带电粒子束装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供带电粒子束装置，其能够迅速地进行试样的配置和更换。该带电粒子束装置具有：带电粒子束镜筒，其向试样照射带电粒子束；试样载台，其包含具有基座部(5d)和相对于基座部(5d)绕旋转轴线(R1)旋转的旋转移动部的旋转载台(5A)，使试样相对于带电粒子束镜筒移动；旋转连接器(56)，其与旋转轴线(R1)同轴配置，插装在基座部(5d)与旋转移动部之间；以及接触引脚(55a)，其配置在试样载台的上部，与旋转连接器(56)电连接。

Charged particle beam device

The invention provides a charged particle beam device, which can quickly configure and replace the sample. The charged particle beam apparatus has: a charged particle beam mirror barrel, which illuminates the charged particle beam to the specimen; a sample platform, which comprises a rotating platform (5A) with a base (5d) and a rotating moving part (5d) rotating around a rotating axis (R1) to make the specimen move relative to the charged particle beam mirror barrel; a rotating connector (56), which comprises a base (5d) and a rotating moving part (5A) rotating relative to the base (5d) rotating around the rotating axis (R1 Coaxially arranged with the rotating axis (R1), inserted between the base part (5d) and the rotating moving part, and the contact pin (55a), which is arranged on the upper part of the sample platform and electrically connected with the rotating connector (56).

