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本发明提供带电粒子束装置，其能够迅速地进行试样的配置和更换。该带电粒子束装置具有：带电粒子束镜筒，其向试样照射带电粒子束；试样载台，其包含具有基座部(5d)和相对于基座部(5d)绕旋转轴线(R1)旋转的旋转移动部的旋转载台(5A)，使试样相...
该专利属于日本株式会社日立高新技术科学所有，仅供学习研究参考，未经过日本株式会社日立高新技术科学授权不得商用。

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