【技术实现步骤摘要】
一体式单晶炉底腔
本技术涉及单晶炉,尤其涉及一种一体式单晶炉底腔。
技术介绍
常用的单晶炉底腔是由炉底盘与下炉体组装而成,在制造过程中分别对炉底盘与下炉体进行机械加工,而在安装过程中还要组装在一起,中间用氟橡胶进行密封连接。由于采用分体式结构,对各部件的加工精密度以及组装工艺有较高要求,并且氟橡胶需要采用特定设备生产,增加了设备、材料成本和加工时间,组装后还需要考虑后期维护工作。因此有必要对这种单晶炉底腔进行结构优化,以克服上述缺陷。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种一体式单晶炉底腔,以减少材料成本,节约加工时间。本技术为解决其技术问题所采用的技术方案是:一体式单晶炉底腔,包括下炉体与炉底盘,下炉体顶部与上炉体相连,其底部与炉底盘相连,炉底盘置于基座上,其中:下炉体两端开口,其顶部边缘具有转接环,转接环向下炉体外侧伸出,下炉体通过该转接环与上炉体相连,下炉体底部具有底板,底板的直径大于下炉体的直径,由底板将下炉体底部封住;炉底盘的直径与底板一致,炉底盘中部向下方凸出,其边缘与炉底盘边缘焊接相连,在炉底盘与底板之间形成隔离腔,底板底部焊接有隔条,隔条沿底板中心向外螺旋延伸,在隔离腔内形成底部螺旋水路,底板中部设有轴套,轴套顶端与下炉体内部连通,其底端贯穿炉底盘向外伸出,轴套底端具有卷边,卷边向轴套外侧翻卷,轴套外部包覆有套壳,套壳一端焊接于炉底盘底部,其另一端与卷边焊接相连,套壳的直径大于轴套的直径,在套壳与轴套之间形成冷却腔,冷却腔与底部螺旋水路内端连通,炉底盘底部焊接有进水管,进水管内端与底部螺旋水路外端连通,套壳侧壁具有焊接有出水管,出水管内端与冷却腔连通 ...
【技术保护点】
1.一体式单晶炉底腔,包括下炉体与炉底盘,下炉体顶部与上炉体相连,其底部与炉底盘相连,炉底盘置于基座上,其特征在于:下炉体两端开口,其顶部边缘具有转接环,转接环向下炉体外侧伸出,下炉体通过该转接环与上炉体相连,下炉体底部具有底板,底板的直径大于下炉体的直径,由底板将下炉体底部封住;炉底盘的直径与底板一致,炉底盘中部向下方凸出,其边缘与炉底盘边缘焊接相连,在炉底盘与底板之间形成隔离腔,底板底部焊接有隔条,隔条沿底板中心向外螺旋延伸,在隔离腔内形成底部螺旋水路,底板中部设有轴套,轴套顶端与下炉体内部连通,其底端贯穿炉底盘向外伸出,轴套底端具有卷边,卷边向轴套外侧翻卷,轴套外部包覆有套壳,套壳一端焊接于炉底盘底部,其另一端与卷边焊接相连,套壳的直径大于轴套的直径,在套壳与轴套之间形成冷却腔,冷却腔与底部螺旋水路内端连通,炉底盘底部焊接有进水管,进水管内端与底部螺旋水路外端连通,套壳侧壁具有焊接有出水管,出水管内端与冷却腔连通,进水管及出水管外端与供水设备连通,由供水设备向隔离腔及冷却腔内输入冷却水。
【技术特征摘要】
1.一体式单晶炉底腔,包括下炉体与炉底盘,下炉体顶部与上炉体相连,其底部与炉底盘相连,炉底盘置于基座上,其特征在于:下炉体两端开口,其顶部边缘具有转接环,转接环向下炉体外侧伸出,下炉体通过该转接环与上炉体相连,下炉体底部具有底板,底板的直径大于下炉体的直径,由底板将下炉体底部封住;炉底盘的直径与底板一致,炉底盘中部向下方凸出,其边缘与炉底盘边缘焊接相连,在炉底盘与底板之间形成隔离腔,底板底部焊接有隔条,隔条沿底板中心向外螺旋延伸,在隔离腔内形成底部螺旋水路,底板中部设有轴套,轴套顶端与下炉体内部连通,其底端贯穿炉底盘向外伸出,轴套底端具有卷边,卷边向轴套外侧翻卷,轴套外部包覆有套壳,套壳一端焊接于炉底盘底部,其另一端与卷边焊接相连,套壳的直径大于轴套的直径,在套壳与轴套之间形成冷却腔,冷却腔与底部螺旋水路内端连通,炉底盘底部焊接有进水管,进水管内端与底部螺旋水路外端连通,套壳侧壁具有焊接有出水管,出水管内端与冷却腔连通,进水管及出水管外端与供水设备连通,由供水设备向隔离腔及冷却腔内输入冷却...
【专利技术属性】
技术研发人员:戴永成,戴永丰,谭明,
申请(专利权)人:浙江臻强精密机械有限公司,
类型:新型
国别省市:浙江,33
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