干式真空涡旋泵制造技术

干式涡旋真空泵包括具有壳体入口(24)和壳体出口(26)的泵壳体(12)、关于泵壳体固定的定涡盘(22)、具有轴线(70)和偏心轴部分(16)的驱动轴(14)、动涡盘(20)，其连接到偏心轴部分上使得在使用期间，轴的旋转将相对于定涡盘的轨道运行运动赋予动涡盘来在包括涡盘的涡盘机构(60)的机构入口(25)与机构出口(31)之间泵送气体；在所述轨道运行运动期间将气体从泵入口传送至机构入口的泵壳体内的入口压力下的入口真空区域(30)；形成在动涡盘内来引导冷却流体(80)的流动以冷却动涡盘的冷却流动通路(74)，冷却流动通路具有位于入口真空区域中的流体入口；以及用于使流体入口从入口真空区域密封而使得冷却流体可经由密封装置传送通过入口真空区域至流体入口的密封装置(82,100)。

Dry vacuum vortex pump

A dry vortex vacuum pump consists of a pump shell (12) having a shell entrance (24) and a shell outlet (26), a fixed vortex disk (22) fixed on the pump shell, a driving shaft (14) with an axis (70) and an eccentric shaft (16), which is connected to the eccentric shaft part so that the rotation of the axis will be relative to the orbit of a fixed vortex disk during use. The motion is given to the moving vortex disk to pump gas between the mechanism entrance (25) of the vortex disk mechanism (60) including the vortex disk mechanism (25) and the mechanism outlet (31); the inlet vacuum area (30) is transmitted from the inlet of the pump to the inlet pressure of the pump shell of the mechanism entrance during the movement of the track, and is formed to guide the cooling fluid in the moving vortex disk. 80) flow to the cooling flow passage of the cooling vortex disk (74), the cooling flow path has the fluid entrance in the inlet vacuum area, and the sealing device used to seal the inlet of the fluid from the inlet vacuum area so that the cooling fluid can pass through the sealing device to the sealing device (82100) through the inlet vacuum area to the fluid entrance.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】干式真空涡旋泵
本专利技术涉及一种干式真空涡旋泵及泵的冷却。
技术介绍
涡旋真空泵包括容纳泵的构件的泵壳体。定涡盘相对于泵壳体固定。驱动轴具有同心轴部分和偏心轴部分，且动涡盘连接到偏心轴部分上，使得在使用期间，轴的旋转将相对于定涡盘的轨道运行运动赋予动涡盘，以在包括涡盘的涡盘机构的入口与出口之间泵送流体。气体通过入口进入泵送机构，且捕集在涡盘之间的气穴中。随着动涡盘相对于定涡盘轨道运行，围绕螺旋或渐伸线路径朝向机构的中心出口压制这些凹穴，以逐步减小尺寸且实现压缩。泵送构件的压缩和操作的副产物是热能，其可累积在涡盘和泵的轴承机构中而降低性能。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供泵冷却。