探针和检查单元制造技术

探针具有：板状的可动针(20)，其具有沿着长边方向伸缩的弹性部(21)、及分别设置于弹性部(21)的长边方向的两端部的第1触点部(22)和第2触点部(23)；以及导通路径形成构件(30)，其被配置成在可动针(20)的板厚方向上重叠。导通路径形成构件(30)在长边方向的两端部分别具有与第1触点部(22)和第2触点部(23)分别接触的第1接触面(36)和第2接触面(37)，可动针(20)和导通路径形成构件(30)分别维持第1触点部(22)与第1接触面(36)的接触和第2触点部(23)与第2接触面(37)的接触，并且被配置成能够沿着长边方向相对移动。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】探针和检查单元
本专利技术涉及探针和使用该探针的检查单元。
技术介绍
在半导体等一般的电子部件中，在其制造工序中进行导通检查和动作特性检查等。使用呈矩阵状收纳探针的检查单元，连接半导体封装的电极部和检查装置，由此进行这些检查。作为这种探针，例如存在专利文献1所记载的探针。该探针具有：沿着长边方向分别独立设置且相互隔开间隔配置的固定部和可动部；以及连结固定部和可动部的蛇腹体。而且，在可动部的宽度方向的一端部设置可动接触片，该可动接触片沿着蛇腹体在长边方向上延伸且能够与固定部接触，可动部和固定部经由该可动接触片电连接。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特许第5699899号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题近年来，伴随着电子部件模块的小型化，还要求检查中使用的检查单元的各探针的小型化、以及各探针的排列的窄间距化。在所述探针中，在可动部的宽度方向上设置有可动接触片，因此，在所述探针的宽度方向上隔开规定的间隔排列多个所述探针的情况下，很难使相邻的所述探针间的宽度方向的间隔以一定以上程度变窄，有时无法实现排列的窄间距化。因此，本专利技术的课题在于，提供能够实现排列的窄间距化的探针和检查单元。用于解决课题的手段本专利技术的一个方式的探针具有：板状的可动针，其具有沿着长边方向伸缩的弹性部、以及分别设置于所述弹性部的所述长边方向的两端部的第1触点部和第2触点部；以及导通路径形成构件，其沿着所述长边方向延伸，并且被配置成在所述可动针的板厚方向上重叠，并且使所述第1触点部和所述第2触点部彼此电连接，所述导通路径形成构件在所述长边方向的两端部分别具有与所述第1触点部和所述第2触点部分别接触的第1接触面和第2接触面，所述可动针和所述导通路径形成构件分别维持所述第1触点部与所述第1接触面的接触和所述第2触点部与所述第2接触面的接触，并且被配置成能够沿着所述长边方向相对移动。例如，导通路径形成构件呈细长的板状或棒状。此外，本专利技术的检查单元具有：所述探针；以及外壳，其具有收纳部，该收纳部以所述可动针的所述第1触点部的一部分和所述第2触点部的一部分位于外部的状态收纳所述探针，并且将所述可动针和所述导通路径形成构件支承为能够沿着所述长边方向相对移动。专利技术效果根据所述方式的探针，具有板状的可动针以及被配置成在该可动针的板厚方向上重叠的导通路径形成构件。由此，通过可动针的宽度方向尺寸确定探针的宽度方向尺寸，因此，能够实现探针的宽度方向上的小型化，在宽度方向上排列多个探针的情况下，也能够实现排列的窄间距化。此外，根据本专利技术的检查单元，通过多个所述探针，能够实现排列的窄间距化。附图说明图1是具有本专利技术的第1实施方式的探针的检查单元的立体图。图2是本专利技术的第1实施方式的探针的立体图。图3是图2的探针的可动针的立体图。图4是图2的探针的导通路径形成构件的立体图。图5是沿着图1的V-V线的剖视图。图6是图1的检查单元的VI向视图。图7是图1的检查单元的VII向视图。图8是示出图2的探针的导通路径形成构件的另一例的局部放大立体图。图9是具有本专利技术的第2实施方式的探针的检查单元的立体图。图10是本专利技术的第2实施方式的探针的立体图。图11是图10的探针的可动针的立体图。图12是图10的探针的导通路径形成构件的立体图。图13是沿着图9的XIII-XIII线的剖视图。图14是图9的检查单元的XIV向视图。图15是图9的检查单元的XV向视图。图16是具有本专利技术的第3实施方式的探针的检查单元的立体图。图17是本专利技术的第3实施方式的探针的立体图。图18是图17的探针的导通路径形成构件的立体图。图19是沿着图16的XX-XX线的剖视图。图20是图16的检查单元的XXI向视图。图21是图16的检查单元的XXII向视图。具体实施方式下面，按照附图对本专利技术的一个实施方式进行说明。另外，在以下的说明中，根据需要使用表示特定方向或位置的用语(例如包含“上”、“下”、“右”、“左”、“侧”、“端”的用语)，但是，这些用语的使用是为了容易参照附图理解专利技术，本专利技术的技术范围不由这些用语的意思进行限定。此外，以下的说明本质上只不过是例示，并不意图限制本专利技术及其应用物或其用途。而且，附图是示意性的，各尺寸的比率等不是必须与现实一致。