MEMS器件、惯性测量装置、移动体定位装置、便携式电子设备、电子设备及移动体制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种MEMS器件、惯性测量装置、移动体定位装置、便携式电子设备、电子设备及移动体，抑制施加过度冲击等情况下可动体或限位器的损坏，提高耐冲击性。MEMS器件(1)包括：基座(基板(10))，具有支承部(15)以及固定电极(检测电极(21))；可动体(50)，主表面(50r)与所述固定电极相对，支承于所述支承部；盖体(60)，与所述基座接合，构成内部收纳有所述可动体的收纳空间；所述盖体具备抵接部(40)，所述抵接部(40)与收纳于所述收纳空间的所述可动体的外沿的至少一部分具有间隙并相对，限制所述主表面的面内方向的移位。

MEMS devices, inertial measurement devices, mobile positioning devices, portable electronic devices, electronic devices and mobile devices

The invention provides a MEMS device, an inertial measurement device, a mobile positioning device, a portable electronic device, an electronic device and a mobile body, which can restrain the damage of a movable body or a limiter under the conditions of excessive impact, and improve the impact resistance. The MEMS device (1) includes a base (substrate (10), a supporting part (15) and a fixed electrode (detection electrode (21); a movable body (50), a main surface (50r), opposite to the fixed electrode, and supported on the supporting part; a cover (60), which is connected with the base to form a receiving space for the internal receiving movable body; and a cover having a receiving part (40), the receiving part (40) and the receiving place. At least a portion of the outer edge of the movable body in the receiving space has a clearance and is relative to each other, limiting the in-plane displacement of the main surface.

