一种光刻机工件台移动调整装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种光刻机工件台移动调整装置，所述光刻机工件台移动调整装置包括：三个对接部件，其中一个对接部件固定设置于工件台的第一侧，其余两个对接部件固定设置于工件台上与所述第一侧相对的第二侧，以实现将所述工件台与整机框架对接，所述整机框架上设置与对接部件匹配的对接接口；至少三个气浮部件，分别设置于工件台上临近三个对接部件的位置，且至少一个气浮部件的支点与其临近的对接部件在三维坐标中预定平面的投影位置重合。由于气浮部件的支点与其临近的对接部件在三维坐标中预定平面的投影位置重合，缩短了光刻机工件台移动调整装置的运动支点与定位支点之间的距离，提高了装置结构的稳定性及重复性。

A Moving Adjustment Device for the Workbench of Lithography Machine

The utility model discloses a movable adjustment device for a photolithographic worktable, which comprises three docking components, one of which is fixed on the first side of the worktable, and the other two docking components are fixed on the worktable and the second side opposite to the first side, in order to realize the docking of the worktable and the frame of the whole machine. The docking interface matching the docking component is set on the frame of the whole machine; at least three air-bearing components are set at the position of three docking components on the worktable, and the pivot of at least one air-bearing component coincides with the projection position of the docking component in the predetermined plane in the three-dimensional coordinates. Because the fulcrum of the air-bearing component coincides with the projection position of the adjacent docking component on the predetermined plane in the three-dimensional coordinates, the distance between the motion fulcrum and the positioning fulcrum of the moving adjustment device of the lithography stage is shortened, and the stability and repeatability of the device structure are improved.

