一种晶圆通用贴膜机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆通用贴膜机，包括机体，所述机体的顶部连接有顶部盖板，且顶部盖板的一端设有一体式的盖板前沿，所述机体的两侧顶端对称设有减震弹簧室，且减震弹簧室的顶部设有椭圆凸块，所述机体的一侧内部固定有固定柱，且固定柱的内部对称设置有卡块弹簧室，所述卡块弹簧室的一侧连接有圆形卡块；当需要将顶部盖板闭合时，在椭圆凸块与减震弹簧室的作用下可有效的对顶部盖板闭合时产生的力进行缓冲，使得顶部盖板与机体闭合式不会产生碰撞，且在圆形卡块的作用下可以对顶部盖板进行固定限位，使得机体在搬运或者携带途中顶部盖板不会由于没有固定而随意摆动或者与机体产生碰撞，避免了顶部盖板内部旋转滚轮的损坏。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆通用贴膜机
本技术属于晶圆贴膜
，具体涉及一种晶圆通用贴膜机。
技术介绍
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，尺寸分为4英寸到12英寸不等，而晶圆通用贴膜机是专门用于晶圆切割后的贴膜设备，该机采用铝合金材质外壳，抗静电特氟龙台盘，进口温控系统，使整机性能更加稳定，该机适用于8英寸晶圆和12英寸晶圆。现有的晶圆贴膜机在使用时仍然存在一些不足之处：1、机体在搬运或者携带途中，顶部盖板可能由于没有固定而随意摆动或者与机体产生碰撞，造成损坏，而在日常使用过程中需要频繁的将顶部盖板闭合或打开，闭合途中可能由于顶部盖板与机体碰撞产生振动，频繁的振动可能导致顶部盖板内部的旋转压轮出现松动或者偏移，从而对后续贴膜产生影响；2、当操作面板内部出现故障需要检修时，必须将机体两侧的侧板全部拆卸，才能对内部进行检修，且拆卸方式较为繁琐；3、为了防止外界电源插头与插座之间松动或者脱落，外界电源插头通过两个紧固螺丝固定在电源插座外侧，由于电源插座与外界插头之间可能需要频繁拔插，而每次拔插都需要拆卸螺丝，给操作人员带来极大不便。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种晶圆通用贴膜机，以解决上述
技术介绍
中提出的机体在搬运或者携带途中，顶部盖板可能由于没有固定而随意摆动或者与机体产生碰撞，造成损坏，而在日常使用过程中需要频繁的将顶部盖板闭合或打开，闭合途中可能由于顶部盖板与机体碰撞产生振动，频繁的振动可能导致顶部盖板内部的旋转压轮出现松动或者偏移，从而对后续贴膜产生影响，当操作面板内部出现故障需要检修时，必须将机体两侧的侧板全部拆卸，才能对内部进行检修，且拆卸方式较为繁琐，为了防止外界电源插头与插座之间松动或者脱落，外界电源插头通过两个紧固螺丝固定在电源插座外侧，由于电源插座与外界插头之间可能需要频繁拔插，而每次拔插都需要拆卸螺丝，给操作人员带来极大不便问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种晶圆通用贴膜机，包括机体，所述机体的顶部连接有顶部盖板，且顶部盖板的一端设有一体式的盖板前沿，所述机体的两侧顶端对称设有减震弹簧室，且减震弹簧室的顶部设有椭圆凸块，所述机体的一侧内部固定有固定柱，且固定柱的内部对称设置有卡块弹簧室，所述卡块弹簧室的一侧连接有圆形卡块，且圆形卡块的底部处于卡块弹簧室的内部，所述圆形卡块的顶部处于固定柱的外表面。优选的，所述机体的一侧表面连接有操作面板，且操作面板的顶部与固定柱的底部贴合，所述操作面板的顶部对称设有螺栓孔，且固定柱的底部设有与之相对应的螺栓孔。优选的，所述机体的另一侧表面设有电源插座，且电源插座的内部固定有外界电源插头，所述外界电源插头的一端处于电源插座的内部，且外界电源插头的内部对称设有伸缩弹簧室，所述伸缩弹簧室的顶部设有三角卡块与按压抵块，且三角卡块与按压抵块为一体式构件。优选的，所述电源插座的内部设有矩形孔，且矩形孔的位置与三角卡块相对应，所述三角卡块的高度为矩形孔的一点五倍。优选的，所述盖板前沿表面设置有圆形孔，且圆形孔的位置与圆形卡块相对应。与现有技术相比，本技术的有益效果是：1、当需要将顶部盖板闭合时，在椭圆凸块与减震弹簧室的作用下可有效的对顶部盖板闭合时产生的力进行缓冲，使得顶部盖板与机体闭合式不会产生碰撞，且在圆形卡块的作用下可以对顶部盖板进行固定限位，使得机体在搬运或者携带途中顶部盖板不会由于没有固定而随意摆动或者与机体产生碰撞，避免了顶部盖板内部旋转滚轮的损坏；2、当操作面板内部出现故障需要检修时，只需拆卸下操作面板顶部的两个固定螺丝，再将操作面板在铰链的作用下旋转打开即可，避免了操作面板无法单独拆卸且需要拆卸掉机体两侧大量螺丝才能对操作面板内部进行维修的问题，此方法稳定可靠，方便快捷；3、在外界电源插头与电源插座进行对接时，只需将外界插头顶端对准电源插座内部插入即可，插入后三角卡块会对外界电源插头进行固定限位，使得外界电源插头不会与电源插座产生松动，且当需要拔出外界电源插头时，只需按下按压抵块即可将外界电源插头轻松拔出，避免了原装置需要用螺丝进行固定的问题，且同样具有稳定性。