【技术实现步骤摘要】
MEMS器件、惯性测量装置、移动体定位装置、便携式电子设备、电子设备及移动体
本专利技术涉及MEMS器件、惯性测量装置、移动体定位装置、便携式电子设备、电子设备以及移动体。
技术介绍
目前，已知一种MEMS(MicroElectroMechanicalSystem：微电机系统)器件作为检测加速度等物理量的物理量传感器，包括可动电极部和检测电极部，其中，可动电极部作为可动体，以能够摆动的方式由支承部支承于基材，检测电极部则作为固定电极部，具有间隙设置在与可动体相对的位置。这种MEMS器件，可动电极部根据施加在该MEMS器件上的加速度等物理量而摆动，使得该可动电极部和检测电极部之间的间隙发生变化。通过两电极部之间根据这种间隙变化而产生的电容的变化，能够检测出施加于MEMS器件的加速度等物理量。例如，专利文献1公开了一种具有MEMS器件的电容型物理量传感器，其包括可动电极部，以及与该可动电极部具有间隙分离设置的固定电极部。该MEMS器件中，为了限制可动电极部朝与物理量检测方向不同的方向移位，基材上设有限位器。然而，上述物理量传感器中，由于基材上设有限位器，制造工序上的约束，会导致MEMS器件的可动电极部与设置于基材的限位器之间的间隙(缝隙)变大。可动电极部与限位器之间的间隙变大后，当对物理量传感器施加过度冲击等时，MEMS器件的可动电极部和限位器间的冲突会过大，会产生可动电极部损坏或限位器损坏，可能无法正常检测出物理量的问题。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开平2015-17886号公报。
技术实现思路
本专利技术为了至少解决上述问题的一部分，能够通过以下方式或应用例来实现。[应用例1]本应用例的MEMS器件包括：基座，具备支承部以及固定电极；可动体，主表面与所述固定电极相对，支承于所述支承部；盖体，与所述基座接合，构成内部收纳有所述可动体的收纳空间；所述盖体具备抵接部，所述抵接部与收纳于所述收纳空间的所述可动体的外沿的至少一部分具有间隙并相对，限制所述主表面的面内方向的移位。根据本应用例的MEMS器件，可动体在面内方向上移位时，可动体相抵接的抵接部设于盖体。这样，与现有的可动体与抵接部构成一体的一体结构相比，通过将可动体与抵接部分开，能够减小可动体与抵接部之间的间隙(缝隙)。移位的可动体撞上抵接部时的冲击，与可动体和抵接部之间的间隔成比例，因此，在本应用例中，能够通过减小可动体与抵接部之间的间隙，来减少可动体撞上限制主表面的面内方向的移位的抵接部的冲击。这样，由于能够减少可动体撞上抵接部时受到的冲击，因此能够减少可动体或抵接部的损坏。[应用例2]优选地，上述应用例的MEMS器件中，所述抵接部与所述可动体的所述外沿相对设置，其中，所述可动体的所述外沿位于构成所述可动体的所述主表面的第一方向以及与所述第一方向交差的第二方向的至少之一。根据本应用例，能够可靠限制可动体在第一方向和第二方向上的移位。[应用例3]优选地，上述应用例的MEMS器件中，所述抵接部与所述可动体的角部相对设置。根据本应用例，抵接部与相对于可动体的旋转移位而大幅度变动的角部相对设置，能够在可动体发生面内旋转方向的移位时，可靠限制其移位。[应用例4]优选地，上述应用例的MEMS器件中，所述抵接部沿所述可动体的所述外沿呈框状设置。根据本应用例，能够提高限位器限制可动体发生面内方向的移位或面内旋转方向的移位的概率。[应用例5]优选地，上述应用例的MEMS器件中，设置多个所述抵接部。根据本应用例，设置多个与可动体相抵接的抵接部，能够提高限位器限制可动体发生面内方向的移位的概率。[应用例6]优选地，上述应用例的MEMS器件中，所述抵接部与所述盖体构成一体。根据本应用例，能够通过同一制造工序，容易地形成盖体和抵接部。[应用例7]优选地，上述应用例的MEMS器件中，所述盖体具有构成所述收纳空间的凹陷部，所述抵接部从所述盖体向所述凹陷部突出。根据本应用例，由于抵接部从盖体向凹陷部突出设置，能够有效利用空间配置抵接部，且能够容易地形成抵接部。[应用例8]优选地，上述应用例的MEMS器件中，所述可动体设置有空腔部，在所述可动体的俯视观察中，所述空腔部内具备固定部以及从所述固定部延伸设置的悬架部，所述可动体经由悬架部悬挂于固定在所述支承部的所述固定部。根据本应用例，可动体通过隔着悬架部的固定部悬挂于支承部，能够使悬架部作为扭簧(扭力弹簧)发挥作用，能够使可动体在支承轴的旋转轴方向上移位。[应用例9]优选地，上述应用例的MEMS器件中，所述可动体和所述抵接部由相同材质构成。根据本应用例，可动体和抵接部接触时不容易引起可动体和抵接部的粘附。[应用例10]优选地，上述应用例的MEMS器件中，所述抵接部和所述可动体为同电位。根据本应用例，可动体和抵接部为同电位，能够抑制两部分接触时，可动体和抵接部之间产生的电容变动和损耗。因此，在可动体和抵接部接触时，能够继续测量加速度等物理量。[应用例11]本应用例的惯性测量装置包括上述应用例的任一例所述的MEMS器件，以及控制所述MEMS器件的驱动的控制电路。根据本应用例的惯性测量装置，能够得到可以实现上述MEMS器件的效果、可靠性高的惯性测量装置。[应用例12]本应用例的移动体定位装置包括：上述应用例所述的惯性测量装置；接收部，从定位用卫星接收叠加了位置信息的卫星信号；获取部，基于接收的所述卫星信号，获取所述接收部的位置信息；运算部，基于所述惯性测量装置输出的惯性数据，对移动体的姿态进行运算；计算部，基于得出的所述姿态校正所述位置信息，从而计算出所述移动体的位置。根据本应用例的移动体定位装置，能够得到可以实现上述MEMS器件的效果、可靠性高的移动体定位装置。[应用例13]本应用例的便携式电子设备包括：上述应用例的任一例所述的MEMS器件；壳体，收纳所述MEMS器件；处理部，收纳于所述壳体，处理来自于所述MEMS器件的输出数据；显示部，收纳于所述壳体；透光性罩，封闭所述壳体的开口部。根据本应用例所述的便携式电子设备，能够得到可以实现上述MEMS器件的效果、可靠性高的便携式电子设备。[应用例14]本应用例的电子设备包括：上述任一MEMS器件；控制部，基于所述MEMS器件输出的检测信号进行控制。根据这种电子设备，能够得到可以实现上述MEMS器件的效果、可靠性高的电子设备。[应用例15]本应用例的移动体包括：上述任一MEMS器件；姿态控制部，基于所述MEMS器件输出的检测信号进行姿态控制。根据这种移动体，能够得到可以实现上述MEMS器件的效果、可靠性高的移动体。附图说明图1是第一实施方式的MEMS器件的俯视示意图。图2是第一实施方式的MEMS器件的示意图图1的A－A’截面图。图3是第一实施方式的MEMS器件的示意图图1的B－B’截面图。图4是示意性的表示第一实施方式的MEMS器件的盖体从基板侧观察图2的C－C’线所在面的俯视图。图5A是说明MEMS器件的动作的示意图。图5B是说明MEMS器件的动作的示意图。图5C是说明MEMS器件的动作的示意图。图6是相当于沿图1的A－A’截面截取的第二实施方式的MEMS器件的截面示意图。图7是相当于沿图1的B－B’截面截取的第二实施方式的MEMS器件的截面示意图。图8是相当于沿图1的A－A’截面截本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种MEMS器件，其特征在于，包括：基座，具备支承部以及固定电极；可动体，主表面与所述固定电极相对，支承于所述支承部；盖体，与所述基座接合，构成内部收纳有所述可动体的收纳空间；所述盖体具备抵接部，所述抵接部与收纳于所述收纳空间的所述可动体的外沿的至少一部分具有间隙并相对，限制所述主表面的面内方向的移位。