【技术实现步骤摘要】
一种光刻机工件台移动调整装置
本技术涉及半导体设备
，尤其涉及一种光刻机工件台移动调整装置。
技术介绍
目前，光刻机的工件台开始朝着采用平衡质量块抵消运动反力或者双硅片的方向发展。光刻机工件台的结构越来越复杂，且其尺寸和质量也越来越大，目前设计的工件台质量达到4吨。工件台在安装和定期维修维护后重安装时需要将工件台移入或移出整机框架进行操作，但由于工件台的尺寸、重量和位置精度等因素的影响，使得移动工件台变得很困难。专利号为200910047579.6的中国专利提出一种光刻机工件台移动调整装置，该装置可以较好的解决上述问题，但是该光刻机工件台移动调整装置在长期使用过程中，会出现运动部件支点变形较大，结构稳定性、重复性不佳，甚至出现工件台相对主基板对接精度不准的现象。针对现有技术中光刻机工件台移动调整装置存在的不足，本领域技术人员一直在寻找解决的方法。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种光刻机工件台移动调整装置，以解决现有技术中光刻机工件台移动调整装置存在的不足。为了解决上述技术问题，本技术提供一种光刻机工件台移动调整装置，用于调整工件台与整机框架相对位置，所述光刻机工件台移动调整装置，包括：三个对接部件，其中一个对接部件固定设置于工件台的第一侧，其余两个对接部件固定设置于工件台上与所述第一侧相对的第二侧，以实现将所述工件台与所述整机框架对接，所述整机框架上设置与对接部件匹配的对接接口；至少三个气浮部件，分别设置于工件台上临近三个对接部件的位置，且至少一个气浮部件的支点与其临近的对接部件的支点在三维坐标中预定平面的投影位置重合。可选的，在所述的光刻机工件台移动调整装置中，与固定设置于所述工件台的第一侧上的对接部件匹配的对接接口可沿所述整机框架的本体运动，与固定设置于所述工件台的第二侧上的对接部件匹配的对接接口与所述整机框架的本体固定连接。可选的，在所述的光刻机工件台移动调整装置中，通过铰制孔螺钉或定位销将对接接口与所述整机框架的本体固定连接。可选的，在所述的光刻机工件台移动调整装置中，所述三个对接部件均包括定位销，所述定位销与所述整机框架上对接接口匹配对接。可选的，在所述的光刻机工件台移动调整装置中，所述三个对接部件还均包括本体和保险销，所述保险销设置于本体中，并可相对本体进行伸缩运动，所述保险销与所述定位销相垂直；所述整机框架上对应位置设置有与保险销对接的盲孔。可选的，在所述的光刻机工件台移动调整装置中，还包括保险销，设置于所述工件台的任一侧上；所述整机框架上对应位置设置有与保险销对接的盲孔。可选的，在所述的光刻机工件台移动调整装置中，还包括驱动部件，设置于工件台上，以驱动所述工件台运动。可选的，在所述的光刻机工件台移动调整装置中，所述工件台与所述整机框架对接的对接面与所述驱动部件的发力面重合。可选的，在所述的光刻机工件台移动调整装置中，所述三个对接部件中至少一个对接部件沿垂直于所述工件台的第一侧或第二侧的方向上设置有柔性结构。可选的，在所述的光刻机工件台移动调整装置中，所述三个对接部件与对应的三个对接接口之间小间隙配合。可选的，在所述的光刻机工件台移动调整装置中，所述三个对接部件包括第一对接部件、第二对接部件和第三对接部件，所述第一对接部件固定设置于工件台的第一侧，所述第二对接部件和所述第三对接部件固定设置于工件台的第二侧，所述第二对接部件靠近工件台的表面设置；与所述第一对接部件和所述第三对接部件匹配对接的对接接口均为圆孔结构，与所述第二对接部件匹配对接的对接接口为腰孔结构，腰孔结构的长轴与第一对接部件和所述第二对接部件的中心连线共线。在本技术所提供的光刻机工件台移动调整装置中，所述光刻机工件台移动调整装置包括：三个对接部件，其中一个对接部件固定设置于工件台的第一侧，其余两个对接部件固定设置于工件台上与所述第一侧相对的第二侧，以实现将所述工件台与整机框架对接，所述整机框架上设置与对接部件匹配的对接接口；至少三个气浮部件，分别设置于工件台上临近三个对接部件的位置，且至少一个气浮部件的支点与其临近的对接部件在三维坐标中预定平面的投影位置重合。由于气浮部件的支点与其临近的对接部件在三维坐标中预定平面的投影位置重合，缩短了光刻机工件台移动调整装置的运动支点与定位支点之间的距离，提高了装置结构的稳定性及重复性。另一方面，与固定设置于所述工件台的第一侧上的对接部件匹配的对接接口可沿所述整机框架的本体运动，与固定设置于所述工件台的第二侧上的对接部件匹配的对接接口与所述整机框架的本体固定连接。基于该设计，仅需要调整与固定设置于所述工件台的第一侧上的对接部件匹配的对接接口在所述整机框架的本体上的位置，即可改善工件台相对主基板在Rz自由度方向对接精度。另一方面，将所述工件台与所述整机框架对接的对接面设计为与驱动部件的发力面重合，以此保证驱动部件对整机的冲击力矩最小，保持整机稳定。另一方面，增设了保险销，以应对在工件台紧急情况支撑不稳时，防止工件台突然掉落，进一步提高了装置的安全性能。另一方面，三个对接部件与对应的三个对接接口之间采用小间隙配合，提高了工件台的水平向定位的牢固性。附图说明图1是本技术一实施例中光刻机工件台移动调整装置的主视图；图2是本技术一实施例中光刻机工件台移动调整装置的俯视图；图3是本技术一实施例中工件台上设置有气浮部件时的结构示意图；图4是本技术一实施例中工件台与整机框架对接的对接面与驱动部件的发力面重合时的结构示意图；图5是本技术一实施例中光刻机工件台移动调整装置相对工件台的第一侧的布局示意图；图6是本技术一实施例中光刻机工件台移动调整装置相对工件台的第二侧的局部布局示意图；图7是本技术一实施例中对接接口相对整机框架的一种布局示意图；图8是本技术一实施例中对接接口相对整机框架的另一种布局示意图。图中：1-工件台；IL-第一侧；WL-第二侧；11，12，13-对接部件；100-本体；101-定位销；102-保险销；103-柔性结构；104-对接面；2-整机框架；201-盲孔；21，22，23-对接接口；30-气浮部件；40-驱动部件；400-发力面；50-螺钉。具体实施方式以下结合附图和具体实施例对本技术提出的光刻机工件台移动调整装置作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。经过对现有技术中光刻机工件台移动调整装置的研究发现，之所以存在运动部件支点变形较大，结构稳定性、重复性不佳的问题，最主要原因在于：现有光刻机工件台移动调整装置工件台与整机框架对接主要是通过工件台上的四个支撑销柱与整机框架上的四个销孔对接实现，四个支撑销柱即四个定位点，工件台底部设置的气浮单元作为驱动工件台沿垂直方向运动的运动部件，构成运动支点，由于四个定位点与运动支点之间距离过大，导致运动支点变形较大，整个装置结构稳定性、重复性不佳。基于该发现，本技术设计核心思想：通过缩短定位点与运动支点之间距离，来提高整个装置结构稳定性、重复性。请参考图1至图3，图1为本技术一实施例中光刻机工件台移动调整装置的主视图；图2为本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光刻机工件台移动调整装置，用于调整工件台与整机框架相对位置，其特征在于，包括：三个对接部件，其中一个对接部件固定设置于工件台的第一侧，其余两个对接部件固定设置于工件台上与所述第一侧相对的第二侧，以实现将所述工件台与所述整机框架对接，所述整机框架上设置与对接部件匹配的对接接口；至少三个气浮部件，分别设置于工件台上临近三个对接部件的位置，且至少一个气浮部件的支点与其临近的对接部件的支点在三维坐标中预定平面的投影位置重合。

【技术特征摘要】
1.一种光刻机工件台移动调整装置，用于调整工件台与整机框架相对位置，其特征在于，包括：三个对接部件，其中一个对接部件固定设置于工件台的第一侧，其余两个对接部件固定设置于工件台上与所述第一侧相对的第二侧，以实现将所述工件台与所述整机框架对接，所述整机框架上设置与对接部件匹配的对接接口；至少三个气浮部件，分别设置于工件台上临近三个对接部件的位置，且至少一个气浮部件的支点与其临近的对接部件的支点在三维坐标中预定平面的投影位置重合。2.如权利要求1所述的光刻机工件台移动调整装置，其特征在于，与固定设置于所述工件台的第一侧上的对接部件匹配的对接接口可沿所述整机框架的本体运动，与固定设置于所述工件台的第二侧上的对接部件匹配的对接接口与所述整机框架的本体固定连接。3.如权利要求2所述的光刻机工件台移动调整装置，其特征在于，通过铰制孔螺钉或定位销将对接接口与所述整机框架的本体固定连接。4.如权利要求1所述的光刻机工件台移动调整装置，其特征在于，所述三个对接部件均包括定位销，所述定位销与所述整机框架上对接接口匹配对接。5.如权利要求4所述的光刻机工件台移动调整装置，其特征在于，所述三个对接部件还均包括本体和保险销，所述保险销设置于本体中，并可相对本体进行伸缩运动，所述保险销与所述定位销相垂直；所述整机框架上对应位置设置有与保险销对接的盲...

【专利技术属性】
技术研发人员：丛国栋，方洁，刘剑，李志龙，黄亚庆，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31