一种适用于TMA缓冲装置的音叉限位开关制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种适用于TMA缓冲装置的音叉限位开关，包括安装在缓冲罐体上端液位开关安装口内的液位开关体，液位开关体包括连接在液位开关体底部的插入管、固定插入管的固定件及安装在液位开关体一侧的电气连接部件；其中插入管插入缓冲罐体内；本实用新型专利技术针对现有技术不足，在缓冲罐上部安装一个插入式液位开关，当重量传感器漂移时，液位开关作为第二道液位控制手段，确保液位达到接触面后，即发出开关量，强制切断补液动作，从根本上消除液态源充满储罐后的重大安全隐患和污染环境的风险，保证系统始终安全运行；从根本上消除了由于缓冲罐液体充满后，由于push gas混入液体中产生气泡的可能，确保后端工艺机台液态源流量恒定，提高成品良率。

A tuning fork limit switch for TMA buffer device

The utility model discloses a tuning fork limit switch suitable for the TMA buffer, including the liquid level switch installed in the upper end of the buffer tank, including the insertion tube connected to the bottom of the liquid level switch, the fixed parts of the fixed insertion tube and the electrical connection at the side of the liquid level switch. The insertion pipe is inserted into the buffer tank; the utility model, in view of the shortage of the existing technology, installs an insertion type level switch on the upper part of the buffer tank. When the weight sensor is drifting, the liquid level switch is used as a second way level control means to ensure the level of the liquid level to reach the contact surface, that is, the switch quantity is issued and the fluid rehydration is forced to cut off. It can fundamentally eliminate the major safety hidden danger and the risk of polluting the environment after the liquid source is filled with the storage tank, and ensure that the system is always safe and safe. It fundamentally eliminates the possibility that the push gas can produce bubbles in the liquid when the liquid is filled with the buffer tank, so as to ensure that the liquid source flow of the back end process machine is constant and the finished product is improved. Good rate.

