The utility model relates to the technical field of the equipment used in the process of transferring the silicon wafer preparation process, in particular to a monitoring system for preventing the manipulator from leaking the flower basket in the silicon wafer production process. The manipulator comprises a crossbeam and two clamping arms arranged on the crossbeam for grasping the flower basket. The monitoring system comprises a controller and a shooting photoelectric device. The counter-fire photoelectric switch comprises a transmitter and a receiver, and the transmitter and the receiver are respectively installed on two clamping arms, and the transmitter and the receiver are positively arranged each other; the controller is respectively connected with the transmitter, the receiver and the manipulator signal, and the utility model installs the counter-fire photoelectric switch on the flower basket for grasping. When the manipulator leaks to grasp the basket, the shooting photoelectric switch will feed back the signal to the controller, and the controller will control the manipulator to stop the machine, so as to avoid the occurrence of basket-pressing caused by the manipulator leaks to grasp the basket, thus avoiding the damage of silicon wafer.
【技术实现步骤摘要】
用于硅片制绒工艺中防止机械手漏抓花篮的监控系统
本技术涉及硅片制备工艺转移过程中所用设备
,尤其是一种用于硅片制绒工艺中防止机械手漏抓花篮的监控系统。
技术介绍
太阳能电池槽式清洗制绒工艺包括以下步骤:上料、预处理工艺、水漂洗、制绒、水洗、酸洗、水洗、慢提拉、烘干及下料,上述过程中每完成一道工序均需要机械手拎起花篮,并放入到下一工序,然后完成下一工序后,再次拎起花篮,直至完成所有的制绒工艺过程,整个过程中机械手的运作由程序自动控制;然而在实际运作过程中会出现机械手漏抓花篮的情况,如果机械手在当前工序的槽体中出现漏抓花篮时,当前工序槽体中的花篮并不会如预期一样随机械手到达当前工序的下一工序的槽体中,那么机械手再把当前工序的上一工序的槽体中的装有硅片的花篮放入到由于漏抓而有花篮的当前工序的槽体中时,会出现压篮的情况,导致硅片的损坏。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是:为了解决现有技术中无法得知机械手是否出现漏抓,导致机械手漏抓时会出现压篮的情况,进而导致硅片损坏的问题,现提供一种用于硅片制绒工艺中防止机械手漏抓花篮的监控系统。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是:一种用于硅片制绒工艺中防止机械手漏抓花篮的监控系统,所述机械手包括横梁及设置在横梁上的两个用于抓取花篮的夹臂,该监控系统包括控制器及对射式光电开关;所述对射式光电开关包括发射器和接收器,所述发射器和接收器分别安装在两个夹臂上,所述发射器和接收器相互正对设置;所述控制器分别与发射器、接收器及机械手信号连接。本方案中通过在机械手的两个夹臂上分别设置对射式光电开关的发射器和接收器,机械手的夹臂进入到槽 ...
【技术保护点】
1.一种用于硅片制绒工艺中防止机械手漏抓花篮的监控系统,所述机械手(1)包括横梁(1‑1)及设置在横梁(1‑1)上的两个用于抓取花篮(2)的夹臂(1‑2),其特征在于:该监控系统包括控制器(3)及对射式光电开关;所述对射式光电开关包括发射器(4)和接收器(5),所述发射器(4)和接收器(5)分别安装在两个夹臂(1‑2)上,所述发射器(4)和接收器(5)相互正对设置;所述控制器(3)分别与发射器(4)、接收器(5)及机械手(1)信号连接。
【技术特征摘要】
1.一种用于硅片制绒工艺中防止机械手漏抓花篮的监控系统,所述机械手(1)包括横梁(1-1)及设置在横梁(1-1)上的两个用于抓取花篮(2)的夹臂(1-2),其特征在于:该监控系统包括控制器(3)及对射式光电开关;所述对射式光电开关包括发射器(4)和接收器(5),所述发射器(4)和接收器(5)分别安装在两个夹臂(1-2)上,所述发射器(4)和接收器(5)相互正对设置;所述控制器(3)分别与发射器(4)、接收器(5)及机械手(1)信号连接。2.根据权利要求1所述的用于硅片制绒工艺中防止机械手漏抓花篮的监控系统,其特征在于:所述发射器(4)所在的夹臂(1-2)上设置有第一透明防护罩(6),所述接收器(5)所在的夹臂(1-2)上设置有第二透明防护罩(7),所述第一透明防护罩(6)及第二透明防护罩(7)上均具有一开口向外的内腔,所述发射器(4)位于第一透明防护罩(6)的内腔中,所述接收器(5)位于第二透明防护罩(7)的内腔中,所述第一透明防护罩(6)的开口端密封固定在发射器(4)所在的夹臂(1-2)上,所述第二透明防护罩(7)密封固定在接收器(5)所在的夹臂(1...
【专利技术属性】
技术研发人员:胡琴,吴家宏,张凯胜,姚伟忠,孙铁囤,
申请(专利权)人:常州亿晶光电科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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