【技术特征摘要】
2017.10.11 JP 2017-1974351.一种MEMS器件，其特征在于，包括：基座，具备支承部以及固定电极；可动体，主表面与所述固定电极相对，支承于所述支承部；盖体，与所述基座接合，构成内部收纳有所述可动体的收纳空间；所述盖体具备抵接部，所述抵接部与收纳于所述收纳空间的所述可动体的外沿的至少一部分具有间隙并相对，限制所述主表面的面内方向的移位。2.根据权利要求1所述的MEMS器件，其特征在于，所述MEMS器件中，所述抵接部与所述可动体的所述外沿相对设置，其中，所述可动体的所述外沿位于构成所述可动体的所述主表面的第一方向以及与所述第一方向交差的第二方向的至少之一。3.根据权利要求2所述的MEMS器件，其特征在于，所述MEMS器件中，所述抵接部与所述可动体的角部相对设置。4.根据权利要求2所述的MEMS器件，其特征在于，所述MEMS器件中，所述抵接部沿所述可动体的所述外沿呈框状设置。5.根据权利要求1至4中任一项所述的MEMS器件，其特征在于，所述MEMS器件中，设置多个所述抵接部。6.根据权利要求1至5中任一项所述的MEMS器件，其特征在于，所述MEMS器件中，所述抵接部与所述盖体构成一体。7.根据权利要求6所述的MEMS器件，其特征在于，所述MEMS器件中，所述盖体具有构成所述收纳空间的凹陷部，所述抵接部从所述盖体向所述凹陷部突出。8.根据权利要求1至7中任一项所述的MEMS器件，其特征在于，所述MEMS器件中，所述可动体设置有空腔部，在所述可动...

【专利技术属性】
技术研发人员：伊藤郁哉，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP