探针卡装置及其信号传输模块制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种探针卡装置及其信号传输模块。探针卡装置包括转接板、第一载板、第二载板及多个矩形探针。转接板的第一板面设有多个金属球。第一载板形成有位置沿垂直第一板面的第一方向对应多个金属球的多个第一贯孔。第二载板形成有与多个第一贯孔呈错位设置的多个第二贯孔。每个矩形探针具有位于相反侧的第一接触段与第二接触段。多个第一接触段穿出多个第一贯孔且分别连接多个金属球。在每个矩形探针中，第一接触段设有相对第一接触段呈非对称状的识别部，而第一接触段的至少局部沿着非平行于第一方向的第二方向连接对应的金属球。借此，第一接触段与金属球间的接触面积能被有效地增加，从而强化矩形探针与转接板间的结合力。

Probe Card Device and Its Signal Transmission Module

【技术实现步骤摘要】
探针卡装置及其信号传输模块
本专利技术涉及一种探针卡，尤其涉及一种探针卡装置及其信号传输模块。
技术介绍
半导体芯片进行测试时，测试设备是通过一探针卡装置而与待测物电性连接，并借由信号传输及信号分析，以获得待测物的测试结果。现有的探针卡装置设有对应待测物的电性接点而排列的多个探针，以借由上述多个探针同时点接触待测物的相对应电性接点。更详细地说，现有探针卡装置的探针类型包含有圆形探针与矩形探针，上述矩形探针的外型可依据设计者需求而成形。所述矩形探针在插设且固定于探针座后，须与信号转接板组合，以利用信号转接板的布线将量测到的信号传输至测试机台。然而，一般矩形探针的针尾与信号转接板的电性接点(如：金属锡球或金属铜球)的接触效果不佳，常常会有结合力不佳、接触电阻过大及信号传输出现噪声等问题发生。再者，所述矩形探针在探针座中的方位(如：弯曲的方向或卡榫的固定位置)也不容易辨识，从而降低了探针卡装置的制造效率与质量。于是，本专利技术人认为上述缺陷可改善，乃特潜心研究并配合科学原理的运用，终于提出一种设计合理且有效改善上述缺陷的本专利技术。
技术实现思路
本专利技术实施例在于提供一种探针卡装置及其信号传输模块，能有效地改善现有探针卡装置所可能产生的缺陷。本专利技术实施例公开一种探针卡装置，包括一转接板、一第一载板、一第二载板以及多个矩形探针。转接板具有位于相反侧的一第一板面与一第二板面，并且所述转接板在所述第一板面上设置有多个金属球；第一载板形成有多个第一贯孔，并且多个所述第一贯孔的位置沿垂直所述第一板面的一第一方向而对应于多个所述金属球；第二载板形成有多个第二贯孔，并且多个所述第二贯孔分别与多个所述第一贯孔呈错位设置；多个矩形探针安装于所述第一载板与所述第二载板，每个所述矩形探针具有位于相反侧的一第一接触段与一第二接触段；其中，多个所述矩形探针的所述第一接触段分别穿出所述第一载板的多个所述第一贯孔并且分别连接于多个所述金属球，而多个所述矩形探针的所述第二接触段分别穿出所述第二载板的多个所述第二贯孔并且用以接触一待测晶圆；其中，在每个所述矩形探针中，所述第一接触段设有一识别部，并且所述识别部相对于所述第一接触段呈非对称状，而所述第一接触段的至少局部沿着非平行于所述第一方向的一第二方向连接于相对应的所述金属球。优选地，于每个所述矩形探针中，所述矩形探针具有位于所述第一接触段与所述第二接触段间的一中间段以及自所述中间段延伸的一卡榫部，所述中间段位于所述第一载板与所述第二载板间；其中，每个所述矩形探针的所述卡榫部与所述识别部的相对位置皆相同。优选地，于每个所述矩形探针中，所述识别部包含有一斜面，所述斜面的一法线向量平行于所述第二方向，并且所述斜面沿着所述第二方向而连接于相对应的所述金属球。优选地，于每个所述矩形探针中，所述第一接触段的末端部位定义为一接触部，所述接触部插设于相对应的所述金属球内，并且所述接触部的至少局部沿着所述第二方向连接于相对应的所述金属球。