显影机的显影液碱液浓度控制系统及方法技术方案

本发明专利技术提供一种显影机的显影液碱液浓度控制系统及方法。该显影机的显影液碱液浓度控制系统包括显影液存储罐、与所述显影液存储罐连接的浓度测量模块及液体补给模块以及与所述浓度测量模块及液体补给模块均连接的控制模块，在显影机处于空闲状态时，当显影液存储罐中的显影液的碱液浓度下降至小于一预设的浓度阈值时，所述控制模块控制液体补给模块在一预设的第一时间内提供显影原液给显影液存储罐；当显影液存储罐中的显影液的碱液浓度上升至等于一预设的浓度上限阈值时，控制液体补给模块在一预设的第二时间内提供稀释液给显影液存储罐，缩小显影机在空闲状态时碱液浓度波动区间，降低显影机宕机频率，提升产能。

【技术实现步骤摘要】
显影机的显影液碱液浓度控制系统及方法
本专利技术涉及显示
，尤其涉及一种显影机的显影液碱液浓度控制系统及方法。
技术介绍
薄膜晶体管(ThinFilmTransistor，TFT)是目前液晶显示装置(LiquidCrystalDisplay，LCD)和有源矩阵驱动式有机电致发光显示装置(ActiveMatrixOrganicLight-EmittingDiode，AMOLED)中的主要驱动元件，直接关系平板显示装置的显示性能。现有市场上的液晶显示器大部分为背光型液晶显示器，其包括液晶显示面板及背光模组(backlightmodule)。液晶显示面板的工作原理是在薄膜晶体管阵列基板(ThinFilmTransistorArraySubstrate，TFTArraySubstrate)与彩色滤光片(ColorFilter，CF)基板之间灌入液晶分子，并在两片基板上分别施加像素电压和公共电压，通过像素电压和公共电压之间形成的电场控制液晶分子的旋转方向，以将背光模组的光线透射出来产生画面。在液晶显示面板制作过程中经常需要进行显影工艺，显影机中的显影液对基板进行显影后通常会回收循环使用。现有的显影液通常为四甲基氢氧化铵(TMAH)水溶液，目前的显影液浓度控制系统通过采样泵抽取显影机的显影液存储罐中的显影液，经过脱泡装置脱泡后分别输送到吸光度计和TMAH浓度计进行浓度测量后，在输送回显影液存储罐。但是目前的显影液浓度控制系统存在一些问题：1、显影机从空闲(idle)状态进入工作状态时，TMAH浓度下降；原因包括1.1、显影液对基板进行显影后会携带不同数量程度的光阻，将不同光阻浓度的显影液回收，会使显影液存储罐中的显影液浓度发生较大变化(光阻增大，TMAH浓度下降)；1.2、显影机在空闲状态时没有显影液回收至显影液存储罐中，此时补给给显影液存储罐的25％TMAH溶液或去离子水(DIW)很少；1.3、显影机在工作状态时且基板进行流片时，覆盖于基板上的TMAH与光阻混合液体回收到显影液存储罐中，即使给显影液存储罐补给25％TMAH溶液也无法减少TMAH浓度下降的速度。2、显影机从工作状态进入从空闲状态时，TMAH浓度上升；原因为显影机在工作状态时，会给显影液存储罐补给25％TMAH溶液以稳定平衡TMAH浓度，基板停止流片时平衡打破，所补给的25％TMAH溶液导致TMAH浓度快速上升。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种显影机的显影液碱液浓度控制系统，可以缩小显影机在空闲状态时碱液浓度波动区间，降低显影机宕机频率，提升产能。本专利技术的目的还在于提供一种显影机的显影液碱液浓度控制方法，可以缩小显影机在空闲状态时碱液浓度波动区间，降低显影机宕机频率，提升产能。