【技术实现步骤摘要】
带电粒子束装置
本专利技术涉及带电粒子束装置。
技术介绍
所谓带电粒子束是离子束和电子束的总称。能够利用会聚的带电粒子束来进行加工、观察以及分析中的至少任意一个(以下称为观察等)的装置被称为带电粒子束装置。带电粒子束装置搭载有形成离子束的离子束镜筒和形成电子束的电子束镜筒中的至少一方。带电粒子束装置也包含搭载有多个带电粒子束镜筒的复合装置。这样的带电粒子束装置有时例如用于形成薄片试样。在半导体设备等构造物露出到薄片试样的观察面上的情况下，带电粒子束的加工速率根据有无构造物而不同。因此，会发生在观察面上形成有凹凸而看成条状的现象、所谓的幕效应。例如，在专利文献1中记载了如下的复合带电粒子束装置：能够使配置试样的试样台向2轴方向倾斜，以使得抑制幕效应。专利文献1：日本特开2014-063726号公报然而，在现有的带电粒子束装置中存在如下问题。在专利文献1所述的复合带电粒子束装置中，试样配置在观察用的带电粒子束所能照射的位置，在该状态下对试样实施至少两次精加工。在各精加工中，从两个不同的方向对试样照射加工用的带电粒子束。为了进行这样的加工，试样配置为适于由第一倾斜构件进行观察以及加工的角度。并且，由于改变了加工方向，因此试样以通过第二倾斜构件在加工面内旋转的方式移动。要想顺畅地进行这样的加工，在通过第二倾斜构件使试样移动的情况下，试样未从观察用的带电粒子束的观察范围移动是重要的。因此，需要在试样台上严密地进行试样的位置对齐。因此，存在在加工开始前的试样向试样台的配置上花费时间这样的问题。由于这样的配置作业是在真空腔向大气开放的状态下进行的，因此存在如下问题：复合带电粒子束装置的加工被停止的时间变长，从而复合带电粒子束装置的实际工作时间降低。
技术实现思路
本专利技术就是鉴于上述那样的问题而完成的，其目的在于提供一种带电粒子束装置，该带电粒子束装置能够迅速地进行试样的配置和更换。为了解决上述的课题，本专利技术的第一方式的带电粒子束装置具有：带电粒子束镜筒，其向试样照射带电粒子束；试样载台，其包含具有基座部和相对于所述基座部绕旋转轴线旋转的旋转移动部的旋转载台，使所述试样相对于所述带电粒子束镜筒移动；旋转连接器，其与所述旋转轴线同轴配置，插装在所述基座部与所述旋转移动部之间；以及第一连接电极，其配置在所述试样载台的上部，与所述旋转连接器电连接。在上述带电粒子束装置中，还可以具有：试样支架，其以可装卸的方式配置在所述试样载台的上部，具有能够与所述第一连接电极接触分离的第二连接电极、对所述试样进行保持的试样保持部、以及移动所述试样保持部的支架侧移动载台；以及试样支架控制部，其在所述试样支架的所述第二连接电极与所述第一连接电极电连接时，经由所述旋转连接器向所述试样支架送出控制信号。在上述带电粒子束装置中，所述支架侧移动载台也可以包含以第一轴线和与所述第一轴线垂直的第二轴线为中心转动的2轴倾斜载台。在上述带电粒子束装置中，所述试样载台也可以具有支架固定部，该支架固定部以将所述试样支架的所述第二连接电极按压在所述第一连接电极上的状态固定所述试样支架的位置。在上述带电粒子束装置中，所述带电粒子束镜筒也可以设置有多个。根据本专利技术的带电粒子束装置，能够迅速地进行试样的配置和更换。附图说明图1是示出本专利技术的实施方式的带电粒子束装置的结构的一例的示意性的结构图。图2是示出本专利技术的实施方式的带电粒子束装置的控制系统的结构的一例的框图。图3是本专利技术的实施方式的带电粒子束装置中的主要部分的示意性的俯视图。图4是图3的A-A剖视图。图5是示出本专利技术的实施方式的带电粒子束装置中的试样支架的一例的示意性的立体图。图6是图5中的B部的放大图。图7是示出本专利技术的实施方式的带电粒子束装置中的试样及其保持形态的示意性的主视图和侧视图。图8是示出本专利技术的实施方式的带电粒子束装置中的试样与加工方向的关系的示意性的立体图。标号说明1：FIB镜筒(带电粒子束镜筒)；2：EB镜筒(带电粒子束镜筒)；5：试样载台；5A：旋转载台；5a：试样台(旋转移动部)；5b：旋转轴部(旋转移动部)；5d：基座部；6：试样支架；7：试样室；8：负载锁定腔室；15：试样载台控制部；17：控制部；37：试样；37a：截面；40：试样支架控制部；54：锁定机构(支架固定部)；55：连接端子；55a：接触引脚(第一连接电极)；56：旋转连接器；58a：第一布线；58b：第二布线；59：第三布线；63：转动台(支架侧移动载台)；64：倾斜台(支架侧移动载台)；64c：试样保持部；67：TEM格栅；68：连接器；68a：连接电极(第二连接电极)；100：带电粒子束装置；F：轴线(第一轴线)；R1：旋转轴线；S：轴线(第二轴线)。具体实施方式以下，参照附图对本专利技术的实施方式的带电粒子束装置进行说明。图1是示出本专利技术的实施方式的带电粒子束装置的结构的一例的示意性的结构图。图2是示出本专利技术的实施方式的带电粒子束装置的控制系统的结构的一例的框图。图3是本专利技术的实施方式的带电粒子束装置中的主要部分的示意性的俯视图。图4是图3的A-A剖视图。由于各图是示意图，因此形状和尺寸被夸大(以下的附图也相同)。图1所示的本实施方式的带电粒子束装置100进行试样的加工、观察以及分析中至少任意一个。带电粒子束装置100例如也可以是会聚离子束装置、扫描电子显微镜。在带电粒子束装置100为进行加工的装置的情况下，根据需要也可以具有省略图示的蚀刻气体提供部和沉积气体提供部中的至少一方。带电粒子束装置100能够根据用途向试样照射适当的带电粒子束。带电粒子束装置100向试样照射的带电粒子束也可以是离子束和电子束中的至少一方。本实施方式的带电粒子束装置100构成为具有试样室7、试样载台5、FIB镜筒1(带电粒子束镜筒)、EB镜筒2(带电粒子束镜筒)、负载锁定腔室8以及试样支架6。试样室7将由带电粒子束装置100进行了加工、观察以及分析中的至少任意一个的试样收纳在内部。在试样室7中连接有变更、维持试样室7的内部的真空度的省略图示的真空排气装置。在试样室7中内置有试样载台5。在试样室7中，在与试样载台5对置的位置上配置有FIB镜筒1、EB镜筒2。如图1所示，试样载台5是具有旋转载台5A、X轴载台5B、Y轴载台5C、Z轴载台5D以及倾斜载台5E的5轴载台。各载台的层叠顺序并未特别限定，但是，在图1中，作为一例，从上侧依次层叠配置有旋转载台5A、X轴载台5B、Y轴载台5C、Z轴载台5D以及倾斜载台5E。以下，为简单起见，在对旋转载台5A、X轴载台5B、Y轴载台5C、Z轴载台5D以及倾斜载台5E进行总称的情况下，有时表述为“载台5A-5E”。如图2所示，试样载台5具有分别驱动载台5A-5E的旋转载台驱动部50A、X轴载台驱动部50B、Y轴载台驱动部50C、Z轴载台驱动部50D以及倾斜载台驱动部50E。以下，为简单起见，在对旋转载台驱动部50A、X轴载台驱动部50B、Y轴载台驱动部50C、Z轴载台驱动部50D以及倾斜载台驱动部50E进行总称的情况下，有时表述为“载台驱动部50A-50E”。载台驱动部50A-50E分别具有适当的电动机作为驱动源。载台驱动部50A-50E根据需要也可以具有齿轮等传动机构。载台驱动部50A-50E连接为能够分别本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种带电粒子束装置，其具有：带电粒子束镜筒，其向试样照射带电粒子束；试样载台，其包含具有基座部和相对于所述基座部绕旋转轴线旋转的旋转移动部的旋转载台，使所述试样相对于所述带电粒子束镜筒移动；旋转连接器，其与所述旋转轴线同轴配置，插装在所述基座部与所述旋转移动部之间；以及第一连接电极，其配置在所述试样载台的上部，与所述旋转连接器电连接。

【技术特征摘要】
2017.03.28 JP 2017-0625041.一种带电粒子束装置，其具有：带电粒子束镜筒，其向试样照射带电粒子束；试样载台，其包含具有基座部和相对于所述基座部绕旋转轴线旋转的旋转移动部的旋转载台，使所述试样相对于所述带电粒子束镜筒移动；旋转连接器，其与所述旋转轴线同轴配置，插装在所述基座部与所述旋转移动部之间；以及第一连接电极，其配置在所述试样载台的上部，与所述旋转连接器电连接。2.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其中，该带电粒子束装置还具有：试样支架，其以可装卸的方式配置在所述试样载台的上部，具有能够与所述第一连接电极接触分离的第二连接电...

【专利技术属性】
技术研发人员：荷田昌克，
申请(专利权)人：日本株式会社日立高新技术科学，
类型：发明
国别省市：日本,JP