水管接头漏水检测保护装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供的水管接头漏水检测保护装置，包括位于内层的传感器和位于外层的绝缘密封层；所述传感器，用于安装于所述水管接头外表面，以检测所述水管接头是否漏水；所述绝缘密封层，用于包覆于所述水管接头外表面，使得所述传感器夹设于所述水管接头与所述绝缘密封层之间。本实用新型专利技术在实现对所述水管接头漏水检测的同时，还能够防止漏水蔓延和渗透，避免大规模漏水情况的发生，为机台正常、稳定的运行提供保障。

【技术实现步骤摘要】
水管接头漏水检测保护装置
本技术涉及半导体制造
，尤其涉及一种水管接头漏水检测保护装置。
技术介绍
在半导体制造过程中，为了确保半导体制造工艺持续、稳定的进行，在半导体制造设备中都设置有水冷却系统。一般来说，水冷却系统包括设置于机台内部的多根水管，水管之间、水管与机台接口之间通过水管接头实现相互连接。现有的水管接头分为平行管路接头和固定管路接头。所谓平行管路接头，是指在管路铺设过程中使用的接头；所谓固定管路接头，是指用于连接机台端接口与水管的接头。位于机台内部的水管及水管接头在不打开机台的情况下一般是看不到的，有些位置甚至打开机台也看不到。这就导致在定期开机检查的过程中也很难发现问题，造成半导体设备的困扰。一般问题被发现时，都已较为严重，此时：要么停机进行维修，给产线正常、稳定的运行带来较大的困扰；要么继续使用直至水管接头爆破，最后为机台维护付出昂贵的代价。水管接头是最易发生水泄露的部位。当前，为了检测水管接头是否漏水，都是在水管接头处设置漏水感应绳，其需要水完全浸泡才能触发报警，感应灵敏度较低。另外，半导体设备中使用的水管接头大都是卡箍、密封性金属接头或快速接头，而由于机台运行过程中有很多水管接头，如果发生漏水，无法快速确认是哪个接头漏水，因而也无法快速进行处理，易造成大规模的漏水，同样不利于半导体制程持续、稳定的进行。因此，如何在实现水管接头漏水检测的同时，有效防止漏水蔓延和渗透，从而确保半导体制程持续、稳定的进行，是目前亟待解决的技术问题。
技术实现思路
本技术提供一种水管接头漏水检测保护装置，用以在实现水管接头漏水检测的同时，有效的防止漏水蔓延和渗透，从而确保半导体制程持续、稳定的进行。为了解决上述问题，本技术提供了一种水管接头漏水检测保护装置，包括位于内层的传感器和位于外层的绝缘密封层；所述传感器，用于安装于所述水管接头外表面，以检测所述水管接头是否漏水；所述绝缘密封层，用于包覆于所述水管接头外表面，使得所述传感器夹设于所述水管接头与所述绝缘密封层之间。优选的，所述传感器，包括至少一组检测电极组，所述检测电极组包括以预设间隔设置的两个电极。优选的，所述电极为沿所述水管接头的轴向设置的条状电极。优选的，至少一组检测电极组包括多组相互独立的检测电极组。优选的，还包括第一报警器；所述第一报警器，连接所述传感器，用于判断是否有检测电极组发生短路，若是，则发出警报。优选的，还包括多个第二报警器；多个所述第二报警器，与多组检测电极组一一对应连接；每一第二报警器用于判断对应的检测电极组是否发生短路，若是，则发出警报。优选的，还包括设置于所述传感器与所述绝缘密封层之间的至少一绝缘支撑垫圈。优选的，至少一绝缘支撑垫圈包括多个绝缘支撑垫圈，且多个绝缘支撑垫圈沿所述水管接头的轴向分布。优选的，所述绝缘密封层采用柔性材料制造而成。本技术提供的水管接头漏水检测保护装置，包括由传感器和绝缘密封层构成的内、外双层结构，通过所述传感器实现对所述水管接头漏水的实时检测，通过绝缘密封层对已经发生漏水的水管接头进行保护，防止漏水蔓延和渗透，避免大规模漏水情况的发生，为机台正常、稳定的运行提供保障，也为后续维修预留了时间。附图说明附图1是本技术具体实施方式中水管接头漏水检测保护装置的截面结构示意图；附图2是本技术具体实施方式中水管结构漏水检测保护装置安装于水管接头后的截面结构示意图。具体实施方式下面结合附图对本技术提供的水管接头漏水检测保护装置的具体实施方式做详细说明。本具体实施方式提供了一种水管接头漏水检测保护装置，附图1是本技术具体实施方式中水管接头漏水检测保护装置的截面结构示意图，附图2是本技术具体实施方式中水管结构漏水检测保护装置安装于水管接头后的截面结构示意图。如图1、2所示，本具体实施方式提供的水管接头漏水检测保护装置，包括位于内层的传感器11和位于外层的绝缘密封层12；所述传感器11，用于安装于所述水管接头21外表面，以检测所述水管接头21是否漏水；所述绝缘密封层12，用于包覆于所述水管接头21外表面，使得所述传感器11夹设于所述水管接头21与所述绝缘密封层12之间。