化学研磨装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种化学研磨装置，属于玻璃基板加工技术领域，该装置主要由研磨液浴箱、玻璃基板放置架、耐酸阀、研磨液储存箱和耐酸泵组成，可将玻璃基板放置在研磨液浴箱内进行研磨处理，在处理过程中，完全处于封闭状态，不会挥发出氟酸气体，改善了工作人员的工作环境；当需要从研磨液浴箱中取出玻璃基板时，只需要打开耐酸阀，将研磨液浴箱内的研磨液排至研磨液储存箱中，然后利用吊装设备将玻璃基板放置架连带玻璃基板一起吊出，最大程度的减少了取放玻璃基板过程中氟酸挥发量。

Chemical grinding device

The utility model discloses a chemical grinding device, which belongs to the technical field of glass substrate processing. The device mainly consists of a grinding fluid bath box, a glass substrate placement frame, an acid-resistant valve, a grinding fluid storage box and an acid-resistant pump. The glass substrate can be placed in a grinding fluid bath box for grinding treatment, and in the process of treatment, it can be completely located. In the closed state, the fluoric acid gas will not evaporate, thus improving the working environment of the staff; when it is necessary to remove the glass substrate from the abrasive bath box, only need to open the acid-resistant valve, drain the abrasive fluid from the abrasive bath box into the abrasive storage box, and then use the hoisting equipment to place the glass substrate on the shelf with the glass substrate. The maximum amount of fluoric acid volatilization in the process of collecting and laying glass substrate is lifted.