优选地，于每个所述矩形探针中，所述识别部位于所述接触部上。优选地，于每个所述矩形探针中，所述接触部的长度至少为所述第一接触段的长度的25％，或者所述接触部的长度至少为相对应所述金属球的高度的25％。优选地，于每个所述矩形探针中，所述接触部镀设有一金属镀层，并且所述金属镀层的材质相同于相对应所述金属球的材质。本专利技术实施例另公开一种探针卡装置的信号传输模块，包括一转接板和多个矩形探针。转接板具有位于相反侧的一第一板面与一第二板面，并且所述转接板在所述第一板面上设置有多个金属球，所述转接板定义有垂直所述第一板面的一第一方向；多个矩形探针各具有位于相反侧的一第一接触段与一第二接触段；其中，多个所述矩形探针的所述第一接触段分别连接于多个所述金属球；其中，在每个所述矩形探针中，所述第一接触段设有一识别部，并且所述识别部相对于所述第一接触段呈非对称状，而所述第一接触段的至少局部沿着非平行于所述第一方向的一第二方向连接于相对应的所述金属球。优选地，于每个所述矩形探针中，所述矩形探针具有位于所述第一接触段与所述第二接触段间的一中间段以及自所述中间段延伸的一卡榫部；其中，每个所述矩形探针的所述卡榫部与所述识别部的相对位置皆相同。优选地，于每个所述矩形探针中，所述第一接触段的末端部位定义为一接触部，所述接触部插设于相对应的所述金属球内，并且所述接触部的至少局部沿着所述第二方向连接于相对应的所述金属球，所述接触部的长度至少为所述第一接触段的长度的25％，或者所述接触部的长度至少为相对应所述金属球的高度的25％。综上所述，本专利技术实施例的探针卡装置及其信号传输模块，能通过所述第一接触段的至少局部沿着非平行于上述第一方向的一第二方向连接于相对应的金属球，而使得所述第一接触段与金属球之间的接触面积被有效地增加，从而有效地强化矩形探针与转接板之间的结合力，有效地降低矩形探针与转接板之间的接触电阻，有效地提升信号传输的可靠度。再者，本专利技术实施例所公开的探针卡装置及其信号传输模块，能通过所述第一接触段设有一识别部且所述识别部相对于第一接触段呈非对称状的结构设计，而使得所述矩形探针在穿设于探针座后，能通过所述识别部辨识每个矩形探针与其它矩形探针的作动方位是否一致，从而大幅提升所述探针卡装置的制造效率与质量。为能更进一步了解本专利技术的特征及
技术实现思路
，请参阅以下有关本专利技术的详细说明与附图，但是此等说明与附图仅用来说明本专利技术，而非对本专利技术的保护范围作任何的限制。附图说明图1为本专利技术实施例探针卡装置的立体示意图。图2为图1沿Ⅱ-Ⅱ剖线的剖视示意图。图3为本专利技术实施例矩形探针中的识别部与接触部为彼此分离构造的剖视示意图。图4为本专利技术实施例矩形探针中的接触部呈凹槽状的剖视示意图。图5为本专利技术实施例矩形探针中的接触部呈凸块状的剖视示意图。图6为本专利技术实施例矩形探针中的接触部长度相对于接触段的长度或金属球的高度具有较佳比例范围的剖视示意图。图7为本专利技术实施例矩形探针中的接触部镀设金属镀层的剖视示意图。具体实施方式请参阅图1至图7，为本专利技术的实施例，需先说明的是，本实施例对应附图所提及的相关数量与外型，仅用来具体地说明本专利技术的实施方式，以便于了解本专利技术的内容，而非用来局限本专利技术的保护范围。如图1，本实施例公开一种探针卡装置100，包括一转接板1、一探针座2、及多个矩形探针3。其中，探针座2包含有一第一载板21(upperdie)与一第二载板22(lowerdie)，第一载板21与第二载板22彼此呈间隔地设置，多个矩形探针3的两端分别穿过第一载板21与第二载板22，并且多个矩形探针3的穿出于第一载板21的一端是分别电性连接于转接板1。此外，探针座2也可以在第一载板21与第二载板22间设置有一间隔板(图中未示出)，但本专利技术不受限于此。