掩膜板及其制作方法技术

本发明专利技术提供了一种掩膜板及其制作方法，属于显示技术领域。其中，蒸镀掩膜板，包括：开口部，对应于至少一个待蒸镀区域；遮挡部，对应于所述待蒸镀区域之外的非蒸镀区域；所述遮挡部的表面设置有导流槽。本发明专利技术的技术方案能够防止掩膜板在清洗后残留药液。

【技术实现步骤摘要】
掩膜板及其制作方法
本专利技术涉及显示
，特别是指一种掩膜板及其制作方法。
技术介绍
在OLED显示基板的制作过程中，需要利用蒸镀掩膜板蒸镀有机发光层以及公共层，在OLED显示基板应用于显示装置时，显示装置上往往需要预留区域以设置摄像头、传感器等元件，在蒸镀掩膜板上设置有遮挡部对该预留区域进行遮挡，在利用蒸镀掩膜板蒸镀完后，需要对蒸镀掩膜板进行清洗，但清洗后容易在遮挡部残留有清洗用药液，残留的药液会对蒸镀腔室的真空度产生影响，对下一次蒸镀产生影响，并且对于蒸镀掩膜板的防锈处理也是极为不利的。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种掩膜板及其制作方法，能够防止掩膜板在清洗后残留药液。为解决上述技术问题，本专利技术的实施例提供技术方案如下：一方面，提供一种蒸镀掩膜板，包括：开口部，对应于至少一个待蒸镀区域；遮挡部，对应于所述待蒸镀区域之外的非蒸镀区域；所述遮挡部的表面设置有导流槽。进一步地，所述导流槽的深度为所述蒸镀掩膜板的厚度的30％-50％。进一步地，所述遮挡部的长度方向为第一方向，所述导流槽包括至少一个延伸方向与所述第一方向平行的第一导流槽。进一步地，所述第一导流槽延伸至所述遮挡部的边缘。进一步地，所述遮挡部的宽度方向为第二方向，所述导流槽包括至少一个延伸方向与所述第二方向平行的第二导流槽。进一步地，所述第二导流槽延伸至所述遮挡部的边缘。本专利技术实施例还提供了一种蒸镀设备，包括如上所述的蒸镀掩膜板。本专利技术实施例还提供了一种蒸镀掩膜板的制作方法，所述蒸镀掩膜板包括：开口部，对应于至少一个待蒸镀区域；遮挡部，对应于所述待蒸镀区域之外的非蒸镀区域，所述制作方法包括：在所述遮挡部的表面形成导流槽。进一步地，所述遮挡部的长度方向为第一方向，所述在所述遮挡部的表面形成导流槽包括：形成至少一个延伸方向与所述第一方向平行的第一导流槽。进一步地，所述遮挡部的宽度方向为第二方向，所述在所述遮挡部的表面形成导流槽包括：形成至少一个延伸方向与所述第二方向平行的第二导流槽。本专利技术的实施例具有以下有益效果：上述方案中，遮挡部的表面设置有导流槽，这样在对遮挡部进行清洗后，利用风刀对蒸镀掩膜板进行干燥时，导流槽的设置有利于清洗用药液的排走，从而减少残留在蒸镀掩膜板上的药液量，避免对蒸镀和蒸镀掩膜板的防锈处理产生影响。附图说明图1为本专利技术实施例蒸镀掩膜板的俯视示意图；图2为本专利技术实施例蒸镀掩膜板的截面示意图。附图标记1蒸镀掩膜板2开口部3遮挡部4导流槽41第一导流槽42第二导流槽具体实施方式为使本专利技术的实施例要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。本专利技术的实施例针对现有技术中清洗后容易在遮挡部残留有清洗用药液，残留的药液随着蒸镀掩膜板进入蒸镀腔室，会对蒸镀腔室的真空度产生影响，对下一次蒸镀产生影响，并且对于蒸镀掩膜板的防锈处理也是极为不利的问题，提供一种掩膜板及其制作方法，能够防止掩膜板在清洗后残留药液。本专利技术实施例提供一种蒸镀掩膜板，包括：开口部，对应于至少一个待蒸镀区域；遮挡部，对应于所述待蒸镀区域之外的非蒸镀区域；所述遮挡部的表面设置有导流槽。本实施例中，遮挡部的表面设置有导流槽，这样在对遮挡部进行清洗后，利用风刀对蒸镀掩膜板进行干燥时，导流槽的设置有利于清洗用药液的排走，从而减少残留在蒸镀掩膜板上的药液量，避免对蒸镀和蒸镀掩膜板的防锈处理产生影响。如果直接对遮挡部进行开孔来排出药液，对于蒸镀会造成影响，并且会有产品信赖性风险，因此，本实施例中，在遮挡部的表面设计导流槽，导流槽并不贯穿遮挡部，这样对于生产和良率产出没有影响。导流槽的设计一方面有利于清洗用药液的排走，减少残留在蒸镀掩膜板上的药液量，另一方面由于清洗用药液较快排出，还可以降低风刀的工艺时间，从而降低TactTime(节拍时间)。导流槽的深度如果设计的过大，会影响蒸镀掩膜板的结构强度；导流槽的深度如果过浅，会影响导流效果，优选地，所述导流槽的深度为所述蒸镀掩膜板的厚度的30％-50％。一具体实施例中，所述遮挡部的长度方向为第一方向，所述导流槽包括至少一个延伸方向与所述第一方向平行的第一导流槽。