感光性树脂组合物、干膜、固化物、印刷电路板和光产碱剂制造技术

提供：灵敏度优异的感光性树脂组合物、具有由该组合物得到的树脂层的干膜、该组合物或该干膜的树脂层的固化物、具有该固化物的印刷电路板、灵敏度优异的光产碱剂。感光性树脂组合物等，所述感光性树脂组合物的特征在于，含有：下述通式(1)所示的羧酸与碱形成的离子型的光产碱剂。(式(1)中，R1～R4、X1和X2各自独立地为氢原子或取代基，X1和X2中的至少一者为吸电子基团，Y为给电子基团，B表示碱。)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】感光性树脂组合物、干膜、固化物、印刷电路板和光产碱剂
本专利技术涉及感光性树脂组合物、干膜、固化物、印刷电路板和光产碱剂。
技术介绍
利用由于光的作用产生碱的光产碱剂作为催化剂使树脂化学改性的方法应用于光致抗蚀剂材料、光固化材料等领域。例如，专利文献1中记载了一种感光性树脂组合物，其特征在于，含有：包含进行光脱羧的羧酸与叔胺形成的盐的光产碱剂；和，聚酰亚胺前体和/或聚苯并噁唑前体。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利4830435号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题要求提高含有光产碱剂的感光性树脂组合物的灵敏度。如果灵敏度提高，则可以缓和用于产生碱的光照射的条件、利用碱进行热固化时的热处理的条件等反应条件，也期待能以良好的分辨率进行图案化。另外，如果灵敏度提高，则上述那样的反应条件的选择的范围拓宽，在考虑感光性树脂组合物中其他成分、涂布感光性树脂组合物的基材等其他材料的耐热性等特性的方面，期待可以选择比以往更适合的反应条件。然而，专利文献1中记载的包含进行光脱羧的羧酸与叔胺形成的盐的光产碱剂中，无法得到充分的灵敏度。因此，本专利技术的目的在于，提供：灵敏度优异的感光性树脂组合物、具有由该组合物得到的树脂层的干膜、该组合物或该干膜的树脂层的固化物、具有该固化物的印刷电路板、灵敏度优异的光产碱剂。用于解决问题的方案本专利技术人等鉴于上述进行了深入研究，结果发现：通过将具有特定结构的化合物作为光产碱剂使用，可以解决上述课题，至此完成了本专利技术。即，本专利技术的感光性树脂组合物的特征在于，含有：下述通式(1)所示的羧酸与碱形成的离子型的光产碱剂。(式(1)中，R1～R4、X1和X2各自独立地为氢原子或取代基，X1和X2中的至少一者为吸电子基团，Y为给电子基团，B表示碱。)本专利技术的感光性树脂组合物优选的是，前述光产碱剂的摩尔吸光系数为300L·mol-1·cm-1以上。本专利技术的感光性树脂组合物优选的是，前述通式(1)中，吸电子基团选自由-C≡N、-NO2、-COCH3、-F、-Cl、-Br和-I组成的组。本专利技术的感光性树脂组合物优选的是，前述通式(1)中，给电子基团选自由-CH3、-C2H5、-CH(CH3)2、-C(CH3)3、-C6H5、-OH、-OCH3和-OC6H5组成的组。本专利技术的感光性树脂组合物优选的是，还含有高分子前体。本专利技术的感光性树脂组合物优选的是，前述高分子前体为聚酰胺酸和聚酰胺酸酯中的至少任一者。本专利技术的感光性树脂组合物优选的是，前述高分子前体为具有下述通式(4-1)所示的结构的聚酰胺酸酯。(式(4-1)中，R7为4价的有机基团，R8为具有脂环式骨架的基团、亚苯基、具有用亚烷基键合的二亚苯基骨架的基团和亚烷基中的任意者，R9-1和R10-1任选彼此相同或不同，为1价的有机基团或具有硅的官能团，R11为2价的有机基团，m为1以上的整数，n为0或1以上的整数。)本专利技术的感光性树脂组合物优选的是，前述通式(4-1)中的R7为包含芳香族环与脂肪族烃环的稠合环的4价的有机基团、包含芳香族基团和脂环式烃基的4价的有机基团、或包含氟原子的4价的有机基团。本专利技术的感光性树脂组合物优选的是，前述高分子前体为具有下述通式(4-1-1)和(4-1-2)中的至少任一者所示的结构的聚酰胺酸酯。(式(4-1-1)中，R8为具有脂环式骨架的基团、亚苯基、具有用亚烷基键合的二亚苯基骨架的基团和亚烷基中的任意者，R9-1和R10-1任选彼此相同或不同，为1价的有机基团或具有硅的官能团，R11为2价的有机基团，m为1以上的整数，n为0或1以上的整数。)(式(4-1-2)中，R8为具有脂环式骨架的基团、亚苯基、具有用亚烷基键合的二亚苯基骨架的基团和亚烷基中的任意者，R9-1和R10-1任选彼此相同或不同，为1价的有机基团或具有硅的官能团，R11为2价的有机基团，m为1以上的整数，n为0或1以上的整数。)本专利技术的干膜的特征在于，具有树脂层，所述树脂层是将前述感光性树脂组合物涂布于薄膜并干燥而得到的。本专利技术的固化物的特征在于，其是将前述感光性树脂组合物或前述干膜的树脂层固化而得到的。本专利技术的印刷电路板的特征在于，具有前述固化物。本专利技术的光产碱剂的特征在于，其为下述通式(1)所示的羧酸与碱形成的离子型。(式(1)中，R1～R4、X1和X2各自独立地为氢原子或取代基，X1和X2中的至少一者为吸电子基团，Y为给电子基团，B表示碱。)本专利技术的光产碱剂优选的是，前述通式(1)中，吸电子基团为-C≡N、-COCH3、-NO2、-F、-Cl、-Br和-I。本专利技术的光产碱剂优选的是，前述通式(1)中，给电子基团为-CH3、-C2H5、-CH(CH3)2、-C(CH3)3、-C6H5、-OH、-OCH3和-OC6H5。