【技术实现步骤摘要】
本技术涉及无机非金属粉体制备领域,具体涉及一种实验室用组合式刚玉坩埚。
技术介绍
随着电子集成技术的快速发展,氮化铝成为目前超大规模集成电路基板的首选材料。保证氮化铝基板高导热率的关键是制备出粒径均匀细小、高纯度的氮化铝粉体。在氮化铝粉体制备与生产过程中,实验室的小试阶段是进行产品开发不可缺少的基本阶段,可加快研究进度,降低研究成本。此外随着科研的不断进步,科研人员对实验仪器的选择不仅要求实用、耐用,也要提高工作效率。一般的实验室刚玉坩埚的埚体为一体结构,在氮化铝粉体制备过程中,由于此过程为放热反应,放出大量的热,易使制备出的粉体在底部结块,导致样品底部残存较厚一层不易取出。这样既不方便操作,又浪费了原料,甚至由于取不出导致坩埚不能重复利用。本技术的优点在于埚体采用组合-拆分的方式,有效地解决了实验室采用铝粉直接氮化法制备氮化铝粉体时,由于粉体粘在坩埚底部而不易取出的问题。既不多浪费原料,且结构简单易于实现,又可多次重复利用。
技术实现思路
本技术提供一种实验室用组合式刚玉坩埚,以解决实验室制备氮化铝粉体时由于粉体粘在坩埚底部而不易取出的问题。本技术的技术方案是:一种实验室用组合式刚玉坩埚。其特征在于:包括侧壁(1)、底板(2)和内凸卡槽(3)组成,其中内凸卡槽(3)设在底板(2)上,内凸卡槽(3)与底座外围(4)之间的距离与侧壁(1)的厚度相匹配。进一步的,所述内凸卡槽(3)为两个,其他可达到固定侧壁和底座效果的内凸卡槽数量均在本专利的保护范围内,在考虑成本、工艺和效果的基础上,优选数量为两个。进一步的,所述内凸卡槽(3)的结构相同,分布于底板的两端。进一 ...
【技术保护点】
一种实验室用组合式刚玉坩埚,其特征在于:包括侧壁(1)、底板(2)和内凸卡槽(3)组成,其中内凸卡槽(3)设在底板(2)上,内凸卡槽(3)与底座外围(4)之间的距离与侧壁(1)的厚度相匹配。
【技术特征摘要】
1.一种实验室用组合式刚玉坩埚,其特征在于:包括侧壁(1)、底板(2)和内凸卡槽(3)组成,其中内凸卡槽(3)设在底板(2)上,内凸卡槽(3)与底座外围(4)之间的距离与侧壁(1)的厚度相匹配。2.根据权利要求1所述的一种实验室用组合式刚玉坩...
【专利技术属性】
技术研发人员:张红冉,刘久明,
申请(专利权)人:河北高富氮化硅材料有限公司,
类型:新型
国别省市:河北;13
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