The utility model relates to the detection fields of mass, weight, pressure, contact force, pulse, blood pressure, object conflict displacement, magnetostrictive displacement, and load-enhanced micro-mechanical sensor devices in the control fields of precision control, keys, switches, etc. The technical scheme of the sensor device is that the sensor device includes pressure sensor components, force transmission components, in which the elastic components are used to externally control the load-enhanced micro-mechanical sensor devices. The input force is decomposed or transferred to the base or shell and the force transfer parts respectively, so that the elastic diaphragm part receives only part of the input force. The advantage is that the high performance, high load-bearing pressure or high-range sensor can also be manufactured by using low load-bearing pressure, low range pressure sensor chip or thin film pressure sensor.
【技术实现步骤摘要】
一种传感器装置
本专利技术涉及一种传感器装置,特别是适于质量、重量、压力、触力、脉搏、血压、物体抵触位移、磁致伸缩位移等检测领域,以及精密控制、按键、开关等控制领域的载荷增强型微机械传感器装置,属传感器
,但是,不仅限于此。
技术介绍
中国专利技术专利申请号2018108593234,名称:“一种传感器装置”的资料中,公开了一种与本专利技术类似的传感器装置,该传感器装置使用了由压力传感器芯片构成的压力传感器部件,由于压力传感器芯片中弹性膜片厚度较薄,因此,所制造的传感器装置具有较高的灵敏度、精度;然而,由于压力传感器芯片中弹性膜片的厚度较薄,为此,所制造的传感器装置的承载压力或量程较小;为提高传感器装置的承载压力或量程,通常要增加传感器芯片中弹性膜片的厚度,然而,增加传感器芯片中弹性膜片的厚度需要增加较高的生产成本,耗费较长的时间,为此,现有类似的传感器装置存在承载压力或量程较小的缺陷。另外,现有一种充油式触力传感器,其结构是将压力传感器芯片布置在充油的容器中,通过抵触波纹膜片、改变容器容积和油对压力传感器芯片的压强,实现压力或触力的检测,其主要缺陷是检测精度容易受到环境温度变化的影响。
技术实现思路
本专利技术的目的在于:改进上述产品的缺陷。本专利技术的目的通过下述技术方案实现:1、一种传感器装置,包括:压力传感器部件,该压力传感器部件包括弹性膜片部分、支撑弹性膜片部分的基体或框体部分,所述弹性膜片部分适于受到力或抵触运动时变形,并将所述变形或力转换成电信号;力传递部件,该力传递部件适于向所述弹性膜片部分所在的方向移动,适于直接或间接地抵触所述弹性膜片 ...
【技术保护点】
1.一种传感器装置,包括:压力传感器部件,该压力传感器部件包括弹性膜片部分、支撑弹性膜片部分的基体或框体部分,所述弹性膜片部分适于受到力或抵触运动时变形,并将所述变形或力转换成电信号,力传递部件,该力传递部件适于向所述弹性膜片部分所在的方向移动,适于直接或间接地抵触所述弹性膜片部分,附件,该附件包括基体或壳体,其特征在于,进一步包括:弹性部件,该弹性部件适于将外部输入力分别分解或转移到所述基体或壳体和所述力传递部件上,从而,所述弹性膜片部分只接受到部分输入力。
【技术特征摘要】
1.一种传感器装置,包括:压力传感器部件,该压力传感器部件包括弹性膜片部分、支撑弹性膜片部分的基体或框体部分,所述弹性膜片部分适于受到力或抵触运动时变形,并将所述变形或力转换成电信号,力传递部件,该力传递部件适于向所述弹性膜片部分所在的方向移动,适于直接或间接地抵触所述弹性膜片部分,附件,该附件包括基体或壳体,其特征在于,进一步包括:弹性部件,该弹性部件适于将外部输入力分别分解或转移到所述基体或壳体和所述力传递部件上,从而,所述弹性膜片部分只接受到部分输入力。2.根据权利要求1所述的传感器装置,其特征在于:所述弹性部件包括:波纹膜片,所述波纹膜片适于地布置在所述的基体或壳体上、所述力传递部件的外部。3.根据权利要求1所述的传感器装置,其特征在于:所述弹性部件包括:波纹膜片,压缩弹簧、拉伸弹簧中的至少一种,所述弹性部件适于地布置在所述的基体或壳体与所述的力传递部件之间。4.根据权利要求1、2或3所述的传感器装置,其特征在于,进一步包括:限制构件,该限制构件适于阻挡或限制所述力传递部件的移动行程,从而限制力传递部件对所述的弹性膜片部分施加超过预...
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