一种静电卡盘及基板夹持装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术实施例提供一种静电卡盘及基板夹持装置，静电卡盘包括依次层叠设置的背板、第一绝缘层、电路层及第二绝缘层，所述电路层包括多条第一电极线和多条第二电极线，所述多条第一电极线与所述多条第二电极线相互电绝缘并一一间隔分布；所述电路层包括与所述多条第一电极线电连接的第一电极焊盘，以及与所述多条第二电极线电连接的第二电极焊盘；所述静电卡盘还包括至少一个保护元件；所述保护元件串接于所述第一电极线中，在达到设定电压或电流阈值时，断开所述第一电极线；和/或，所述保护元件串接于所述第二电极线中，在达到设定电压或电流阈值时，断开所述第二电极线。本实用新型专利技术以实现增强静电卡盘的可靠性，延长静电卡盘的使用寿命。

Electrostatic chuck and substrate clamping device

The embodiment of the utility model provides an electrostatic chuck and a substrate clamping device. The electrostatic chuck comprises a back plate, a first insulating layer, a circuit layer and a second insulating layer arranged in succession. The circuit layer comprises a plurality of first electrode lines and a plurality of second electrode lines, and the plurality of first electrode lines are phase with the plurality of second electrode lines. The circuit layer comprises a first electrode pad connected with the plurality of first electrode lines and a second electrode pad connected with the plurality of second electrode lines; the electrostatic chuck also comprises at least one protection element; and the protection element is connected in series with the first electrode line. The first electrode line is disconnected when a set voltage or current threshold is reached; and/or the protective element is connected in series with the second electrode line, and the second electrode line is disconnected when the set voltage or current threshold is reached. The utility model realizes the reliability of the enhanced electrostatic chuck and prolongs the service life of the electrostatic chuck.

