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本发明实施例公开了一种坩埚清洗毛刷、系统以及方法。其中，坩埚清洗毛刷包括：毛刷杆，以及固定在所述毛刷杆侧面的侧刷毛，固定在所述毛刷杆底部端面的底刷毛；所述侧刷毛包括第一类侧刷毛和第二类侧刷毛，所述第一类侧刷毛的倾斜方向与所述毛刷杆沿底部向顶...
该专利属于上海和辉光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海和辉光电有限公司授权不得商用。

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