在利用风刀对蒸镀掩膜板进行风干时，风向一般与第一方向平行，因此，设置与第一方向平行的第一导流槽有利于清洗用药液的排出。优选地，所述第一导流槽延伸至所述遮挡部的边缘，这样第一导流槽内的清洗用药液可以经遮挡部的边缘脱离蒸镀掩膜板，更加有利于清洗用药液的排出，避免蒸镀掩膜板上残留清洗用药液。一具体实施例中，所述遮挡部的宽度方向为第二方向，所述导流槽包括至少一个延伸方向与所述第二方向平行的第二导流槽，这样在风刀对蒸镀掩膜板进行风干时，沿第二方向滚动的药液也可以经第二导流槽排出。优选地，所述第二导流槽延伸至所述遮挡部的边缘，这样第二导流槽内的清洗用药液可以经遮挡部的边缘脱离蒸镀掩膜板，更加有利于清洗用药液的排出，避免蒸镀掩膜板上残留清洗用药液。本实施例的掩膜板可以为FMM(精细金属掩膜板)，也可以为OpenMask(开放式掩膜板)。图1为本专利技术一具体实施例中蒸镀掩膜板的俯视示意图，图2为图1中的AA方向截面示意图，如图1所示，蒸镀掩膜板1包括开口部2和遮挡部3，其中，在蒸镀掩膜板用以制作手机的显示屏时，遮挡部3可以对应于手机显示屏的异形区域，该异形区域用于设置手机的摄像头、传感器等元件。如图1和图2所示，在遮挡部3的表面设置有多个导流槽4，导流槽4包括沿第一方向排布的多个第一导流槽41以及沿第二方向排布的第二导流槽42，其中，第一方向为遮挡部3的长度方向，第二方向为遮挡部3的宽度方向。在利用风刀对蒸镀掩膜板进行风干时，风向一般与第一方向平行，因此，设置多个与第一方向平行的第一导流槽有利于清洗用药液的排出。导流槽4的数量越多，越有利于清洗用药液的排出，但导流槽4的数量越多也会影响蒸镀掩膜板的结构强度，进而影响蒸镀效果，优选地，本实施例中，可以设计有3个第一导流槽41和1个第二导流槽42，且第二导流槽42位于遮挡部3的中部。本专利技术实施例还提供了一种蒸镀设备，包括如上所述的蒸镀掩膜板。本专利技术实施例还提供了一种蒸镀掩膜板的制作方法，所述蒸镀掩膜板包括：开口部，对应于至少一个待蒸镀区域；遮挡部，对应于所述待蒸镀区域之外的非蒸镀区域，所述制作方法包括：在所述遮挡部的表面形成导流槽。本实施例中，遮挡部的表面设置有导流槽，这样在对遮挡部进行清洗后，利用风刀对蒸镀掩膜板进行干燥时，导流槽的设置有利于清洗用药液的排走，从而减少残留在蒸镀掩膜板上的药液量，避免对蒸镀和蒸镀掩膜板的防锈处理产生影响。如果直接对遮挡部进行开孔来排出药液，对于蒸镀会造成影响，并且会有产品信赖性风险，因此，本实施例中，在遮挡部的表面设计导流槽，导流槽并不贯穿遮挡部，这样对于生产和良率产出没有影响。导流槽的设计一方面有利于清洗用药液的排走，减少残留在蒸镀掩膜板上的药液量，另一方面由于清洗用药液较快排出，还可以降低风刀的工艺时间，从而降低TactTime(节拍时间)。进一步地，所述遮挡部的长度方向为第一方向，所述在所述遮挡部的表面形成导流槽包括：形成至少一个延伸方向与所述第一方向平行的第一导流槽。在利用风刀对蒸镀掩膜板进行风干时，风向一般与第一方向平行，因此，设置与第一方向平行的第一本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸镀掩膜板，包括：开口部，对应于至少一个待蒸镀区域；遮挡部，对应于所述待蒸镀区域之外的非蒸镀区域；其特征在于，所述遮挡部的表面设置有导流槽。

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀掩膜板，包括：开口部，对应于至少一个待蒸镀区域；遮挡部，对应于所述待蒸镀区域之外的非蒸镀区域；其特征在于，所述遮挡部的表面设置有导流槽。2.根据权利要求1所述的蒸镀掩膜板，其特征在于，所述导流槽的深度为所述蒸镀掩膜板的厚度的30％-50％。3.根据权利要求1所述的蒸镀掩膜板，其特征在于，所述遮挡部的长度方向为第一方向，所述导流槽包括至少一个延伸方向与所述第一方向平行的第一导流槽。4.根据权利要求3所述的蒸镀掩膜板，其特征在于，所述第一导流槽延伸至所述遮挡部的边缘。5.根据权利要求1所述的蒸镀掩膜板，其特征在于，所述遮挡部的宽度方向为第二方向，所述导流槽包括至少一个延伸方向与所述第二方向平行的第二导流槽。6.根据权利要求5所述的蒸镀掩膜板，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁鹏程，翟中远，王永茂，曾望明，张文畅，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，成都京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11