【技术实现步骤摘要】
一种静电卡盘及基板夹持装置
本技术实施例涉及显示
，尤其涉及一种静电卡盘及基板夹持装置。
技术介绍
随着社会的发展，对平板显示设备的需求日益增加。在平板显示器(FPD)制造工艺过程中，特别是针对液晶显示器(LCD)以及有机显示发光显示器(OLED)，常使用吸盘或卡盘来支撑和吸附工件。常用的吸盘或卡盘有真空吸盘与静电卡盘(ElectroStaticChuck，ESC)。其中，双电级静电卡盘与真空吸盘相比具有其特有优点。由于双电级静电卡盘是通过被吸附物和两电极之间产生的库仑力对工件进行均匀的吸附固定，因此可以保证工件在被吸附状态下能够保持较高的平面度，这符合此行业中相关的工件加工要求。但静电卡盘在使用过程中，一旦绝缘层或电路层中混入杂质或产生破孔，绝缘层的绝缘特性便会被损坏，两电极之间的高压电场会导致绝缘层的击穿和电极间的短路，使得卡盘无法再继续使用，且维修卡盘需要整板更换绝缘层，工艺复杂，价格昂贵。
技术实现思路
本技术实施例提供一种静电卡盘及基板夹持装置，以实现增强静电卡盘的可靠性，延长静电卡盘的使用寿命。第一方面，本技术实施例提供一种静电卡盘，包括依次层叠设置的背板、第一绝缘层、电路层和第二绝缘层，所述电路层包括多条第一电极线和多条第二电极线，所述多条第一电极线与所述多条第二电极线相互电绝缘并一一间隔分布；所述电路层包括与所述多条第一电极线电连接的第一电极焊盘，以及与所述多条第二电极线电连接的第二电极焊盘；所述静电卡盘还包括至少一个保护元件；所述保护元件串接于所述第一电极线中，在达到设定电压或电流阈值时，断开所述第一电极线；和/或，所述保护元件串接于所述第二电极线中，在达到设定电压或电流阈值时，断开所述第二电极线。进一步地，所述多条第一电极线或所述多条第二电极线中的每一条串接一个所述保护元件。进一步地，所述多条第一电极线或所述多条第二电极线中的每一条串接一个所述保护元件。进一步地，所述背板为金属板。进一步地，所述背板远离所述电路层一侧设置有至少一个安装槽；每一所述保护元件位于一个所述安装槽内。进一步地，所述静电卡盘还包括至少一个保护盖；所述保护盖与所述安装槽一一对应设置，用于保护所述安装槽中的所述保护元件。进一步地，所述保护盖的材质为透明材质。进一步地，所述保护元件为保险丝。进一步地，所述保护元件为漏电保护开关。第二方面，本技术实施例提供一种基板夹持装置，包括第一方面任一项所述的静电卡盘。本技术实施例提供的静电卡盘包括多条第一电极线与多条第二电极线，多条第一电极线和多条第二电极线相互交错分布且不连通，其例如可以形成插指状结构。在第一电极线和第二电极线上施加电压时，相邻的第一电极线和第二电极线之间产生电场，此电场可以用来产生用于吸附基板的库仑力。本技术实施例提供的静电卡盘还包括至少一个保护元件，保护元件可以在电流或电压超出阈值时断开第一电极线和/或第二电极线，保护元件可以设置于一条或多条第一电极线中，也可以设置于一条或多条第二电极线中。由于保护元件能够在发生短路时及时断开短路电路，降低短路发生时对静电卡盘造成的损害，且静电卡盘还可以继续正常使用，因此增强了静电卡盘的可靠性，降低了静电卡盘的维护费用。附图说明图1为本技术实施例一提供的一种静电卡盘的结构示意图；图2为本技术实施例一提供的一种电路层的电路结构示意图；图3为本技术实施例二提供的一种电路层的电路结构示意图；图4为本技术实施例三提供的一种电路层的电路结构示意图；图5为本技术实施例三提供的另一种电路层的电路结构示意图；图6为本技术实施例四提供的背板中部分结构的俯视图；图7为沿图6中AA’的剖面结构示意图。具体实施方式为更进一步阐述本技术为达成预定技术目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对依据本技术提出的一种静电卡盘及基板夹持装置的具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。实施例一图1为本技术实施例一提供的一种静电卡盘的结构示意图，图2为本技术实施例一提供的一种电路层的电路结构示意图，结合图1和图2所示，本技术实施例提供一种静电卡盘，静电卡盘产生的库仑力能够吸附并固定基板，这里的基板例如可以为液晶显示面板中的基板或有机发光显示面板中的基板等。静电卡盘可以包括背板10和位于背板10一侧的电路层30，电路层30包括多条第一电极线31和多条第二电极线32，多条第一电极线31与多条第二电极线32相互电绝缘并一一间隔分布。电路层30还包括与多条第一电极线31电连接的第一电极焊盘33，以及与多条第二电极线32电连接的第二电极焊盘34。第一电极焊盘33可以与正极/负极电连接，第二电极焊盘34可以与负极/正极电连接。示例性地，第一电极焊盘33与正极电连接，第二电极焊盘34与负极电连接，则第一电极线31与正极电连接，第二电极线32与负极电连接，第一电极线31和与之相邻的第二电极线32电绝缘，在第一电极线31和第二电极线32上施加电压时，相邻的第一电极线31和第二电极线32之间产生电场，并由此产生库仑力。可选地，参考图1，背板10为金属板，背板10与电路层30之间设置有第一绝缘层20，电路层30远离背板10一侧设置有第二绝缘层40。绝缘层完全覆盖电路层30，可以防止电路层30中的第一电极线31和第二电极线32因外界水氧而腐蚀，第二绝缘层40远离背板10一侧的表面具有良好的平整度，高低起伏可以在30μm以内，第二绝缘层40的平坦表面有利于基板受力均匀，从而对基板产生良好的吸附效果。一般而言，可以在第一电极线31和第二电极线32上施加高压直流电。静电卡盘在实际使用的过程中，有时会有杂质60进入到绝缘层或电路层30中，使得绝缘层或电路层的绝缘特性被破坏，从而导致绝缘层的击穿和电极层的短路。参考图2，为了清晰起见，图2中将发生短路的电路部分加粗显示。示例性地，杂质60将一条第一电极线31和与之相邻的一条第二电极线32电连接，导致短路的发生，同时短路造成的电火花会击穿第二绝缘层40，产生的高温也会造成电路层电极线的熔断，对静电卡盘造成损害。现有的处理方式往往需要将静电卡盘返厂维修，而维修工艺复杂，维修时间周期一般为2-3个月，且往往需要更换整个第二绝缘层40，花费昂贵。由此本技术实施例提出一种解决方案以解决上述问题。示例性地，参考图2，在第一电极线31中串接一个保护元件50，即第一电极线31中的第一连接点与保护元件50的一端电连接，第一电极线31中的第二连接点与保护元件50的另一端电连接。保护元件50可以在达到设定电压或电流阈值时，断开第一电极线31，使第一电极线31分为相互电绝缘的两部分，从而在短路发生时及时断开短路电路。由于此时仅断开了多条第一电极线31中的一条，剩余的多条电极线任正常工作，其产生的库仑力足以吸附并固定基板，静电卡盘可以正常使用。可以理解的是，静电卡盘包括至少一个保护元件50。保护元件50可以串接于第一电极线31中，在达到设定电压或电流阈值时，断开第一电极线31；和/或，保护元件50可以串接于第二电极线32中，在达到设定电压或电流阈值时，断开第二电极线32。本技术实施例提供的静电卡盘包括多条第一电极线与多条第二电极线，多条第一电极线和多条本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种静电卡盘，包括依次层叠设置的背板、第一绝缘层、电路层及第二绝缘层，其特征在于，所述电路层包括多条第一电极线和多条第二电极线，所述多条第一电极线与所述多条第二电极线相互电绝缘并一一间隔分布；所述电路层包括与所述多条第一电极线电连接的第一电极焊盘，以及与所述多条第二电极线电连接的第二电极焊盘；所述静电卡盘还包括至少一个保护元件；所述保护元件串接于所述第一电极线中，在达到设定电压或电流阈值时，断开所述第一电极线；和/或，所述保护元件串接于所述第二电极线中，在达到设定电压或电流阈值时，断开所述第二电极线。

【技术特征摘要】
1.一种静电卡盘，包括依次层叠设置的背板、第一绝缘层、电路层及第二绝缘层，其特征在于，所述电路层包括多条第一电极线和多条第二电极线，所述多条第一电极线与所述多条第二电极线相互电绝缘并一一间隔分布；所述电路层包括与所述多条第一电极线电连接的第一电极焊盘，以及与所述多条第二电极线电连接的第二电极焊盘；所述静电卡盘还包括至少一个保护元件；所述保护元件串接于所述第一电极线中，在达到设定电压或电流阈值时，断开所述第一电极线；和/或，所述保护元件串接于所述第二电极线中，在达到设定电压或电流阈值时，断开所述第二电极线。2.根据权利要求1所述的静电卡盘，其特征在于，所述多条第一电极线或所述多条第二电极线中的每一条串接一个所述保护元件。3.根据权利要求1所述的静电卡盘，其特征在于，所述多条第一电极线和所述多条第...

【专利技术属性】
技术研发人员：李昊轩，
申请(专利权)人：昆山龙腾光电有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32