本专利技术提供了一种干式涡旋真空泵，包括：具有壳体入口和壳体出口的泵壳体；相对于泵壳体固定的定涡盘；具有轴线和偏心轴部分的驱动轴；动涡盘，其连接到偏心轴部分上，使得在使用期间，轴的旋转将相对于定涡盘的轨道运行运动赋予动涡盘，以用于在包括涡盘的涡盘机构的机构入口与机构出口之间泵送气体；用于在所述轨道运行运动期间将气体从泵入口传送至机构入口的泵壳体内的入口压力下的入口真空区域；形成在动涡盘内以用于引导冷却流体流来冷却动涡盘的冷却流动通路，冷却流动通路具有位于入口真空区域中的流体入口；以及密封装置，其用于使流体入口关于入口真空区域密封使得冷却流体可经由密封装置传送穿过入口真空区域至流体入口。作为优选，冷却流体是低真空的，且例如可在大约1.5bar到0.5bar之间且优选1.2到1.0bar之间的大气压的区域处或中。在该布置中，即使动涡盘在入口真空区域内运动，大气冷却流体穿过入口真空区域传送至流体入口。冷却流体通路可具有位于入口真空区域中的流体出口，且密封装置使流体出口关于入口真空区域密封，使得低真空冷却流体可以经由密封装置传送穿过入口真空区域至流体出口。优选存在反涡盘布置，其中定涡盘具有轴延伸通过其的开口，且轴连接到动涡盘上，其中动涡盘在与驱动电动机相对的定涡盘一侧上，且入口真空区域位于动涡盘附近。在一个示例中，密封装置具有入口密封件，其具有固定在动涡盘的流体入口处的第一入口部分，相对于冷却流体传送穿过其间的泵壳体流体入口固定的第二入口部分，以及连接入口部分，其为柔性的，以在动涡盘相对于轴线在两个正交维度上移动期间允许第一入口部分与第二入口部分之间的相对轨道运行运动。优选地，密封装置具有出口密封件，其具有固定在动涡盘的流体出口处的第一出口部分，相对于冷却流体传送穿过期间的泵壳体流体出口固定的第二出口部分，以及连接出口部分，其为柔性的，以在动涡盘相对于轴线在两个正交维度上移动期间允许第一出口部分与第二出口部分之间的相对轨道运行运动。入口密封件和/或出口密封件可包括护罩密封件。冷却流体源可构造成将冷却流体传送穿过动涡盘的冷却流体通路，且可形成涡旋泵的一部分，或为与泵分离的构件，或气体管线。流源可包括由驱动轴旋转的机械风扇。冷却流体源可包括用于将冷却流体传送通过冷却流动通路的泵壳体外的泵。在其它布置中，冷却流体源可由流体入口的运动导致，以将冷却流体传送通过冷却通路。冷却流动通路可通过在制造期间在动涡盘内铸造而形成。优选冷却流动通路在动涡盘内具有曲折构造。冷却流体可为空气或水或另一流体，且可在引入之前冷却到低于环境温度。附图说明为了可更好理解本专利技术，现在将参照附图更详细地描述仅借助于示例给出的本专利技术的实施例，在附图中：图1为干式涡旋真空泵的示意图；图2示出了图1中示出的泵的动涡盘的一个视图；以及图3示出了图1中示出的泵的动涡盘的另一个视图。具体实施方式参照图1，泵10包括泵壳体12，以及具有偏心轴部分16的驱动轴14。轴14由马达18驱动，且偏心轴部分连接到动涡盘20上，使得在使用期间，轴的旋转将相对于定涡盘22的轨道运行运动赋予动涡盘，以在压缩机的泵壳体入口24与泵壳体出口26之间沿流体流动通路泵送流体。在图1中，定涡盘大体上在左侧示出，且动涡盘大体上在右侧示出(即，如图所示，定涡旋盘在左侧且动涡旋盘在右侧，而定涡旋壁和动涡旋壁沿轴向方向重叠)。在此反涡盘布置中，定涡盘包括轴14穿过其延伸的开口28，且轴连接到动涡盘20上，使得动涡盘位于与马达18相对的定涡盘的侧上。高或入口真空区域30位于入口24处，且低真空或出口区域32位于出口26处。高真空区域在入口压力下。低真空区域在排气压力下。以此方式，涡盘布置相比于典型涡旋泵是相反的，其中动涡盘在与马达相同的定涡盘的一侧上。第一轴承34为了旋转支承驱动轴14的同心部分。轴承34相对于壳体或如图所示的定涡盘22固定。第二轴承36将驱动轴的偏心部分16连接到动涡盘20上，以允许动涡盘相对于偏心部分的轨道运行运动。可提供第一轴密封件38以阻止润滑剂从第一轴承34朝动涡盘20与定涡盘22之间的界面40通过，且第二轴密封件42阻止润滑剂从第二轴承36通过到界面。轴密封件阻止润滑剂进入和与泵送的气体混合。配重44平衡泵的轨道运行构件的重量，包括动涡盘20、第二轴承36和驱动轴的偏心部分16。动涡盘20构成轨道运行构件的重量的大部分，且其质心位于相对接近动涡盘的涡旋盘处。罩46固定到动涡盘的升高的座48上，且将包含配重和轴承34,36的低真空区域从高真空区域30密封。抗旋转装置50位于泵的高真空区域30中，且连接到动涡盘20和壳体12上。抗旋转装置阻止动涡盘的旋转，但允许动涡盘的轨道运行运动。抗旋转装置无润滑剂，且在该示例中，由塑料制成，且可为单件式聚合物构件。机械风扇52形式的冷却流体流源安装在驱动轴14上来在驱动轴由马达18驱动时旋转。