The invention relates to the technical field of magnetron, in particular to a screening process of Kovar alloy for magnetron. The screening process includes the following steps: annealing the Kovar alloy in turn; alternating treatment at high and low temperatures; microscopic examination to eliminate unqualified products; vacuum tightness inspection; vacuum degassing treatment. The invention can significantly reduce the failure rate of cathode of magnetron and metal sealing assembly of filament glass.
【技术实现步骤摘要】
一种磁控管用可伐合金的筛选工艺
本专利技术涉及磁控管
,具体涉及一种磁控管用可伐合金的筛选工艺。
技术介绍
磁控管是一种用来产生微波能的电真空器件,实质上是一个置于恒定磁场中的二极管;管内电子在相互垂直的恒定磁场和恒定电场的控制下,与高频电磁场发生相互作用,把从恒定电场中获得能量转变成微波能量,从而达到产生微波能的目的。国内外的电子直线加速器广泛采用高功率磁控管作为功率源,主要以2.6MW、4.8MW、5.5MW磁控管为主。该类磁控管具有高功率、低电压、大电流、高效率、宽脉冲、精密机械调谐等特点,具有相当卓越的射频性能。其中,2.6MW高功率磁控管采用的是玻璃金属封接的阴极和灯丝组件,该组件需要承受高温和高的微波辐射,其可靠性直接影响到管子的使用性能;而阴极和灯丝玻璃金属封接组件常采用的材料是可伐合金,又称4J29合金;该合金在20-450℃具有与硅硼硬玻璃相近的线膨胀系数,居里点较高,并有良好的低温组织稳定性,且合金的氧化膜致密,能很好地被玻璃浸润。但是,目前在高功率磁控管的生产过程中,阴极和灯丝玻璃金属封接组件的失效率约占总失效率的5%,影响了磁控管的使用性能。
技术实现思路
基于
技术介绍
存在的技术问题,本专利技术提出了一种磁控管用可伐合金的筛选工艺,在生产阴极和灯丝玻璃金属封接组件前,先对可伐合金进行筛选,能够显著降低磁控管阴极和灯丝玻璃金属封接组件的失效率。本专利技术提出的一种磁控管用可伐合金的筛选工艺,所述筛选工艺包括下述步骤:对可伐合金依次进行退火处理;高低温交替处理;显微组织检查,剔除不合格品;真空气密性检查;真空除气处理。优选地,所述退火 ...
【技术保护点】
1.一种磁控管用可伐合金的筛选工艺,其特征在于,所述筛选工艺包括下述步骤:对可伐合金依次进行退火处理;高低温交替处理;显微组织检查,剔除不合格品;真空气密性检查;真空除气处理。
【技术特征摘要】
1.一种磁控管用可伐合金的筛选工艺,其特征在于,所述筛选工艺包括下述步骤:对可伐合金依次进行退火处理;高低温交替处理;显微组织检查,剔除不合格品;真空气密性检查;真空除气处理。2.根据权利要求1所述磁控管用可伐合金的筛选工艺,其特征在于,所述退火处理在氢气的气氛中进行。3.根据权利要求1或2所述磁控管用可伐合金的筛选工艺,其特征在于,所述退火处理的具体操作为:先将可伐合金加热至830-870℃,保温至少30min;接着降温至130-170℃,保温至少30min;接着升温至930-970℃,保温至少60min;接着降温至130-170℃,保温至少30min;接着升温至1030-1070℃,保温至少30min;接着降温至130-170℃,保温至少30min;接着升温至1080-1120℃,保温至少15min;接着降温至130-170℃,保温至少30min;最后冷却至室温。4.根据权利要求3所述磁控管用可伐合金的筛选工艺,其特征在于,所述降温的速度为不大于5℃/min。5.根据权利要求1-4任一项所述磁控管用可伐合金的筛选工艺,其特征在于,所述高低温交替处理的具体操作为:先将可伐合金降温至-60到-70℃,保温至少60min;接着升温至80-90℃,保温至少30min;接着降温至-70到-80℃,保温至少120min;接着升温至80-90℃,保温至少30min;接着降温至-80到-9...
【专利技术属性】
技术研发人员:江祝苗,
申请(专利权)人:安徽新芜精密装备制造产业技术研究院有限公司,
类型:发明
国别省市:安徽,34
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。