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一种传感器装置制造方法及图纸
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文档序号:20953679
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本实用新型涉及质量、重量、压力、触力、脉搏、血压、物体抵触位移、磁致伸缩位移等检测领域,以及精密控制、按键、开关等控制领域的载荷增强型微机械传感器装置;其技术方案是:传感器装置包括:压力传感器部件、力传递部件,其中,用弹性部件将外部输入力分...
该专利属于许建平所有,仅供学习研究参考,未经过许建平授权不得商用。
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