(第1实施方式)例如如图1所示，本专利技术的第1实施方式的探针10以收纳于外壳2中的状态进行使用，与外壳2一起构成检查单元1。在该检查单元1中，作为一例，收纳有4个探针10。如图2所示，各探针10具有可动针20和导通路径形成构件30。可动针20和导通路径形成构件30分别构成为细长的薄板状，例如通过电铸法形成，具有导电性。如图3所示，可动针20具有：沿着长边方向伸缩的弹性部21；以及串联设置于该弹性部21的长边方向的两端部的第1触点部22和第2触点部23。该可动针20相对于宽度方向的中心线对称设置。另外，在图3中，省略弹性部21的中间部的一部分。从板面观察时，弹性部21呈蛇行形状。该弹性部21是连接多个蛇行部而构成的，一个蛇行部由向可动针20的宽度方向下侧突出的第1弯曲部211、从第1弯曲部211的一端起在可动针20的宽度方向上延伸的直线部212、不与第1弯曲部211连结且从直线部212的一端向可动针20的宽度方向上侧突出的第2弯曲部213构成。即，从第1触点部22的宽度方向的中心到第2触点部23的宽度方向的中心，第1弯曲部211、直线部212和第2弯曲部213按照第1弯曲部211、直线部212、第2弯曲部213的顺序沿着可动针20的长边方向反复并排配置。另外，弹性部21具有与第1触点部22和第2触点部23的后述的宽幅部231相同或比其小的宽度方向尺寸。第1触点部22呈具有大致相同的宽度方向尺寸的大致矩形的板状，第1触点部22在长边方向的一端部(即图3的右侧的端部)连接有弹性部21，在长边方向的另一端部(即图3的左侧的端部)设置有前端变窄的形状的第1触点251。此外，在第1触点部22的板面设置有在板厚方向上贯通第1触点部22的细长矩形的引导孔部24。该引导孔部24沿着第1触点部22的长边方向(即探针10的长边方向)从第1触点251的附近延伸到第1触点部22的长边方向的大致中央部。第2触点部23呈大致矩形的板状，在长边方向的一端部(即图3的左侧的端部)连接有弹性部21，在长边方向的另一端部(即图3的右侧的端部)设置有从板面观察时呈大致V字形状的第2触点252。该第2触点部23由连接有弹性部21的宽幅部231、以及设置有第2触点252且宽度方向尺寸比宽幅部231的宽度方向尺寸小的窄幅部232构成，在宽幅部231与窄幅部232的边界形成有阶梯部233。另外，宽幅部231具有与第1触点部22大致相同的宽度方向尺寸。如图2所示，导通路径形成构件30被配置成在可动针20的板厚方向上重叠，使可动针20的第1触点部22和第2触点部23电连接。详细地讲，如图4所示，导通路径形成构件30由一对脚部31、32构成，这一对脚部31、32能够向彼此分离的方向挠曲，并且分别重叠在可动针20的板厚方向的不同面上。该导通路径形成构件30相对于宽度方向的中心线对称设置，如图5所示，从可动针20的板厚方向观察，具有比可动针20的宽度方向尺寸(即弹性部21、第1触点部22和第2触点部23的宽幅部23本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种探针，该探针具有：板状的可动针，其具有沿着长边方向伸缩的弹性部、以及分别设置于所述弹性部的所述长边方向的两端部的第1触点部和第2触点部；以及导通路径形成构件，其沿着所述长边方向延伸，并且被配置成在所述可动针的板厚方向上重叠，并且使所述第1触点部和所述第2触点部彼此电连接，所述导通路径形成构件在所述长边方向的两端部分别具有与所述第1触点部和所述第2触点部分别接触的第1接触面和第2接触面，所述可动针和所述导通路径形成构件分别维持所述第1触点部与所述第1接触面的接触和所述第2触点部与所述第2接触面的接触，并且被配置成能够沿着所述长边方向相对移动。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.09.21 JP 2016-1848381.一种探针，该探针具有：板状的可动针，其具有沿着长边方向伸缩的弹性部、以及分别设置于所述弹性部的所述长边方向的两端部的第1触点部和第2触点部；以及导通路径形成构件，其沿着所述长边方向延伸，并且被配置成在所述可动针的板厚方向上重叠，并且使所述第1触点部和所述第2触点部彼此电连接，所述导通路径形成构件在所述长边方向的两端部分别具有与所述第1触点部和所述第2触点部分别接触的第1接触面和第2接触面，所述可动针和所述导通路径形成构件分别维持所述第1触点部与所述第1接触面的接触和所述第2触点部与所述第2接触面的接触，并且被配置成能够沿着所述长边方向相对移动。2.根据权利要求1所述的探针，其中，在所述可动针的所述第1触点部设置有引导孔部，该引导孔部在所述长边方向上延伸，并且在板厚方向上贯通所述可动针，在所述导通路径形成构件的第1接触面侧的端部设置有引导部，该引导部位于所述引导孔部，并且能够沿着所述引导孔部的延伸方向移动。3.根据权利要求2所述的探针，...

【专利技术属性】
技术研发人员：寺西宏真，酒井贵浩，
申请(专利权)人：欧姆龙株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP