集成彩膜型阵列基板修复方法技术

本发明专利技术提供一种COA阵列基板的修复方法，包括以下步骤：提供一COA阵列基板，所述COA阵列基板上设置有阵列层和色阻层的一面为膜层面，与所述膜层面相对的一面为基板面；利用检测设备检测出COA阵列基板中所述栅极线与所述数据线的短路异常区域；根据检测出的短路异常区域，从基板面锁定短路点；对所述短路点进行修复。本发明专利技术提供的COA阵列基板的修复方法，利用基板面透明的特点，借助普通的光学镜头或人眼直接观察可准确地锁定短路点位置，进而进行精确的修复，提高修复质量和产品良率。

Repair Method of Integrated Color Film Array Substrate

The invention provides a method for repairing a COA array substrate, which includes the following steps: providing a COA array substrate, one side of which is provided with an array layer and a color resistor layer is a film layer, and the other side opposite to the film layer is a substrate surface; detecting the abnormal short-circuit area of the grid line and the data line in the COA array substrate by using a detection device; and detecting the abnormal short-circuit area of the grid line and the data line according to the detection. In the abnormal area of short-circuit, the short-circuit point is locked from the substrate surface, and the short-circuit point is repaired. The method of repairing the COA array substrate provided by the invention can accurately lock the position of the short-circuit point by means of ordinary optical lens or human eye direct observation, and then carry out accurate repairing, so as to improve the repairing quality and product yield.

