一种用于真空器件的吸气剂加热装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提出的是一种用于真空器件的吸气剂加热装置，其结构包括加热圈、温度传感器、温度控制器、热传导真空管道、真空电极；其中加热圈固定于热传导真空管道的外部，温度控制器的输出端与加热圈串联，温度控制器的信号输入端连接温度传感器的输出端，温度传感器的输入端设有真空电极，真空电极的末端伸入热传导真空管道的内部。本实用新型专利技术的优点：1）热传导效果好，温度可控，并可保持器件内部真空条件不被破坏；2）结构简单、成本较低、安装使用方便。

A Kind of Absorbent Heating Device for Vacuum Device

The utility model proposes an aspirant heating device for vacuum devices, which consists of a heating ring, a temperature sensor, a temperature controller, a heat conduction vacuum pipe and a vacuum electrode, in which the heating ring is fixed outside the heat conduction vacuum pipe, the output end of the temperature controller is in series with the heating ring, and the signal input end of the temperature controller is connected with the output of the temperature sensor. At the end, the input end of the temperature sensor is provided with a vacuum electrode, and the end of the vacuum electrode is extended into the interior of the heat conduction vacuum pipe. The utility model has the following advantages: 1) good heat conduction effect, controllable temperature, and can keep the vacuum condition inside the device from being destroyed; 2) simple structure, low cost, convenient installation and use.

【技术实现步骤摘要】
一种用于真空器件的吸气剂加热装置
本技术公开的是一种用于真空器件的吸气剂加热装置，属于电子信息器件材料检测领域。
技术介绍
吸气剂是真空和气体纯化领域常用的材料，作用是消除器件中的杂质气体，保证真空度或气体纯度。一般情况下，吸气剂在安装进器件后开始工作之前需要进行加热激活，现有吸气剂激活方式主要包括高频感应激活、通电加热激活、热传导激活等。吸气剂热传导激活一般是把吸气剂安装在器件内，在器件的排气过程的同时完成吸气剂加热激活；然而，对于自身不需要排气，但需要使用吸气剂的真空器件，现有技术中对此类器件的吸气剂加热激活缺乏专用的装置。
技术实现思路
本技术提出的是一种用于真空器件的吸气剂加热装置，其目的在于解决现有技术中没有适用于真空器件的吸气剂加热激活专用装置的问题，提供一种专用于真空器件外部通过热传导精确加热激活器件内吸气剂的装置。本技术的技术解决方案：一种用于真空器件的吸气剂加热装置，其结构包括加热圈、温度传感器、温度控制器、热传导真空管道、真空电极；其中加热圈固定于热传导真空管道的外部，温度控制器的输出端与加热圈串联，温度控制器的信号输入端连接温度传感器的输出端，温度传感器的输入端设有真空电极，通过真空电极伸入热传导真空管道的内部。本技术的优点：1）热传导效果好，温度可控，并可保持器件内部真空条件不被破坏；2）结构简单、成本较低、安装使用方便。附图说明附图1是用于真空器件的吸气剂加热装置的结构示意图。具体实施方式如图1所示，一种用于真空器件的吸气剂加热装置，其结构包括加热圈、温度传感器、温度控制器、热传导真空管道、真空电极；其中加热圈固定于热传导真空管道的外部，温度控制器的输出端与加热圈串联，温度控制器的信号输入端连接温度传感器的输出端，温度传感器的输入端设有真空电极，通过真空电极伸入热传导真空管道的内部。所述的加热圈，其外层使用铁皮包覆，中层为隔热纤维，内层为陶瓷片，电阻加热丝缠绕在陶瓷片内部；加热圈具有通电发热功能，工作时固定在热传导真空管道的外部，受温度控制器控制。所述的温度传感器能够测量室温至800℃以上温度，通过真空电极连接热传导真空管道内部的吸气剂，用于测量热传导真空管道内部吸气剂的温度，并将温度信号传递给温度控制器。所述的温度控制器通过外部供电，并连接加热圈，温度控制器内部含有温控仪，可预置吸气剂的加热温度，并通过调压器和继电器控制输出电流大小，根据预定设置控制向加热圈供电。所述的热传导真空管道为吸气剂所在的密闭容器，并用法兰外接真空排气设备，其外径通常大于10mm，小于180mm，器壁材料一般为不锈钢、玻璃、可伐、铜、钛合金等，可耐受吸气剂所需的烘烤条件。所述的真空电极连接温度传感器探头与热传导真空管道内的吸气剂相接触，并将温度信号传递给温度控制器，在密闭大气的条件下起到传输电信号的作用。实施例一种用于真空器件的吸气剂加热装置，其结构包括加热圈、温度传感器、温度控制器、热传导真空管道、真空电极；其中加热圈固定于热传导真空管道的外部，温度控制器的输出端与加热圈串联，温度控制器的信号输入端连接温度传感器的输出端，温度传感器的输入端设有真空电极，通过真空电极伸入热传导真空管道的内部与吸气剂相接触，吸气剂为外径8mm，高度4mm的片状，激活条件为500℃保温30分钟。所述的加热圈外径为45mm~55mm，内径为25mm~35mm，内外径可调，加热圈高度150mm；其外层使用铁皮包覆，中层为隔热纤维，内层为陶瓷片，电阻加热丝串在陶瓷片内部，最大功率为750W。所述的温度传感器使用K型热电偶，测温范围为室温至1300℃。所述的温度控制器使用XMTA型温度控制器，配合固态调压器和继电器，可将加热温度预置为500℃。所述的热传导真空管道，使用外径为26mm、内径为24mm的硬质玻璃真空管道，可耐受600℃烘烤；将吸气剂放置在热传导真空管道内，并用法兰连接真空排气设备。所述的真空电极使用玻璃封接钨电极，将玻璃电极烧制在热传导真空管道表面上。工作时，将热传导真空管道排气至真空状态，为装置供电，调节调压器至80%打开状态，并将温控仪温度设置为500℃；观察测温仪温度，待温度达到500℃开始计时，30分钟后断开系统供电，待装置完全冷却后即完成吸气剂加热激活。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于真空器件的吸气剂加热装置，其特征是包括加热圈、温度传感器、温度控制器、热传导真空管道、真空电极；其中加热圈固定于热传导真空管道的外部，温度控制器的输出端与加热圈串联，温度控制器的信号输入端连接温度传感器的输出端，温度传感器的信号输入端设有真空电极，真空电极的末端固定于热传导真空管道的内部。

【技术特征摘要】
1.一种用于真空器件的吸气剂加热装置，其特征是包括加热圈、温度传感器、温度控制器、热传导真空管道、真空电极；其中加热圈固定于热传导真空管道的外部，温度控制器的输出端与加热圈串联，温度控制器的信号输入端连接温度传感器的输出端，温度传感器的信号输入端设有真空电极，真空电极的末端固定于热传导真空管道的内部。2.根据权利要求1所述的一种用于真空器件的吸气剂加热装置，其特征是所述的加热圈的外层为铁皮，中层为隔热纤维，内层为陶瓷片，陶瓷片内部穿有电阻加热丝。3.根据权利要求1所述的一种用于真空器件的吸气剂加热装置，其特征是所述的温度传感器通...

【专利技术属性】
技术研发人员：王浏杰，薛函迎，柴云川，郭卫斌，
申请(专利权)人：南京华东电子真空材料有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32