附图说明图1为本技术的结构示意图；图2为本技术的顶部盖板打开状态下侧视剖视结构示意图；图3为本技术的局部放大剖视结构示意图；图4为本技术的操作面板打开状态下结构示意图；图5为本技术的外界电源插头与电源插座连接剖视结构示意图；图中：1、机体；2、圆形卡块；3、顶部盖板；4、盖板前沿；5、操作面板；6、椭圆凸块；7、外界电源插头；8、电源插座；9、减震弹簧室；10、卡块弹簧室；11、固定柱；12、三角卡块；13、按压抵块；14、伸缩弹簧室。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。实施例1请参阅图1至图5，本技术提供一种技术方案：一种晶圆通用贴膜机，包括机体1，机体1的顶部通过转轴连接有顶部盖板3，且顶部盖板3的一端设有一体式的盖板前沿4，机体1的两侧顶端对称设有减震弹簧室9，且减震弹簧室9的顶部通过弹簧连接有椭圆凸块6，机体1的一侧内部通过螺栓固定有固定柱11，且固定柱11的内部对称设置有卡块弹簧室10，卡块弹簧室10的一侧通过弹簧连接有圆形卡块2，且圆形卡块2的底部处于卡块弹簧室10的内部，圆形卡块2的顶部处于固定柱11的外表面。为了操作面板5可以方便打开，本实施例中，优选的，机体1的一侧表面通过铰链连接有操作面板5，且操作面板5的顶部与固定柱11的底部贴合，操作面板5的顶部对称设有螺栓孔，且固定柱11的底部设有与之相对应的螺栓孔。为了外界电源插头7可以快捷的固定在电源插座8内部，本实施例中，优选的，机体1的另一侧表面设有电源插座8，且电源插座8的内部通过卡合连接有外界电源插头7，外界电源插头7的一端处于电源插座8的内部，且外界电源插头7的内部对称设有伸缩弹簧室14，伸缩弹簧室14的顶部通过弹簧连接有三角卡块12与按压抵块13，且三角卡块12与按压抵块13为一体式构件。为了三角卡块12可以对外界电源插头7固定限位，本实施例中，优选的，电源插座8的内部设有矩形孔，且矩形孔的位置与三角卡块12相对应，三角卡块12的高度为矩形孔的一点五倍。为了圆形卡块2可以贯穿过盖板前沿4内部，本实施例中，优选的，盖板前沿4表面设置有圆形孔，且圆形孔的位置与圆形卡块2相对应。实施例2请参阅图1至图5，本技术提供一种技术方案：一种晶圆通用贴膜机，包括机体1，机体1的顶部通过转轴连接有顶部盖板3，且顶部盖板3的一端通过焊接设有盖板前沿4，机体1的两侧顶端对称设有减震弹簧室9，且减震弹簧室9的顶部通过弹簧连接有椭圆凸块6，机体1的一侧内部通过螺栓固定有固定柱11，且固定柱11的内部对称设置有卡块弹簧室10，卡块弹簧室10的一侧通过弹簧连接有圆形卡块2，且圆形卡块2的底部处于卡块弹簧室10的内部，圆形卡块2的顶部处于固定柱11的外表面。为了操作面板5可以方便打开，本实施例中，优选的，机体1的一侧表面通过铰链本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆通用贴膜机，包括机体（1），其特征在于：所述机体（1）的顶部连接有顶部盖板（3），且顶部盖板（3）的一端设有一体式的盖板前沿（4），所述机体（1）的两侧顶端对称设有减震弹簧室（9），且减震弹簧室（9）的顶部设有椭圆凸块（6），所述机体（1）的一侧内部固定有固定柱（11），且固定柱（11）的内部对称设置有卡块弹簧室（10），所述卡块弹簧室（10）的一侧连接有圆形卡块（2），且圆形卡块（2）的底部处于卡块弹簧室（10）的内部，所述圆形卡块（2）的顶部处于固定柱（11）的外表面。

【技术特征摘要】
1.一种晶圆通用贴膜机，包括机体（1），其特征在于：所述机体（1）的顶部连接有顶部盖板（3），且顶部盖板（3）的一端设有一体式的盖板前沿（4），所述机体（1）的两侧顶端对称设有减震弹簧室（9），且减震弹簧室（9）的顶部设有椭圆凸块（6），所述机体（1）的一侧内部固定有固定柱（11），且固定柱（11）的内部对称设置有卡块弹簧室（10），所述卡块弹簧室（10）的一侧连接有圆形卡块（2），且圆形卡块（2）的底部处于卡块弹簧室（10）的内部，所述圆形卡块（2）的顶部处于固定柱（11）的外表面。2.根据权利要求1所述的一种晶圆通用贴膜机，其特征在于：所述机体（1）的一侧表面连接有操作面板（5），且操作面板（5）的顶部与固定柱（11）的底部贴合，所述操作面板（5）的顶部对称设有螺栓孔，且固定柱（11）的底部设...

【专利技术属性】
技术研发人员：汪文坚，蔡道库，王倩，刘少丽，
申请(专利权)人：江苏纳沛斯半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32