【技术实现步骤摘要】
化学研磨装置
本技术属于玻璃基板加工领域，具体涉及一种化学研磨装置。
技术介绍
为了使玻璃基板薄型化，通常需要使用含有氟酸的化学研磨液对玻璃基板进行化学研磨处理。目前在玻璃基板批量研磨处理过程中，一般是以规定时间浸渍于研磨液浴槽中，但是由于研磨液浴槽是向上方开放的结构，浴槽中的研磨液容易挥发出氟酸气体，并扩散至周围，工作人员长期在这样的环境下工作，会危害到工作人员的健康，如果工作人员身穿防护服进行工作，则操作会显得非常麻烦。
技术实现思路
本技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种化学研磨装置。本技术通过以下技术方案来实现上述目的：一种化学研磨装置，包括：研磨液储存箱，所述研磨液储存箱设置有循环回液口、补液口和两个出液口，所述研磨液储存箱的补液口和其中一个出液口均设置有密封塞；研磨液浴箱，所述研磨液浴箱固定安装于所述研磨液储存箱的上方，其顶部设置有浴箱密封盖，侧壁由上至下依次开设有若干扁平状的浴箱进液口，底部设置有循环排液口，所述研磨液浴箱的循环排液口与所述研磨液储存箱的循环回液口之间通过耐酸阀连接；玻璃基板放置架，所述玻璃基板放置架放置于所述研磨液浴箱内，且由上至下依次设置有多层网状结构的玻璃支撑板，每层所述玻璃支撑板均对应一个所述浴箱进液口；耐酸泵，所述耐酸泵的进口与所述研磨液储存箱的另一个出液口连接；分液器，所述分液器由一根分液总管和若干与所述分液总管连接的分液支管组成，所述分液支管的出口为与所述浴箱进液口形状相匹配的长条形矩形口，所述分液支管与所述浴箱进液口一一对应连接，所述分液总管与所述耐酸泵的出口连接。作为本专利选择的一种技术方案，所述研磨液储存箱和所述研磨液浴箱均设置有透明的观察窗。作为本专利选择的一种技术方案，所述研磨液浴箱的底部为漏斗状，且漏斗底口作为所述研磨液浴箱的循环排液口。作为本专利选择的一种技术方案，所述研磨液储存箱的两个出液口均设置于侧下部，补液口设置有侧上部，循环回液口设置于顶部。作为本专利选择的一种技术方案，所述玻璃基板放置架和所述浴箱密封盖均设置有吊环。本技术的有益效果在于：该装置主要由研磨液浴箱、玻璃基板放置架、耐酸阀、研磨液储存箱和耐酸泵组成，可将玻璃基板放置在研磨液浴箱内进行研磨处理，在处理过程中，完全处于封闭状态，不会挥发出氟酸气体，改善了工作人员的工作环境；当需要从研磨液浴箱中取出玻璃基板时，只需要打开耐酸阀，将研磨液浴箱内的研磨液排至研磨液储存箱中，然后利用吊装设备将玻璃基板放置架连带玻璃基板一起吊出，最大程度的减少了取放玻璃基板过程中氟酸挥发量。附图说明图1是本技术所述化学研磨装置的局部剖视结构示意图；图2是本技术所述分液器的结构示意图；图中：1-研磨液浴箱，2-观察窗，3-耐酸阀，4-补液口，5-观察窗，6-研磨液储存箱，7-出液口，8-出液口，9-耐酸泵，10-分液总管，11-分液支管，12-浴箱进液口，13-浴箱密封盖，14-玻璃基板，15-玻璃支撑板，16-玻璃基板放置架。具体实施方式下面结合附图对本技术作进一步说明：结合图1和图2所示，本技术包括以下结构：研磨液储存箱6，研磨液储存箱6设置有循环回液口、补液口4和两个出液口，研磨液储存箱6的补液口4和其中一个出液口均设置有密封塞；研磨液浴箱1，研磨液浴箱1固定安装于研磨液储存箱6的上方，其顶部设置有浴箱密封盖13，侧壁由上至下依次开设有若干扁平状的浴箱进液口12，底部设置有循环排液口，研磨液浴箱1的循环排液口与研磨液储存箱6的循环回液口之间通过耐酸阀3连接；玻璃基板放置架16，玻璃基板放置架16放置于研磨液浴箱1内，且由上至下依次设置有多层网状结构的玻璃支撑板15，每层玻璃支撑板15均对应一个浴箱进液口12；耐酸泵9，耐酸泵9的进口与研磨液储存箱6的另一个出液口连接；分液器，分液器由一根分液总管10和若干与分液总管10连接的分液支管11组成，分液支管11的出口为与浴箱进液口12形状相匹配的长条形矩形口，分液支管11与浴箱进液口12一一对应连接，分液总管10与耐酸泵9的出口连接。作为本专利选择的一种技术方案，研磨液储存箱6和研磨液浴箱1均设置有透明的观察窗5、2，通过观察窗5可以观察研磨液储存箱6内的研磨液液位是否在标准位，通过观察窗2可以观察研磨液浴箱1内的研磨液是否完全排出。作为本专利选择的一种技术方案，研磨液浴箱1的底部为漏斗状，且漏斗底口作为研磨液浴箱1的循环排液口，该结构便于将研磨液排净。作为本专利选择的一种技术方案，研磨液储存箱6的两个出液口均设置于侧下部，补液口4设置有侧上部，循环回液口设置于顶部。作为本专利选择的一种技术方案，玻璃基板放置架16和浴箱密封盖13均设置有吊环，以方便吊装设备将它们吊起。本技术的工作原理如下：最初研磨液浴箱1内没有研磨液，耐酸阀3处于关闭状态,研磨液储存箱6内的研磨液处于满箱状态；将玻璃基板14逐块分层放置在玻璃基板放置架16内，然后利用吊装设备将该玻璃基板放置架16吊至研磨液浴箱1，再将顶部的浴箱密封盖13盖上，使得研磨液浴箱1处于封闭状态；启动耐酸泵9，将研磨液浴箱1内的研磨液泵入研磨液浴箱1中，使得研磨液浴箱1内所有的玻璃基板均浸没在研磨液中；在向研磨液浴箱1内供入研磨液的过程中，研磨液冲洗每层玻璃基板，该冲洗方式可提高研磨处理的效率；当研磨处理完毕后，打开耐酸阀3，将研磨液浴箱1内的研磨液全部排至研磨液储存箱6内，然后关闭耐酸阀3，并保持一段时间后，再打开浴箱密封盖13，利用吊装设备将玻璃基板放置架16连带玻璃基板吊出研磨液浴箱1，并置于清洗池中清洗，此时便可进行下一批玻璃基板的研磨处理；当研磨液储存箱6内的研磨液使用一段时间后，为了使得研磨液浓度达到要求，则需要更换，通过补液口4向研磨液储存箱6内补充研磨液，通过出液口将原有的研磨液排出；如果需要对设备进行清洗，则可多次通入清洗用水，并利用耐酸泵9使清洗用水循环清洗各处。以上仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本技术的保护范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种化学研磨装置，其特征在于，包括：研磨液储存箱，所述研磨液储存箱设置有循环回液口、补液口和两个出液口，所述研磨液储存箱的补液口和其中一个出液口均设置有密封塞；研磨液浴箱，所述研磨液浴箱固定安装于所述研磨液储存箱的上方，其顶部设置有浴箱密封盖，侧壁由上至下依次开设有若干扁平状的浴箱进液口，底部设置有循环排液口，所述研磨液浴箱的循环排液口与所述研磨液储存箱的循环回液口之间通过耐酸阀连接；玻璃基板放置架，所述玻璃基板放置架放置于所述研磨液浴箱内，且由上至下依次设置有多层网状结构的玻璃支撑板，每层所述玻璃支撑板均对应一个所述浴箱进液口；耐酸泵，所述耐酸泵的进口与所述研磨液储存箱的另一个出液口连接；分液器，所述分液器由一根分液总管和若干与所述分液总管连接的分液支管组成，所述分液支管的出口为与所述浴箱进液口形状相匹配的长条形矩形口，所述分液支管与所述浴箱进液口一一对应连接，所述分液总管与所述耐酸泵的出口连接。

【技术特征摘要】
1.一种化学研磨装置，其特征在于，包括：研磨液储存箱，所述研磨液储存箱设置有循环回液口、补液口和两个出液口，所述研磨液储存箱的补液口和其中一个出液口均设置有密封塞；研磨液浴箱，所述研磨液浴箱固定安装于所述研磨液储存箱的上方，其顶部设置有浴箱密封盖，侧壁由上至下依次开设有若干扁平状的浴箱进液口，底部设置有循环排液口，所述研磨液浴箱的循环排液口与所述研磨液储存箱的循环回液口之间通过耐酸阀连接；玻璃基板放置架，所述玻璃基板放置架放置于所述研磨液浴箱内，且由上至下依次设置有多层网状结构的玻璃支撑板，每层所述玻璃支撑板均对应一个所述浴箱进液口；耐酸泵，所述耐酸泵的进口与所述研磨液储存箱的另一个出液口连接；分液器，所述分液器由一根分液总管和...

【专利技术属性】
技术研发人员：王跃，石永芳，李晓波，何昱岑，彭洋，陈洪宇，
申请(专利权)人：重庆第二师范学院，
类型：新型
国别省市：重庆,50