【技术实现步骤摘要】
一种适用于TMA缓冲装置的音叉限位开关
本技术涉及PV光伏行业晶硅电池片领域，尤指一种适用于TMA缓冲装置的音叉限位开关。
技术介绍
半导体/光伏/光纤等先进制造业，会使用到如TMA，DEZ，SiCl4等有毒有害化学液态源，工艺机台对这类液态源的流量都很小通常＜1g/min，而且允许流量波动幅度通常＜10％。这个流量对于液体来说是极小的，而且需要持续稳定供应，这就对液态源供应系统提出了很高的恒压恒流要求，比如液体中混入了气泡，流经机台流量计时，就会显示大的流量波动，影响工艺参数和成品良率。故如何消除已混入液态源的气泡，并防止新的气泡产生，同时保证系统安全稳定运行，都是非常重要的。现在比较先进的系统设计中，在液态源通过管网进入工艺机台前，加装一个缓冲罐，实现一对一单独供应，由于为液态源，缓冲罐底部安装秤重传感器，来实时计量缓冲罐内液体重量，根据重量设定值来给出低液位报警或自动补料，设置缓冲罐的好处是可以消除前端集中供应系统中混入的气泡，因为当缓冲罐进行补料时，会把排气阀AV2和MV7打开排出储罐上部气体；但是如果重量传感器发生漂移，就会使得补液量得不到有效控制，储罐内液面会超过pushgas推送气体的插入管，并且液态源充满整个缓冲罐，通过推送气体插入管，使得液面高过pushgas隔离阀AV1和排气隔离阀AV2下面的三通口。一旦出现上述情况，液态源会通过AV2和MV7，进入vent排气管，经过真空泵被直接压入scrubber，使得scrubber负荷过大来不及处理，造成严重的环境污染和安全事故；当情况不是那么极端，液面仅仅是高于AV2，当恢复供液时，pushgas通过AV1下面的三通混入液体中，把缓冲罐内液体通过出液插入管压送出去，并且这部分pushgas会夹杂在液体中，被输送到机台端，引起机台端大的流量波动，影响工艺参数和成品良率。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是克服现有技术的缺点，提供一种确保缓冲罐安全稳定的适用于TMA缓冲装置的音叉限位开关。为了解决上述技术问题，本技术提供了如下的技术方案：一种适用于TMA缓冲装置的音叉限位开关，包括安装在缓冲罐体上端液位开关安装口内的液位开关体，所述的液位开关体包括连接在液位开关体底部的插入管、固定插入管的固定件及安装在液位开关体一侧的电气连接部件；其中插入管插入缓冲罐体内。作为本技术的一种优选技术方案，插入管插入深度长于推送气体插入管插入深度10～15mm。此液位开关的插入管长度(也即插入缓冲罐深度)合理，通常插入深度应长于推送气体插入管约10～15mm为宜，这样确保缓冲罐内液位始终不会高出推送气体插入管，同时又使得缓冲罐的有效补液量最大；作为本技术的一种优选技术方案，插入管直径不大于10mm。液位开关的插入管直径为不大于10mm，以利于小型缓冲罐上的安装。作为本技术的一种优选技术方案，插入管插入罐体部分铸造材料为SS316L不锈钢材料，与罐内液体接触部分材料要求SS316L电解抛光，既提高了耐腐蚀性，又保证不会对洁净的液态源造成二次污染。作为本技术的一种优选技术方案，固定件固定插入管的方式为螺纹或法兰连接方式。液位开关与储罐连接宜采用螺纹或法兰连接方式，即保证了可靠密封，又利于拆卸更换维护。作为本技术的一种优选技术方案，液位开关上部电气连接部件，如果是应用在自燃或易燃易爆的液态源输送，应使用隔爆型，确保安全。本技术所达到的有益效果是：本技术一种适用于TMA缓冲装置的音叉限位开关，针对现有技术不足，通过在秤重计量的基础上，在缓冲罐上部安装一个插入式液位开关，当重量传感器漂移时，液位开关作为第二道液位控制手段，确保液位达到接触面后，即发出开关量，强制切断补液动作，从根本上消除液态源充满储罐后的重大安全隐患和污染环境的风险，保证系统始终安全运行；从根本上消除了由于缓冲罐液体充满后，由于pushgas混入液体中产生气泡的可能，确保后端工艺机台液态源流量恒定，提高成品良率。附图说明附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：图1为本技术结构示意图；图2为本技术运用于TMA缓冲装置结构示意图；图中标号：1、液位开关体；2、插入管；3、固定件；4、电气连接部件。具体实施方式以下结合附图对本技术的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本技术，并不用于限定本技术。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“竖直”、“上”、“下”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。在本技术的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。实施例：如图1所示，本技术提供一种适用于TMA缓冲装置的音叉限位开关，包括安装在缓冲罐体上端液位开关安装口内的液位开关体1，所述的液位开关体1包括连接在液位开关体1底部的插入管2、固定插入管2的固定件3及安装在液位开关体1一侧的电气连接部件4；其中插入管2插入缓冲罐体内。插入管2插入深度长于推送气体插入管插入深度10～15mm。插入管2直径不大于10mm。插入管2插入罐体部分铸造材料为SS316L不锈钢材料。固定件3固定插入管的方式为螺纹或法兰连接方式。在现有的终端缓冲罐仅仅使用秤重计量的基础上，在缓冲罐上部安装一个插入式液位开关，当重量传感器漂移时，液位开关起到高液位终极保护作用，确保液位达到接触面后，即发出开关量，强制切断补液动作。从根本上消除液态源充满储罐后的重大安全隐患和污染环境的风险，保证系统始终安全运行；从根本上消除了由于缓冲罐液体充满后，由于推动天然气混入液体中产生气泡的可能，确保后端工艺机台液态源流量恒定，提高成品良率。如图2所示，在缓冲罐体的表面添加一液位开关安装口，并将音叉液位限位开关安装在其内部，当重量传感器漂移时，液位开关作为第二道液位控制手段，确保液位达到接触面后，即发出开关量，强制切断补液动作。最后应说明的是：以上仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术，尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种适用于TMA缓冲装置的音叉限位开关，其特征在于，包括安装在缓冲罐体上端液位开关安装口内的液位开关体(1)，所述的液位开关体(1)包括连接在液位开关体(1)底部的插入管(2)、固定插入管(2)的固定件(3)及安装在液位开关体(1)一侧的电气连接部件(4)；其中插入管(2)插入缓冲罐体内。

【技术特征摘要】
1.一种适用于TMA缓冲装置的音叉限位开关，其特征在于，包括安装在缓冲罐体上端液位开关安装口内的液位开关体(1)，所述的液位开关体(1)包括连接在液位开关体(1)底部的插入管(2)、固定插入管(2)的固定件(3)及安装在液位开关体(1)一侧的电气连接部件(4)；其中插入管(2)插入缓冲罐体内。2.根据权利要求1所述的一种适用于TMA缓冲装置的音叉限位开关，其特征在于，所述的插入管(2)插入深度长于推送气体插入管...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙效义，薛元，
申请(专利权)人：上海至纯洁净系统科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31