实施例中，所述还包括M个调压泵，所述M为大于等于1的整数，所述M个调压泵通过所述导管分别连接所述馈入单元上的各注液口和所述加热器，用于从所述加热器内抽取反应液后通过所述馈入单元上的各注液口注入所述馈入单元。在一个实施例中，所述预设比值等于二分之一。在一个实施例中，所述第一侧面包括两个侧面；所述两个侧面以相同的预设密度均匀设置喷射口。在一个实施例中，所述喷射口的侧壁设置有螺纹。在一个实施例中，所述反应槽上设置有通孔，所述导管通过所述通孔与所述反应槽固定连接。在一个实施例中，所述装置还包括：溢流口，位于所述反应槽的侧壁上方；排液管，连通所述溢流口与所述加热器，用于将所述反应槽内溢至所述溢流口的反应液排入所述加热器内进行加热。在一个实施例中，所述馈入单元和所述导管的材质为聚氯乙烯。本技术实施例提供的技术方案可以包括以下有益效果:采用上述化学水浴镀膜装置对待镀膜衬板镀膜时，通过所述馈入单元向反应槽内馈入反应液，可以增大反应液的馈入面积，提升反应槽内反应液的浓度和温度的均匀性，避免由于反应槽的底部与上部的反应液的浓度、温度相差较大，所造成的在待镀膜衬板上沉积的薄膜的厚度不均匀的问题，降低了反应槽内反应液浓度的控制难度，增加了反应液的使用次数，从而降低了镀膜的制备成本。应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本技术。附图说明此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本技术的实施例，并与说明书一起用于解释本技术的原理。图1是根据一示例性实施例示出的化学水浴镀膜装置的主视结构示意图。图2是根据一示例性实施例示出的反应槽的侧视结构示意图。图3是根据一示例性实施例示出的馈入单元的主视结构示意图。图4是根据一示例性实施例示出的化学水浴镀膜装置的主视结构示意图。图5是根据一示例性实施例示出的化学水浴镀膜装置的主视结构示意图。具体实施方式这里将详细地对示例性实施例进行说明，其示例表示在附图中。下面的描述涉及附图时，除非另有表示，不同附图中的相同数字表示相同或相似的要素。以下示例性实施例中所描述的实施方式并不代表与本技术相一致的所有实施方式。相反，它们仅是与如所附权利要求书中所详述的、本技术的一些方面相一致的设备和方法的例子。本技术实施例提供的技术方案涉及一种化学水浴镀膜装置，图1是根据一示例性实施例示出的化学水浴镀膜装置的主视结构示意图。如图1所示，该化学水浴镀膜装置包括：反应槽10、馈入单元20和加热器30。图2是根据一示例性实施例所示出的反应槽的侧视结构示意图。如图2所示，反应槽10包括固定结构(图中未示出)，所述固定结构用于固定放置于反应槽10内的待镀膜衬板2。这里，固定结构可以是位于反应槽10内且呈“E”字形结构的固定框，以对放置于反应槽10内的待镀膜衬板进行固定，还可以是位于反应槽10侧壁上的卡槽，本技术在此对该固定结构不作具体限制，只要能够将待镀膜衬板2竖直固定在反应槽10中即可。示例的，待镀膜衬板2可以是一面镀有铜铟镓硒薄膜的衬板，所述衬板可以是柔性玻璃。如图1所示，加热器30位于反应槽10外部，通过导管40与馈入单元20连通，使加热后的反应液注入馈入单元20。示例的，反应液可以为包含醋酸镉、硫脲、氨和去离子水的反应镀液，以通过与待镀膜衬板发生化学反应，从而在所述待镀膜衬板上沉积硫化镉薄膜层。如图2所示，馈入单元20设置在反应槽10的槽内，与放置于反应槽10内的待镀膜衬板2平行，馈入单元20内部中空，用于缓存加热后的反应液；如图1所示，馈入单元20的第一侧面有喷射口21，所述第一侧面为朝向待镀膜衬板2的面，其中，所述第一侧面在待镀膜衬板的待镀膜面上的正投影的面积至少占所述待镀膜面面积的预设比值。这里，馈入单元20是内部中空的馈入薄板，且该馈入薄板朝向待镀膜衬板2的待镀膜面的表面上有喷射口21，故可以在加热器30向馈入薄板内注入加热的反应液的同时，使得注入馈入薄板内的反应液可以快速通过喷射口21喷入反应槽10中，缩短了由加热器30所注入的反应液在馈入单元20内的缓存时间，加快了注入的反应液在反应槽内的扩散。这里，正投影即为平行投射线垂直于投影面的投影，即馈入单元20中与待镀膜衬板2的待镀膜面相对的侧面，在所述待镀膜面上的正投影的面积为馈入单元20馈入反应液的区域正对于待镀膜衬板2的面积。这里，该预设比值可以保证从馈入单元馈20馈入反应槽10内的新反应液在待镀膜衬板2的待镀膜面周围具有一定的分布面积，能够提高反应槽10内待镀膜衬板2的待镀膜面周围的反应液的浓度和温度的均匀性。这里，将所述第一侧面在待镀膜衬板2的待镀膜面上的正投影的面积设置为至少占所述待镀膜面的二分之一，能够保证馈入反应槽的新反应液在待镀膜衬板2的至少二分之一本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种化学水浴镀膜装置，其特征在于，包括：反应槽，包括固定结构，所述固定结构用于固定放置于所述反应槽内的待镀膜衬板；馈入单元，设置在所述反应槽的槽内，与放置于所述反应槽内的所述待镀膜衬板平行，所述馈入单元内部中空，用于缓存加热后的反应液；所述馈入单元的第一侧面有喷射口，所述第一侧面为朝向所述待镀膜衬板的面，其中，所述第一侧面在所述待镀膜衬板的待镀膜面上的正投影的面积至少占所述待镀膜面面积的预设比值；加热器，位于所述反应槽外部，通过导管与所述馈入单元连通，使加热后的反应液注入所述馈入单元。

【技术特征摘要】
1.一种化学水浴镀膜装置，其特征在于，包括：反应槽，包括固定结构，所述固定结构用于固定放置于所述反应槽内的待镀膜衬板；馈入单元，设置在所述反应槽的槽内，与放置于所述反应槽内的所述待镀膜衬板平行，所述馈入单元内部中空，用于缓存加热后的反应液；所述馈入单元的第一侧面有喷射口，所述第一侧面为朝向所述待镀膜衬板的面，其中，所述第一侧面在所述待镀膜衬板的待镀膜面上的正投影的面积至少占所述待镀膜面面积的预设比值；加热器，位于所述反应槽外部，通过导管与所述馈入单元连通，使加热后的反应液注入所述馈入单元。2.根据权利要求1所述的化学水浴镀膜装置，其特征在于，所述馈入单元还包括至少两个注液口和第二侧面；所述第二侧面与所述第一侧面相邻，包括两个相对的侧面，或者包括四个侧面；所述至少两个注液口设置于所述两个相对的侧面，或者设置于所述四个侧面。3.根据权利要求2所述的化学水浴镀膜装置，其特征在于，所述第二侧面中的每一个侧面上设置有N个注液口，所述N为大于等于1的整数；在所述N为奇数时，所述N个注液口中的一个注液口位于所述侧面的中间位置，(N-1)/2个注液口位于所述一个注液口的一侧，剩余(N-1)/2个注液口位于所述一个注液口的另一侧；在所述N为偶数...

【专利技术属性】
技术研发人员：惠述伟，张升飞，朱海安，
申请(专利权)人：华夏易能广东新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44