【技术实现步骤摘要】
集成彩膜型阵列基板修复方法
本专利技术涉及显示
，尤其涉及一种集成彩膜型阵列基板的修复方法。
技术介绍
薄膜晶体管液晶显示器(ThinFilmTransistorLiquidCrystalDisplay，简称TFT-LCD)具有功耗低、无辐射、集成度高、工艺灵活、制造成本低等优势，在当前的平板显示器市场占据了主导地位。TFT-LCD的结构主要由阵列基板(ThinFilmTransistorArraySubstrate)、彩膜基板(ColorFilterSubstrate)、及配置在两基板之间的液晶层(LiquidCrystalLayer)所构成。后来开发出的集成彩膜型阵列基板(ColorFilteronArray,COA)技术，将传统设置于彩膜基板上的色阻层直接制备在阵列基板上，克服了传统技术中彩膜基板与阵列基板的对位问题，并且提高了显示面板的开口率。在COA阵列基板制造过程中，会出现栅极线与数据线因静电或杂质而短路的现象，引起阵列基板功能异常。一般需要通过阵列基板测试机台检测出短路发生的位置，进而进行修复。但是COA阵列基板因其膜层面覆盖有色阻层，即使测试机台检测出了短路发生的位置，操作人员也无法直接从膜层面观察到短路点，从而造成无法准确地对短路点进行修复，一旦异常的阵列基板进行到后面工序，会引起更大的损失和生产浪费。
技术实现思路
为了有效地解决上述问题，本专利技术提供了一种COA阵列基板的修复方法，通过阵列基板测试机台检测出短路位置，操作人员从阵列基板的基板面准确锁定短路点，进而进行修复，提高修复工作的针对性和准确性。本专利技术提供一种COA阵列基板修复方法，包括以下步骤：步骤S1、提供一COA阵列基板，所述COA阵列基板包括基板、设置于所述基板上的阵列层、及设置于所述阵列层上的色阻层；所述COA阵列基板上，设置所述阵列层和所述色阻层的一面为膜层面，与所述膜层面相对的一面为基板面；所述阵列层包括多条栅极线、与所述栅极线交叉排列但非电性导通的多条数据线、以及多个薄膜晶体管，所述栅极线与所述薄膜晶体管的栅极电性连接，所述数据线与所述薄膜晶体管的源极或漏极电性连接；步骤S2、检测出所述COA阵列基板中所述栅极线与所述数据线的短路异常区域；步骤S3、根据检测出的短路异常区域，从所述基板面锁定短路点；步骤S4、修补所述短路点。对于薄膜晶体管液晶显示器产品，难以从阵列基板的膜层面找到短路点的，均可以通过本专利技术，从阵列基板的基板面找到短路点，进而进行修补，提高修补效率和成功率。根据本专利技术一实施例，所述步骤S2包括：使用阵列基板测试机台检测出COA阵列基板短路异常区域，并标记为第一区域。根据本专利技术一实施例，所述步骤S3包括：找到所述基板面上与所述第一区域相对应的区域，并标记为第二区域；从所述第二区域内锁定所述短路点。根据本专利技术一实施例，所述步骤S3之前还包括：在所述COA阵列基板的所述膜层面上覆盖光阻层；翻转所述COA阵列基板，使所述基板面朝上。根据本专利技术一实施例，所述步骤S4之前还包括以下步骤：翻转所述COA阵列基板，使所述膜层面朝上；去除所述光阻层；去除覆盖在所述短路点上的膜层；根据本专利技术一实施例，所述锁定短路点的方法为人眼直接观察或借助光学镜头观察。根据本专利技术一实施例，所述修补所述短路点的方法为镭射化学气相沉积法。本专利技术的有益效果为：COA阵列基板的膜层面覆盖有色阻层，光线透过性差，人员无法清晰观察阵列基板内部情况，而基板面为透明玻璃，人员可清晰观察阵列基板内部情况。本专利技术正是利用COA阵列基板的上述特点，依据阵列基板测试机台找到的短路位置，从COA阵列基板的基板面查找到准确的短路点，进而对短路点进行精确的修复，提升产品良率。附图说明为了更清楚地说明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本专利技术实施例提供的COA阵列基板修复方法流程图；图2是本专利技术实施例提供的COA阵列基板结构示意图；图3是本专利技术实施例提供的COA阵列基板结构俯视图；图4是本专利技术实施例提供的COA阵列基板表面覆盖光阻层的结构示意图；图5是本专利技术实施例提供的COA阵列基板短路点修复示意图。具体实施方式以下各实施例的说明是参考附加的图示，用以例示本专利技术可用以实施的特定实施例。本专利技术所提到的方向用语，例如[上]、[下]、[前]、[后]、[左]、[右]、[内]、[外]、[侧面]等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本专利技术，而非用以限制本专利技术。在图中，结构相似的单元是用以相同标号表示。本专利技术实施例提供了一种COA阵列基板的修复方法，可以准确锁定COA阵列基板中的数据线和栅极线的短路点，从而对短路点进行精确修复，提升修复质量和产品良率。下面结合图1至图4详细说明本专利技术实施例提供的COA阵列基板修复方法，主要包括以下步骤：步骤S101、提供一COA阵列基板10，所述COA阵列基板10包括基板11、阵列层12、及色阻层13；所述阵列层12设置于所述基板11上，并覆盖所述基板11；所述色阻层13设置于所述阵列层12上，并覆盖所述阵列层12。具体地，所述基板11为透明材质，如透明玻璃。所述COA阵列基板10上设置所述阵列层12和所述色阻层13的一面为膜层面10a，与所述膜层面10a相对的一面为基板面10b。因为位于所述基板面10b的所述基板11为透明材质，所以可以从所述基板面10b观察到所述阵列层12。具体地，所述阵列层12至少包括栅极线121、数据线122、以及薄膜晶体管123；所述栅极线121为平行排列的多条；所述数据线122与所述栅极线121交叉排列但非电性导通，优选地，所述数据线122与所述栅极线121垂直排列；所述栅极线121与所述薄膜晶体管123的栅极电性连接，所述数据线122与所述薄膜晶体管123的源极或漏极电性连接。步骤S102、利用阵列基板测试机台检测出所述COA阵列基板10中所述栅极线121与所述数据线122出现短路异常的区域，并标记为第一区域A。需要说明的是，虽然阵列基板测试机台能够检测出阵列基板的短路异常区域，但并不能以此判断短路异常区域就是短路点所在位置，因为检测精度的原因，很多情况下，实际短路点会出现在短路异常区域的附近，所以检测完之后还需要人工观察，以确定实际发生短路的位置。步骤S103、根据检测出的短路异常区域，即第一区域A，从所述基板面10b锁定短路点P。具体地，锁定所述短路点P的方法为：在所述COA阵列基板10的所述膜层面10a上覆盖光阻层14，使所述光阻层14完全覆盖所述色阻层13；对所述光阻层14进行曝光及烘烤，使所述光阻层14固化，以保护色阻层13，防止所述色阻层13被磨损；翻转所述COA阵列基板10，使所述基板面10b朝上；根据所述第一区域A所在的位置，找到基板面10b上的第二区域B所在的位置，具体为，所述第一区域A沿所述COA阵列基板10的厚度方向在所述基板面10b上的投影，与所述第二区域B沿所述COA阵列基板10的厚度方向在所述基板面10b上的投影重合，以此确定出所述第二区域B的位置；从所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种集成彩膜型阵列基板(COA阵列基板)修复方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤S1、提供一COA阵列基板，所述COA阵列基板包括基板、设置于所述基板上的阵列层、及设置于所述阵列层上的色阻层；所述COA阵列基板上，设置所述阵列层和所述色阻层的一面为膜层面，与所述膜层面相对的一面为基板面；所述阵列层包括多条栅极线、与所述栅极线交叉排列但非电性导通的多条数据线、以及多个薄膜晶体管，所述栅极线与所述薄膜晶体管的栅极电性连接，所述数据线与所述薄膜晶体管的源极或漏极电性连接；步骤S2、检测出所述COA阵列基板中所述栅极线与所述数据线的短路异常区域；步骤S3、根据检测出的短路异常区域，从所述基板面锁定短路点；步骤S4、修补所述短路点。对于薄膜晶体管液晶显示器产品，难以从阵列基板的膜层面找到短路点的，均可以通过本专利技术，从阵列基板的基板面找到短路点，进而进行修补，提高修补效率和成功率。

【技术特征摘要】
1.一种集成彩膜型阵列基板(COA阵列基板)修复方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤S1、提供一COA阵列基板，所述COA阵列基板包括基板、设置于所述基板上的阵列层、及设置于所述阵列层上的色阻层；所述COA阵列基板上，设置所述阵列层和所述色阻层的一面为膜层面，与所述膜层面相对的一面为基板面；所述阵列层包括多条栅极线、与所述栅极线交叉排列但非电性导通的多条数据线、以及多个薄膜晶体管，所述栅极线与所述薄膜晶体管的栅极电性连接，所述数据线与所述薄膜晶体管的源极或漏极电性连接；步骤S2、检测出所述COA阵列基板中所述栅极线与所述数据线的短路异常区域；步骤S3、根据检测出的短路异常区域，从所述基板面锁定短路点；步骤S4、修补所述短路点。对于薄膜晶体管液晶显示器产品，难以从阵列基板的膜层面找到短路点的，均可以通过本发明，从阵列基板的基板面找到短路点，进而进行修补，提高修补效率和成功率。2.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡建平，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44