为实现上述目的，本专利技术提供了一种显影机的显影液碱液浓度控制系统，包括：显影液存储罐、与所述显影液存储罐连接的浓度测量模块及液体补给模块以及与所述浓度测量模块及液体补给模块均连接的控制模块；所述浓度测量模块用于测量显影液存储罐中的显影液的碱液浓度；所述控制模块用于在显影机处于空闲状态时，当碱液浓度下降至小于一预设的浓度阈值时，控制液体补给模块在一预设的第一时间内提供显影原液给显影液存储罐，当碱液浓度上升至等于一预设的浓度上限阈值时，控制液体补给模块在一预设的第二时间内提供稀释液给显影液存储罐。所述控制模块在显影液存储罐中的显影液的碱液浓度在一预设的第三时间内均大于或等于一预设的浓度阈值时，判断显影机处于空闲状态。所述预设的浓度阈值为2.38％；所述显影原液为25％TMAH溶液；所述碱液为TMAH；所述稀释液为去离子水。所述浓度测量模块包括与显影液存储罐连接的吸光度计及浓度计；所述吸光度计用于测量显影液中的光阻浓度；所述浓度计用于测量显影液中的光阻与碳酸根离子的整体浓度以及碱液浓度。所述浓度计包括与显影液存储罐连接的感应器以及与所述感应器连接的浓度计本体；所述感应器包括沿竖直方向依次设置的温度感应单元、超声波感应单元及导电率感应单元。本专利技术还提供一种显影机的显影液碱液浓度控制方法，包括如下步骤：步骤S1、提供显影机的显影液碱液浓度控制系统；该显影机的显影液碱液浓度控制系统包括：显影液存储罐、与所述显影液存储罐连接的浓度测量模块及液体补给模块以及与所述浓度测量模块及液体补给模块均连接的控制模块；步骤S2、所述浓度测量模块测量显影液存储罐中的显影液的碱液浓度；所述控制模块在显影机处于空闲状态时，当碱液浓度下降至小于一预设的浓度阈值时，控制液体补给模块在一预设的第一时间内提供显影原液给显影液存储罐，当碱液浓度上升至等于一预设的浓度上限阈值时，控制液体补给模块在一预设的第二时间内提供稀释液给显影液存储罐。所述步骤S2中，所述控制模块在显影液存储罐中的显影液的碱液浓度在一预设的第三时间内均大于或等于一预设的浓度阈值时，判断显影机处于空闲状态。所述预设的浓度阈值为2.38％；所述显影原液为25％TMAH溶液；所述碱液为TMAH；所述稀释液为去离子水。所述浓度测量模块包括与显影液存储罐连接的吸光度计及浓度计；所述步骤S2中，所述吸光度计测量显影液中的光阻浓度；所述浓度计测量显影液中的光阻与碳酸根离子的整体浓度以及碱液浓度。所述浓度计包括与显影液存储罐连接的感应器以及与所述感应器连接的浓度计本体；所述感应器包括沿竖直方向依次设置的温度感应单元、超声波感应单元及导电率感应单元。本专利技术的有益效果：本专利技术的显影机的显影液碱液浓度控制系统包括显影液存储罐、与所述显影液存储罐连接的浓度测量模块及液体补给模块以及与所述浓度测量模块及液体补给模块均连接的控制模块，在显影机处于空闲状态时，当显影液存储罐中的显影液的碱液浓度下降至小于一预设的浓度阈值时，所述控制模块控制液体补给模块在一预设的第一时间内提供显影原液给显影液存储罐，防止显影机从空闲状态进入工作状态时TMAH浓度下降；在显影机处于空闲状态时，当显影液存储罐中的显影液的碱液浓度上升至等于一预设的浓度上限阈值时，控制液体补给模块在一预设的第二时间内提供稀释液给显影液存储罐，防止显影机从工作状态进入空闲状态时TMAH浓度上升，缩小显影机在空闲状态时碱液浓度波动区间，降低显影机宕机频率，提升产能。本专利技术的显影机的显影液碱液浓度控制方法，可以缩小显影机在空闲状态时碱液浓度波动区间，降低显影机宕机频率，提升产能。附图说明为了能更进一步了解本专利技术的特征以及
技术实现思路