需先说明的是，为了便于理解本实施例，所以附图仅呈现探针卡装置100的局部构造(如：单个矩形探针3及其相对应的转接板1与探针座2部位)，以便于清楚地呈现探针卡装置100的各个组件构造与连接关系。以下将分别说明本实施例探针卡装置100的各个组件构造及其连接关系。如图1及图2，转接板1在本实施例中为一信号转接板(SignalTransferBoard，STB)。转接板1具有位于相反侧的一第一板面11与一第二板面12本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种探针卡装置，其特征在于，所述探针卡装置包括：一转接板，具有位于相反侧的一第一板面与一第二板面，并且所述转接板在所述第一板面上设置有多个金属球；一第一载板，形成有多个第一贯孔，并且多个所述第一贯孔的位置沿垂直所述第一板面的一第一方向而对应于多个所述金属球；一第二载板，形成有多个第二贯孔，并且多个所述第二贯孔分别与多个所述第一贯孔呈错位设置；以及多个矩形探针，安装于所述第一载板与所述第二载板，每个所述矩形探针具有位于相反侧的一第一接触段与一第二接触段；其中，多个所述矩形探针的所述第一接触段分别穿出所述第一载板的多个所述第一贯孔并且分别连接于多个所述金属球，而多个所述矩形探针的所述第二接触段分别穿出所述第二载板的多个所述第二贯孔并且用以接触一待测晶圆；其中，在每个所述矩形探针中，所述第一接触段设有一识别部，并且所述识别部相对于所述第一接触段呈非对称状，而所述第一接触段的至少局部沿着非平行于所述第一方向的一第二方向连接于相对应的所述金属球。

【技术特征摘要】
1.一种探针卡装置，其特征在于，所述探针卡装置包括：一转接板，具有位于相反侧的一第一板面与一第二板面，并且所述转接板在所述第一板面上设置有多个金属球；一第一载板，形成有多个第一贯孔，并且多个所述第一贯孔的位置沿垂直所述第一板面的一第一方向而对应于多个所述金属球；一第二载板，形成有多个第二贯孔，并且多个所述第二贯孔分别与多个所述第一贯孔呈错位设置；以及多个矩形探针，安装于所述第一载板与所述第二载板，每个所述矩形探针具有位于相反侧的一第一接触段与一第二接触段；其中，多个所述矩形探针的所述第一接触段分别穿出所述第一载板的多个所述第一贯孔并且分别连接于多个所述金属球，而多个所述矩形探针的所述第二接触段分别穿出所述第二载板的多个所述第二贯孔并且用以接触一待测晶圆；其中，在每个所述矩形探针中，所述第一接触段设有一识别部，并且所述识别部相对于所述第一接触段呈非对称状，而所述第一接触段的至少局部沿着非平行于所述第一方向的一第二方向连接于相对应的所述金属球。2.根据权利要求1所述的探针卡装置，其特征在于，于每个所述矩形探针中，所述矩形探针具有位于所述第一接触段与所述第二接触段间的一中间段以及自所述中间段延伸的一卡榫部，所述中间段位于所述第一载板与所述第二载板间；其中，每个所述矩形探针的所述卡榫部与所述识别部的相对位置皆相同。3.根据权利要求2所述的探针卡装置，其特征在于，于每个所述矩形探针中，所述识别部包含有一斜面，所述斜面的一法线向量平行于所述第二方向，并且所述斜面沿着所述第二方向而连接于相对应的所述金属球。4.根据权利要求1至3中任一项所述的探针卡装置，其特征在于，于每个所述矩形探针中，所述第一接触段的末端部位定义为一接触部，所述接触部插设于相对应的所述金属球内，并且所述接触部的至少局部沿着所述第二方向连接于相对应的所述金属球。5.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏伟志，谢智鹏，
申请(专利权)人：中华精测科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71