The utility model discloses a microelectromechanical system micromechanical environmental pressure and acoustic sensor. The micromechanical environmental pressure and acoustic sensor includes a shell with a shell wall, which defines the inner chamber and the acoustic input opening to the inner chamber; and a mobile structure, which locates in the inner chamber and is acoustically coupled to the acoustic input opening. The mobile structure has an acoustic sensing part capable of moving in response to the sound pressure input and an environmental pressure sensing part capable of moving in response to the environmental pressure input. The sensor also includes a circuit which is electrically coupled to the mobile structure and operable to determine the acoustic output and environmental pressure output based on the movement of the mobile structure.
【技术实现步骤摘要】
微机电系统MEMS环境压力和声学传感器相关专利申请的交叉引用本专利申请要求于2017年5月1日提交的待审的美国临时专利申请62/492,821的较早提交日期的权益,该专利申请以引用方式并入本文。
本技术的实施方案涉及用于环境压力感测和声学感测的传感器;并且更具体地涉及用于环境压力感测和声学感测的微机电系统(MEMS)感测元件。
技术介绍
在现代消费电子产品中,便携式计算设备,诸如膝上型电脑、笔记本、平板电脑、智能电话和便携式钟表不具有足够的空间来容纳相对大的换能器(例如。麦克风、扬声器等)和/或其他传感器(例如,加速度计、气压传感器等)。因此,用于此类设备的换能器和传感器的尺寸变得越来越紧凑并且尺寸减小。然而,换能器和传感器可执行不同的功能(例如,声音拾取、压力感测等)并且通常必须将多于一个信号调节单元或电路结合到用于处理不同信号的设备中。因此,多个不同的换能器、传感器和/或处理单元通常必须被结合到便携式设备中,从而导致产品空间挑战和集成挑战,这些挑战不能通过逐一减小这些部件中的每个部件的尺寸来解决。
技术实现思路
在一个实施方案中,本技术涉及用于环境压力感测和声学感测的微机电系统(MEMS)感测元件。代表性地,该感测元件可将用于声学感测的MEMS麦克风和用于环境压力感测的环境压力传感器的各个方面组合到使用共享MEMS管芯以用于进行压力感测和声学感测两者的单个感测元件中。例如,该感测元件可包括被设计成响应于针对环境压力感测的低频环境压力变化(例如,移动结构两端的压力差或波动)和针对声学感测的高频声学压力变化两者而移动(例如,振动)的移动结构。更具体地,该移动结构可 ...
【技术保护点】
1.一种微机电系统MEMS环境压力和声学传感器,特征在于,包括:具有壳体壁的壳体,所述壳体限定内部腔室和至所述内部腔室的声学输入开口;移动结构,所述移动结构定位在所述内部腔室内并且以声学方式耦接到所述声学输入开口,所述移动结构具有能够响应于声压输入而移动的声学感测部分和能够响应于环境压力输入而移动的环境压力感测部分;和电路,所述电路电耦接到所述移动结构,所述电路是可操作的以基于所述移动结构的移动来确定声学输出和环境压力输出。
【技术特征摘要】
2017.05.01 US 62/492,821;2018.03.14 US 15/921,5881.一种微机电系统MEMS环境压力和声学传感器,特征在于,包括:具有壳体壁的壳体,所述壳体限定内部腔室和至所述内部腔室的声学输入开口;移动结构,所述移动结构定位在所述内部腔室内并且以声学方式耦接到所述声学输入开口,所述移动结构具有能够响应于声压输入而移动的声学感测部分和能够响应于环境压力输入而移动的环境压力感测部分;和电路,所述电路电耦接到所述移动结构,所述电路是可操作的以基于所述移动结构的移动来确定声学输出和环境压力输出。2.根据权利要求1所述的MEMS环境压力和声学传感器,其中所述声压感测部分比所述环境压力感测部分更柔顺。3.根据权利要求1所述的MEMS环境压力和声学传感器,其中所述声压感测部分相对于所述环境压力感测部分径向地向内。4.根据权利要求1所述的MEMS环境压力和声学传感器,其中所述声压感测部分包括实心的膜,并且所述环境压力感测部分包括从所述实心的膜径向向外延伸的多个辐条。5.根据权利要求1所述的MEMS环境压力和声学传感器,其中所述声压感测部分包括定位在第一板和第二板之间的柔顺构件,并且其中所述第一板和所述第二板相对于所述柔顺构件是固定的。6.根据权利要求1所述的MEMS环境压力和声学传感器,其中所述环境压力感测部分包括压电电阻器。7.根据权利要求1所述的MEMS环境压力和声学传感器,其中所述声压输入对应于100帕或更小的压力变化。8.根据权利要求1所述的MEMS环境压力和声学传感器,其中所述环境压力输入对应于大于100千帕的压力变化。9.根据权利要求1所述的MEMS环境压力和声学传感器,其中所述电路是可操作的以基于由所述声学感测部分相对于所述壳体内的固定后板的移动而引起的电容变化来确定所述声学输出。10.根据权利要求1所述的MEMS环境压力和声学传感器,其中所述电路是可操作的以基于由所述环境压力感测部分相对于所述壳体内的固定后板的移动而引起的电容变化来确定所述环境压力输出。11.根据权利要求1所述的MEMS环境压力和声学传感器,其中所述电路是可操作的以基于由所述环境压力感测部分响应于所述环境压力输入的移动而引起的所述环境压力感测部分的电阻变化来确定所述环境压力输出。12.根据权利要求1所述的MEMS环境压力和声学传感器,其中所述电路是可操作的以过滤与所述移动结构的移动对应的信号以确定所述声学输出和所述环境压力输出。13.根据权利要求1所述的MEMS环境压力和声学传感器,其中所述环境压力感测部分包括第一可移动板,并且所述声学感测部分包括第二可移动板,所述第一可移动板和所述第二可...
【专利技术属性】
技术研发人员:N·D·伊万斯,J·S·艾伽什,G·B·恩德特,
申请(专利权)人:苹果公司,
类型:新型
国别省市:美国,US
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