，请参阅以下有关本专利技术的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本专利技术加以限制。附图中，图1为本专利技术的显影机的显影液碱液浓度控制系统的示意图；图2为本专利技术的显影机的显影液碱液浓度控制方法的流程图。具体实施方式为更进一步阐述本专利技术所采取的技术手段及其效果，以下结合本专利技术的优选实施例及其附图进行详细描述。请参阅图1，本专利技术提供一种显影机的显影液碱液浓度控制系统，包括：显影液存储罐10、与所述显影液存储罐10连接的浓度测量模块20及液体补给模块30以及与所述浓度测量模块20及液体补给模块30均连接的控制模块40；所述浓度测量模块20用于测量显影液存储罐10中的显影液的碱液浓度；所述控制模块40用于在显影机处于空闲状态时，当碱液浓度下降至小于一预设的浓度阈值时，控制液体补给模块30本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种显影机的显影液碱液浓度控制系统，其特征在于，包括：显影液存储罐(10)、与所述显影液存储罐(10)连接的浓度测量模块(20)及液体补给模块(30)以及与所述浓度测量模块(20)及液体补给模块(30)均连接的控制模块(40)；所述浓度测量模块(20)用于测量显影液存储罐(10)中的显影液的碱液浓度；所述控制模块(40)用于在显影机处于空闲状态时，当碱液浓度下降至小于一预设的浓度阈值时，控制液体补给模块(30)在一预设的第一时间内提供显影原液给显影液存储罐(10)，当碱液浓度上升至等于一预设的浓度上限阈值时，控制液体补给模块(30)在一预设的第二时间内提供稀释液给显影液存储罐(10)。

【技术特征摘要】
1.一种显影机的显影液碱液浓度控制系统，其特征在于，包括：显影液存储罐(10)、与所述显影液存储罐(10)连接的浓度测量模块(20)及液体补给模块(30)以及与所述浓度测量模块(20)及液体补给模块(30)均连接的控制模块(40)；所述浓度测量模块(20)用于测量显影液存储罐(10)中的显影液的碱液浓度；所述控制模块(40)用于在显影机处于空闲状态时，当碱液浓度下降至小于一预设的浓度阈值时，控制液体补给模块(30)在一预设的第一时间内提供显影原液给显影液存储罐(10)，当碱液浓度上升至等于一预设的浓度上限阈值时，控制液体补给模块(30)在一预设的第二时间内提供稀释液给显影液存储罐(10)。2.如权利要求1所述的显影机的显影液碱液浓度控制系统，其特征在于，所述控制模块(40)在显影液存储罐(10)中的显影液的碱液浓度在一预设的第三时间内均大于或等于一预设的浓度阈值时，判断显影机处于空闲状态。3.如权利要求1所述的显影机的显影液碱液浓度控制系统，其特征在于，所述预设的浓度阈值为2.38％；所述显影原液为25％TMAH溶液；所述碱液为TMAH；所述稀释液为去离子水。4.如权利要求1所述的显影机的显影液碱液浓度控制系统，其特征在于，所述浓度测量模块(20)包括与显影液存储罐(10)连接的吸光度计(21)及浓度计(22)；所述吸光度计(21)用于测量显影液中的光阻浓度；所述浓度计(22)用于测量显影液中的光阻与碳酸根离子的整体浓度以及碱液浓度。5.如权利要求4所述的显影机的显影液碱液浓度控制系统，其特征在于，所述浓度计(22)包括与显影液存储罐(10)连接的感应器(221)以及与所述感应器(221)连接的浓度计本体(222)；所述感应器(221)包括沿竖直方向依次设置的温度感应单元(2211)、超声波感应单元(2212)及导电率感应单元(2213)。6.一种显影机的显影液碱液浓度控制方法，其特征在于，包括如下...

【专利技术属性】
技术研发人员：韦智强，邓强，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44