一种可拆卸成膜框架装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种可拆卸成膜框架装置，包括框架、置于框架上的若干碳框，硅片放置于碳框内，框架上设有若干纵横排列的槽位，槽位尺寸与碳框大小相吻合，碳框嵌设于槽位内，本实用新型专利技术采用可拆卸碳框结构，使一体的成膜框架结构分解为若干个可单独拆卸的碳框结构，可根据碳框的成膜情况有针对性的单独对碳框进行拆卸清洗，而不用对整体成膜框架进行清洗，极大降低了成膜框架清洗的工作强度和清洗成本，清洗效率和清洗质量也得到有效提高。

A detachable membrane frame device

The utility model discloses a removable film-forming frame device, which comprises a frame and a number of carbon frames placed on the frame, silicon wafers placed in the carbon frame, and a number of slots arranged vertically and horizontally on the frame. The slot size coincides with the size of the carbon frame, and the carbon frame is embedded in the slot position. The film-forming frame structure of the body is divided into several carbon frame structures which can be separately disassembled, and the carbon frame can be disassembled and cleaned individually according to the film-forming situation of the carbon frame, without cleaning the whole film-forming frame, thus greatly reducing the working intensity and cleaning cost of the film-forming frame cleaning, cleaning efficiency and cleaning quality. It has been effectively improved.

【技术实现步骤摘要】
一种可拆卸成膜框架装置
本技术涉及到一种太阳能电池制造设备，尤其涉及到一种便于拆卸和清洗的可拆卸成膜框架装置。
技术介绍
目前的太阳能电池板式成膜设备主要采用石墨框装载硅片进入设备腔体内部，实现硅片表面成膜，硅片在成膜过程中，石墨框表面也会逐渐沉积Si3N4膜，使用一定周期后会造成石墨框不同槽位的成膜均匀性差，影响电池外观和电性能，所以石墨框必须定期清洗，以去除表面的Si3N4膜后再次使用。由于常规石墨框是一体结构，如图1所示，其体积较大且结构复杂，每次清洗都要委托专门的清洗厂家负责清洗，且清洗前后需要拆装石墨框边缘的碳条、卡钉等，拆卸不便且搬运装卸困难。
技术实现思路
本技术主要解决现有固定式石墨框存在拆卸不易、清洗困难的技术问题；提供了一种便于拆卸和清洗的可拆卸成膜框架装置。为了解决上述存在的技术问题，本技术主要是采用下述技术方案：本技术的一种可拆卸成膜框架装置，用于装载硅片并进入太阳能电池板式成膜设备腔体内，所述装置包括框架、置于框架上的若干碳框，所述碳框尺寸与所述硅片相吻合且容置硅片，所述框架上设有若干纵横排列的槽位，所述槽位尺寸与所述碳框大小相吻合，碳框嵌设于槽位内，采用可拆卸碳框结构，使一体的石墨框结构分解为若干个可单独拆卸的碳框结构，可根据碳框的成膜情况有针对性的单独对碳框进行拆卸清洗，而不用对整体成膜框架进行清洗，极大降低了成膜框架清洗的工作强度和清洗成本，清洗效率和清洗质量也得到有效提高。作为优选，所述碳框顶部设有翻边，碳框通过所述翻边搁置于所述槽位内，多个碳框可通过翻边结构而活动安装在框架的槽位上，可根据需要单独对相应的碳框进行拆卸清洗。作为优选，所述框架表面的两侧边沿分别固设有对称且相互平行的导条，导条对应并嵌套成膜设备上的移动导轨，使框架移动准确。作为优选，位于所述导条外侧的框架侧面端部呈斜面状，斜面状的框架侧面端部方便框架进入成膜设备腔体的轨道内，使框架端部不会擦碰或卡住轨道。作为优选，所述框架、碳框和导条材质均为石墨材料，导条采用石墨材质可增加移动的摩擦力，框架运行平稳可靠。本技术的有益效果是：成膜框架装置采用可拆卸结构，使一体的成膜框架结构分解为若干个可单独拆卸的碳框结构，可根据碳框的成膜情况有针对性的单独对碳框进行拆卸清洗，而不用对整体成膜框架进行清洗，极大降低了成膜框架清洗的工作强度和清洗成本，清洗效率和清洗质量也得到有效提高。附图说明图1是现有的成膜框架结构示意图。图2是本技术的一种结构示意图。图3是图2中的框架结构示意图。图4是图2中的碳框结构示意图。图中1.硅片，2.框架，3.碳框，4.槽位，5.导条，6.斜面。具体实施方式下面通过实施例，并结合附图，对本技术技术方案作进一步具体说明。实施例：本实施例的一种可拆卸成膜框架装置，用于装载硅片1并进入太阳能电池板式成膜设备腔体内，如图2、图3和图4所示，装置包括框架2、置于框架上的若干碳框3，框架和碳框材质均为石墨材料，碳框尺寸与上述硅片相吻合且容置硅片，在框架上设计有四纵六横均匀排列的24个槽位4，槽位呈正方形开孔结构，槽位尺寸与碳框大小相吻合，碳框嵌设于槽位内，框架表面的两纵向侧边沿分别固定有对称且相互平行的导条5，导条也为石墨材料制成，位于导条外侧的框架侧面端部呈斜面状6，承载硅片的碳框顶部设计有翻边，碳框通过翻边搁置于上述槽位内。使用时，首先将24个碳框嵌入框架的相应槽位内并铺满整个框架，再将硅片放置于碳框内，随后将装载有硅片的框架平置送入板式成膜设备的腔体内，框架的斜面端部对准轨道且使框架上的导条嵌入轨道并慢慢推入腔体，进行成膜工序。成膜工序完成后，拉出框架，取出硅片，完成硅片的成膜。如发现硅片成膜均匀性差，影响硅片质量时，可检查相应的碳框，确定需要清洗的碳框，然后，单独取下需要清洗的碳框，进行相应的清洗作业。在本技术的描述中，技术术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“纵”、“横”、“内”、“外”等表示方向或位置关系是基于附图所示的方向或位置关系，仅是为了便于描述和理解本技术的技术方案，以上说明并非对本技术作了限制，本技术也不仅限于上述说明的举例，本
的普通技术人员在本技术的实质范围内所做出的变化、改型、增添或替换，都应视为本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可拆卸成膜框架装置，用于装载硅片(1)并进入太阳能电池板式成膜设备腔体内，其特征在于：所述装置包括框架(2)、置于框架上的若干碳框(3)，所述碳框尺寸与所述硅片相吻合且容置硅片，所述框架上设有若干纵横排列的槽位(4)，所述槽位尺寸与所述碳框大小相吻合，碳框嵌设于槽位内。

【技术特征摘要】
1.一种可拆卸成膜框架装置，用于装载硅片(1)并进入太阳能电池板式成膜设备腔体内，其特征在于：所述装置包括框架(2)、置于框架上的若干碳框(3)，所述碳框尺寸与所述硅片相吻合且容置硅片，所述框架上设有若干纵横排列的槽位(4)，所述槽位尺寸与所述碳框大小相吻合，碳框嵌设于槽位内。2.根据权利要求1所述的一种可拆卸成膜框架装置，其特征在于：所述碳框(3)顶部设有翻边，碳框...

【专利技术属性】
技术研发人员：熊晓辉，金重玄，
申请(专利权)人：杭州大和热磁电子有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33