The invention discloses an airport effect tube humidity sensor based on synergistic effect and a preparation method. The airport effect tube, from top to bottom, is a substrate, a gate electrode, a dielectric layer, a dielectric coating, a semiconductor layer, a source electrode and a leaky electrode. The dielectric layer is a mixture of organic dielectric material and ammonium tungstate, and the semiconductor layer is a mixture of organic semiconductor material and ammonium tungstate. The invention improves the performance of the device and its ability to detect humidity by introducing ammonium tungstate. With the introduction of ammonium tungstate, the semiconductor layer forms multi mesoporous structure, on the other hand, the decomposition of ammonium tungstate reduces the gap barrier between semiconductor crystals, effectively improves the performance of the device, and is more suitable for large-scale and rapid industrialization.
【技术实现步骤摘要】
一种基于协同效应的有机场效应管湿度传感器及其制备方法
本专利技术涉及湿度传感器领域,具体涉及一种基于协同效应的有机场效应管湿度传感器及其制备方法。
技术介绍
传感器的应用领域十分宽广,可以说从太空到海洋,从各种复杂的工程系统到人们日常生活的衣食住行,都离不开各种各样的传感器,传感技术对国民经济的发展日益起着巨大的作用。湿度是表示大气干燥程度的一个物理量,准确测量湿度在许多方面都有着重要的用途,例如,环境检测、能源利用、医疗卫生、农业工程及国防安全的方方面面。以场效应管为基础构成的气体传感器成为传感器领域的一个研究热点,将其应用于无机和挥发性气体的检测已有广泛报道。有机场效应晶体管气体传感器相比于电阻式器件,由于具有灵敏度高、室温工作、易于集成以及独立的多参数来提高选择性等优点,加上有机材料本身所具备的由于质轻、价廉、具有柔性、制备方法简单、种类多、性能可通过分子设计进行调整等优势,在气体传感器领域一直倍受人们关注。然而,随着材料和制作工艺成本的增长,加上人们对环保电子材料的渴望,促使人们研发低成本、制备方法简单、种类多、环境友好的有机电子材料。与传统的硅基MOSFET相比,有机场效应晶体管的器件制备过程以低温沉积或溶液(喷黑打印、旋涂、滴注等)等简单的工艺代替了传统的高温真空沉积等方法制作器件的复杂过程。众所周知,有机层与介电层掺杂,是提升有机场效应晶体管器件性能和稳定性的一个简单有效的措施。而如何简单有效的构造多介孔结构的有机半导体层,从而增大被检测气体与敏感层的接触面积,是实现高响应度和灵敏度的传感器的一个重要途径。因此如何采用有机层与介电层掺杂的简单 ...
【技术保护点】
1.一种基于协同效应的有机场效应管湿度传感器,从上到下依次包括衬底、栅电极、介电层、介电修饰层、半导体层、源电极和漏电极,其特征在于:所述介电修饰层由有机介电材料和偏钨酸铵的混合材料制成,所述偏钨酸铵的质量百分数为30%~50%,所述半导体层由可溶性有机半导体材料和偏钨酸铵的混合材料制成,所述半导体层中偏钨酸铵的质量百分数为10%~30%。
【技术特征摘要】
1.一种基于协同效应的有机场效应管湿度传感器,从上到下依次包括衬底、栅电极、介电层、介电修饰层、半导体层、源电极和漏电极,其特征在于:所述介电修饰层由有机介电材料和偏钨酸铵的混合材料制成,所述偏钨酸铵的质量百分数为30%~50%,所述半导体层由可溶性有机半导体材料和偏钨酸铵的混合材料制成,所述半导体层中偏钨酸铵的质量百分数为10%~30%。2.根据权利要求1所述的基于协同效应的有机场效应管湿度传感器,其特征在于,所述介电层由聚乙烯醇、聚酰亚胺、聚苯乙烯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚乙烯的中一种或多种的组合制成,所述介电层厚度为300~520nm。3.根据权利要求1所述的基于协同效应的有机场效应管湿度传感器,其特征在于,所述介电修饰层厚度为30~100nm,所述介电层与所述介电修饰层的材料一致。4.根据权利要求1所述的基于协同效应的有机场效应管湿度传感器,其特征在于,所述半导体层中的可溶性有机半导体材料由聚3-己基噻吩、Tips-并五苯、含硅氧烷的聚异戊二烯衍生物、聚噻吩半导体系列的中一种制成,所述半导体层的厚度为25~100nm。5.根据权利要求1所述的基于协同效应的有机场效应管湿度传感器,其特征在于,所述栅电极、源电极和漏电极材料为金属纳米线,所述金属纳米线由银纳米线、金纳米线、铁纳米线、铜纳米线、钴纳米线、锰纳米线、镉纳米线、铝纳米线、镍纳米线、铟纳米线、锡纳米线、钨纳米线和铂纳米线中的一种制成...
【专利技术属性】
技术研发人员:于军胜,庄昕明,侯思辉,杨祖崇,
申请(专利权)人:电子科技大学,
类型:发明
国别省市:四川,51
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