风扇的旋转导致冷却流体(通常是环境空气)在定涡盘上流动来冷却定涡盘。然而，在反涡盘布置中，动涡盘在定涡盘的远侧上，且因此未物理地暴露于冷却剂。另外，动涡盘位于高真空或入口区域30中，这意味着存在较少气体可用于热能远离动涡盘的对流。产生的热量与泵送的气体量相关。因此，如果吞吐量增大，则压缩更多气体，且更多能量以热形式失去，特别是在较接近大气的高压下(如果泵用于低真空)。例如，低真空泵可具有在大约500mbar到1mbar之间的入口压力，以及大气处或大气附近的排气压力。例如，低真空泵可用于食品包装行业或用于纸张处理。然而，本专利技术还可用于例如用于科学仪器的低压状态(小于1mbar，例如，10-2和10-3mbar)，因为在此仪器中往往增大气体吞吐量，从而促成增加热产出。单纯作为示例，用于泵送的低吞吐量可为500到1000seem(标准立方厘米每分钟)，且高吞吐量可大于50slm(标准升每分钟)。提高的泵操作温度不是期望的，因为除其减少泵的操作寿命外，其导致维护要求提高且可能导致故障。轴承机构是泵的关键构件，且增加的热使机构退化。例如，温度升高10℃使轴承中的油脂(润滑剂)寿命减半(大约50%)。升高的温度导致轴承构件(和涡盘部件)的膨胀，减小了构件之间的配合，降低了泵送效率，且可能导致移动表面之间的接触。此外，末梢密封件磨损随温度升高而增大。末梢密封件粉尘的产生导致清洁的泵送环境的污染。末梢密封件粉尘在科学仪器和硅片处理以及食品包装中特别成问题。在干式泵送中，不用于泵送沿流动通路在涡盘机构的泵送室中使用润滑剂。其用于轴承机构中的泵送室外。润滑的泵中的室中的润滑剂将除润滑涡本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种干式涡旋真空泵，包括：泵壳体，其具有壳体入口和壳体出口；相对于所述泵壳体固定的定涡盘；具有轴线和偏心轴部分的驱动轴；动涡盘，其连接到所述偏心轴部分上，使得在使用期间，所述轴的旋转将相对于所述定涡盘的轨道运行运动赋予所述动涡盘，以用于在包括所述涡盘的涡盘机构的机构入口与机构出口之间泵送气体，入口真空区域，其处于所述泵壳体内的入口压力下，用于在所述轨道运行运动期间将气体从所述泵入口传送至所述机构入口；形成在所述动涡盘内以用于引导冷却流体流从而冷却所述动涡盘的冷却流动通路，所述冷却流动通路具有位于所述入口真空区域中的流体入口；以及密封装置，其用于使所述流体入口关于所述入口真空区域被密封，使得冷却流体可经由所述密封装置传送通过所述入口真空区域至所述流体入口。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.11.26 GB 1520878.81.一种干式涡旋真空泵，包括：泵壳体，其具有壳体入口和壳体出口；相对于所述泵壳体固定的定涡盘；具有轴线和偏心轴部分的驱动轴；动涡盘，其连接到所述偏心轴部分上，使得在使用期间，所述轴的旋转将相对于所述定涡盘的轨道运行运动赋予所述动涡盘，以用于在包括所述涡盘的涡盘机构的机构入口与机构出口之间泵送气体，入口真空区域，其处于所述泵壳体内的入口压力下，用于在所述轨道运行运动期间将气体从所述泵入口传送至所述机构入口；形成在所述动涡盘内以用于引导冷却流体流从而冷却所述动涡盘的冷却流动通路，所述冷却流动通路具有位于所述入口真空区域中的流体入口；以及密封装置，其用于使所述流体入口关于所述入口真空区域被密封，使得冷却流体可经由所述密封装置传送通过所述入口真空区域至所述流体入口。2.根据权利要求1所述的干式真空涡旋泵，其特征在于，所述冷却流动通路具有位于所述入口真空区域中的流体出口，以及所述密封装置使所述流体出口关于所述入口真空区域被密封，使得低真空冷却流体可经由所述密封装置传送通过所述入口真空区域至所述流体出口。3.根据权利要求1马达或2所述的干式真空涡旋泵，其特征在于，其具有反涡盘布置，其中所述定涡盘具有开口，所述轴延伸通过所述开口，且连接到所述动涡盘上，其中所述动涡盘在与驱动马达相对的所述定涡盘的一侧上，以及所述入口真空区域位于所述动涡盘附近。4.根据前述权利要求中任一项所述的干式真空涡旋泵，其特征在于，所述密封装置具有入口密封件，其具有固定在所述动涡盘的流体入口处的第一入口部分，相对于泵壳体流体入口固定的第二入口部分，冷却流体被传送通过所述泵壳体流体入口，以及连接入口部分，其是柔性的，以在所述动涡盘相对于所述轴线在两个正交维度上运动期间允许所述第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：M巴拉米，A德西隆，
申请(专利权)人：爱德华兹有限公司，
类型：发明
国别省市：英国,GB