在本具体实施方式中，传感器11的设置可以实现对水管接头21漏水的实时检测，能够及时发现漏水问题，避免了对机台造成较大的损失。同时，通过在所述水管接头21的外表面包覆一层绝缘密封层12，使得所述传感器11夹设于所述水管接头21的外表面与所述绝缘密封层12之间：一方面可以有效的避免所述传感器11受到外界环境因素的干扰，提高所述传感器11的检测灵敏度；另一方面，在所述水管接头21发生漏水时，如因工艺制程或其他原因不能及时进行维修时，所述包覆于所述水管接头21外表面的绝缘密封层12还能够防止漏水蔓延、渗透，对所述水管接头21进行了保护，为机台的持续、安全的运行提供了保障、也为维修提供了时间，避免了大规模漏水情况的发生。为了提高对水管接头漏水检测的灵敏度，优选的，所述传感器11，包括至少一组检测电极组，所述检测电极组包括以预设间隔设置的两个电极。根据水具有导电性的原理，在所述水管接头21发生漏水时，水会覆盖两个电极，导致短路的发生，引起所述传感器11内部电信号的改变，进而检测到漏水情况的发生。更优选的，所述电极为沿所述水管接头21的轴向设置的条状电极。条状电极的设置，能够对所述水管接头21的漏水情况进行全程监测。其中，所述电极的材料，本领域技术人员可以根据实际需要进行选择，本具体实施方式对此不作限定。为了进一步提高漏水检测的灵敏度，优选的，至少一组检测电极组包括多组相互独立的检测电极组。通过设置多组相互独立的检测电极组，能够增大对所述水管接头21表面漏水点检测的面积，进一步提高了漏水检测的全面性和及时性。为了让用户直观、快速的了解水管接头的漏水情况，优选的，本具体实施方式提供的水管接头漏水检测保护装置还包括第一报警器；所述第一报警器，连接所述传感器11，用于判断是否有检测电极组发生短路，若是，则发出警报。其中，所述第一报警器可以是但不限于蜂鸣器或者发光二极管。为了让用户及时、准确的知晓漏水点的具体位置，提高后续维修的效率，优选的，本具体实施方式提供的水管接头漏水保护装置还包括多个第二报警器；多个所述第二报警器，与多组检测电极组一一对应连接；每一第二报警器用于判断对应的检测电极组是否发生短路，若是，则发出警报。用户根据警报发出的位置，就能够快速定位漏水点位置。其中，所述第二报警器可以是但不限于蜂鸣器或者发光二极管。优选的，本具体实施方式提供的水管接头漏水保护装置还包括设置于所述传感器11与所述绝缘密封层12之间的至少一绝缘支撑垫圈13。更优选的，至少一绝缘支撑垫圈13包括多个绝缘支撑垫圈13，且多个绝缘支撑垫圈13沿所述水管接头21的轴向分布。利用所述绝缘支撑垫圈13具有柔性的特点，有效避免了绝缘支撑垫圈13两侧的水流通，使得位于绝缘支撑垫圈13一侧的漏水具有更强的导电性，从而进一步提高了所述传感器11对于漏水检测的灵敏度。同时，也可以有效的避免所述水管接头漏水保护装置在与所述水管接头进行安装时，由于弯曲或其他因素造成的损伤。优选的，所述绝缘密封层12采用柔性材料制造而成。这样，当所述水管接头21发生漏水时，能本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种水管接头漏水检测保护装置，其特征在于，包括位于内层的传感器和位于外层的绝缘密封层；所述传感器，用于安装于所述水管接头外表面，以检测所述水管接头是否漏水；所述绝缘密封层，用于包覆于所述水管接头外表面，使得所述传感器夹设于所述水管接头与所述绝缘密封层之间。

【技术特征摘要】
1.一种水管接头漏水检测保护装置，其特征在于，包括位于内层的传感器和位于外层的绝缘密封层；所述传感器，用于安装于所述水管接头外表面，以检测所述水管接头是否漏水；所述绝缘密封层，用于包覆于所述水管接头外表面，使得所述传感器夹设于所述水管接头与所述绝缘密封层之间。2.根据权利要求1所述的水管接头漏水检测保护装置，其特征在于，所述传感器，包括至少一组检测电极组，所述检测电极组包括以预设间隔设置的两个电极。3.根据权利要求2所述的水管接头漏水检测保护装置，其特征在于，所述电极为沿所述水管接头的轴向设置的条状电极。4.根据权利要求3所述的水管接头漏水检测保护装置，其特征在于，至少一组检测电极组包括多组相互独立的检测电极组。5.根据权利要求4所述的水管接头漏水检测保护装置，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘普然，黄志凯，
申请(专利权)人：德淮半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32