The embodiment of the invention discloses a crucible cleaning brush, a system and a method. The crucible cleaning brush comprises a brush rod and a side brush fixed on the side of the brush rod, and a bottom brush fixed on the bottom end face of the brush rod; the side brush includes the first type side brush and the second type side brush, the inclined direction of the first type side brush and the inclined angle of the brush rod along the bottom to the top are less than 90 degrees, and the inclined side of the second type brush is less than 90 degrees along the axis of the bottom to the top. The axial angle between the brush rod and the brush rod along the top and the bottom is less than 90 degrees. The technical scheme provided by the embodiment of the present invention can solve the problems of incomplete cleaning and low working efficiency of the existing crucible cleaning scheme.
【技术实现步骤摘要】
一种坩埚清洗毛刷、系统以及方法
本专利技术实施例涉及坩埚清洁
,尤其涉及一种坩埚清洗毛刷、系统以及方法。
技术介绍
目前显示面板行业蒸镀时会用到坩埚,坩埚是指蒸镀时用来盛蒸镀物的装置。现用的坩埚一般有线源坩埚,线源坩埚是指坩埚的形状是长方形。现在对线源坩埚的清洗主要采用有机溶剂浸泡和人工擦拭,浸泡不能有效的去除坩埚狭缝处的有机物残留,而且人工擦拭的方法工作效率较低且重复率不好。一般可以想到的其他方案包括:高压喷洗,超声清洗,毛刷清洗,但高压喷洗成本较高,且不利于有机清洗液使用;超声清洗一般是指以有机溶剂作为超声液体,将部件整体浸泡后超声,该方法清洗效果较好,但会造成有机溶剂的大量使用和挥发,对环境和人的健康均不利。
技术实现思路
本专利技术提供一种坩埚清洗毛刷、系统以及方法,以解决现有坩埚清洗方案清洁不彻底以及工作效率低的问题。第一方面,本专利技术实施例提供了一种坩埚清洗毛刷,包括:毛刷杆,以及固定在所述毛刷杆侧面的侧刷毛,固定在所述毛刷杆底部端面的底刷毛;所述侧刷毛包括第一类侧刷毛和第二类侧刷毛,所述第一类侧刷毛的倾斜方向与所述毛刷杆沿底部向顶部的轴向夹角小于90°,所述第二类刷毛的倾斜方向与所述毛刷杆沿顶部向底部的轴向夹角小于90°。第二方面,本专利技术实施例还提供了一种坩埚清洗毛刷系统,包括本专利技术任意实施例所述的坩埚清洗毛刷,通过所述坩埚清洗毛刷的毛刷杆控制所述坩埚清洗毛刷的电机,固定所述电机的上框架以及固定坩埚的下框架。第三方面,本专利技术实施例还提供了一种坩埚清洗方法,适用于本专利技术任意实施例所述的坩埚清洗系统,包括:控制坩埚清洗毛刷旋转 ...
【技术保护点】
1.一种坩埚清洗毛刷,其特征在于,包括:毛刷杆,以及固定在所述毛刷杆侧面的侧刷毛,固定在所述毛刷杆底部端面的底刷毛;所述侧刷毛包括第一类侧刷毛和第二类侧刷毛,所述第一类侧刷毛的倾斜方向与所述毛刷杆沿底部向顶部的轴向夹角小于90°,所述第二类刷毛的倾斜方向与所述毛刷杆沿顶部向底部的轴向夹角小于90°。
【技术特征摘要】
1.一种坩埚清洗毛刷,其特征在于,包括:毛刷杆,以及固定在所述毛刷杆侧面的侧刷毛,固定在所述毛刷杆底部端面的底刷毛;所述侧刷毛包括第一类侧刷毛和第二类侧刷毛,所述第一类侧刷毛的倾斜方向与所述毛刷杆沿底部向顶部的轴向夹角小于90°,所述第二类刷毛的倾斜方向与所述毛刷杆沿顶部向底部的轴向夹角小于90°。2.根据权利要求1所述的坩埚清洗毛刷,其特征在于,所述底刷毛至少包括与所述毛刷杆沿顶部向底部的轴向夹角成锐角的刷毛。3.根据权利要求2所述的坩埚清洗毛刷,其特征在于,所述侧刷毛和底刷毛的材质为硬质动物毛或者尼龙类材质。4.根据权利要求2所述的坩埚清洗毛刷,其特征在于,第一类侧刷毛的倾斜方向与所述毛刷杆沿底部向顶部的轴向夹角,第二类刷毛的倾斜方向与所述毛刷杆沿顶部向底部的轴向夹角,以及底刷毛的倾斜方向与所述毛刷杆沿顶部向底部的轴向夹角的取值在45°~60°范围内。5.一种坩埚清洗系统,其特征在于,包括如权利要求1-4任一项所述的坩埚清洗毛刷,通过所述坩埚清洗毛刷的毛刷杆控制所述坩埚清洗毛刷的电机,固定所述电机的上框架以及固定坩埚的下框架。6.根据权利要求5所述的坩埚清洗系统,其特征在于,还包括:固定在所述上框架上的喷洒系统,所述喷洒系统用于在所述坩埚清洗毛刷运动时喷水辅助清洗。7.根据权利要求5所述的坩埚清洗系统,其特征在于,所述电机包括:旋转电机、步进电机以及伸缩电机;所述旋转电机用于控制所述坩埚清洗毛刷进行旋转运动;所述步进电机用于控制所述坩埚清洗毛刷沿坩埚内侧壁在平行于坩埚底面的方向上进行步进运动;所述伸缩电机...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘明洋,杨红领,鄢亮亮,
申请(专利权)人:上海和辉光电有限公司,
类型:发明
国别省市:上海,31
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