专利技术的效果根据本专利技术，可以提供：灵敏度优异的感光性树脂组合物、具有由该组合物得到的树脂层的干膜、该组合物或该干膜的树脂层的固化物、具有该固化物的印刷电路板、灵敏度优异的光产碱剂。附图说明图1为示出实施例1-1中合成的光产碱剂MONPA-TBD的1H-NMR的光谱的图。横轴表示化学位移(δ)、纵轴表示相对强度(ppm)。图2为示出实施例1-2中合成的光产碱剂MONPA-DBU的1H-NMR的光谱的图。横轴表示化学位移(δ)、纵轴表示相对强度(ppm)。图3为示出实施例1-3中合成的光产碱剂MONPA-2E4MZ的1H-NMR的光谱的图。横轴表示化学位移(δ)、纵轴表示相对强度(ppm)。图4为示出实施例1-4中合成的光产碱剂MONPA-DBA的1H-NMR的光谱的图。横轴表示化学位移(δ)、纵轴表示相对强度(ppm)。具体实施方式以下，对本专利技术的感光性树脂组合物含有的成分进行详述。[光产碱剂]本专利技术中，使用下述通式(1)所示的羧酸与碱形成的离子型的光产碱剂。(式(1)中，R1～R4、X1和X2各自独立地为氢原子或取代基，X1和X2中的至少一者为吸电子基团，Y为给电子基团，B表示碱。此处，取代基是指氢原子以外的基团。)前述光产碱剂具有在源自苯乙酸的苯环的间位和对位分别直接键合有吸电子基团和给电子基团的结构。凭借这样的结构，可以产生碱。另外，通过上述结构，能够制造在i射线(365nm)下灵敏度也高的光产碱剂。前述光产碱剂的i射线下的摩尔吸光系数优选为300L·mol-1·cm-1以上、更优选为500L·mol-1·cm-1以上、进一步优选为1100L·mol-1·cm-1以上。摩尔吸光系数越高，有灵敏度变得越高的倾向。摩尔吸光系数的上限值没有特别限制，从光稳定性、保存稳定性的观点出发，例如为20000L·mol-1·cm-1以下。进而，前述光产碱剂的热解温度(Td)高，因此，例如涂膜干燥时的热稳定性也优异。前述光产碱剂的Td优选120℃以上、更优选150℃以上、最优选180℃以上。需要说明的是，热解温度(Td)是指，失重比率成为10％时的温度。作为相对于前述光产碱剂的活性光线，可以照射可见光线、紫外线、电子束、X射线等，优选紫外线、特别是248nm、365nm、405nm、436nm的紫外线。前述通式(1)中，R1、R2、X1和X2各自独立地为氢原子或取代基。作为取代基，例如可以举出卤素原子、羟基、巯基、硫基、甲硅烷基、硅烷醇基、氰基、硝基、本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种感光性树脂组合物，其特征在于，含有：下述通式(1)所示的羧酸与碱形成的离子型的光产碱剂，

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.02.16 JP 2016-0273541.一种感光性树脂组合物，其特征在于，含有：下述通式(1)所示的羧酸与碱形成的离子型的光产碱剂，式(1)中，R1～R4、X1和X2各自独立地为氢原子或取代基，X1和X2中的至少一者为吸电子基团，Y为给电子基团，B表示碱。2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述光产碱剂的摩尔吸光系数为300L·mol-1·cm-1以上。3.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述通式(1)中，吸电子基团选自由-C≡N、-COCH3、-NO2、-F、-Cl、-Br和-I组成的组。4.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述通式(1)中，给电子基团选自由-CH3、-C2H5、-CH(CH3)2、-C(CH3)3、-C6H5、-OH、-OCH3和-OC6H5组成的组。5.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其特征在于，还含有高分子前体。6.根据权利要求5所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述高分子前体为聚酰胺酸和聚酰胺酸酯中的至少任一者。7.根据权利要求5所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述高分子前体为具有下述通式(4-1)所示的结构的聚酰胺酸酯，式(4-1)中，R7为4价的有机基团，R8为具有脂环式骨架的基团、亚苯基、具有用亚烷基键合的二亚苯基骨架的基团和亚烷基中的任意者，R9-1和R10-1任选彼此相同或不同，为1价的有机基团或具有硅的官能团，R11为2价的有机基团，m为1以上的整数，n为0或1以上的整数。8.根据权利要求7所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述通式(4-1)中的R7为包含芳香族环与脂肪族烃环的稠合环的4价的有机基团、包含芳香族基团和脂环式烃基的4价的有机基团、或包含氟原子的4价的有...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭扬眉，三轮崇夫，有光晃二，冈安克起，
申请(专利权)人：太阳控股株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP