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本发明提供了一种MEMS器件、惯性测量装置、移动体定位装置、便携式电子设备、电子设备及移动体，抑制施加过度冲击等情况下可动体或限位器的损坏，提高耐冲击性。MEMS器件(1)包括：基座(基板(10))，具有支承部(15)以及固定电极(检测电极...
该专利属于精工爱普生株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。

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