一种冷却控温装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种冷却控温装置，包括本体子模组、控温子模组、液位子模组及测温子模组，所述本体子模组包括槽体，所述槽体为顶端开口的结构并设置有槽体上盖，述控温子模组包括冷却盘管、盘管支架及变径接头，所述冷却盘管包括至少两个管路，所述冷却盘管安装于所述盘管支架，所述冷却盘管、所述盘管支架均设置于所述槽体内，所述变径接头呈阶梯式结构安装于槽体上盖，所述变径接头连通外部管路与冷却盘管各个管路；所述液位子模组安装于所述槽体的外部并通过连通管与所述槽体内部连通，部分所述测温子模组由所述槽体上盖的位置插入所述槽体内。本实用新型专利技术将冷却盘管改为多根管路，增加冷却盘管与化学液之间的接触面积，提高冷却效率。高冷却效率。高冷却效率。

【技术实现步骤摘要】
一种冷却控温装置


[0001]本技术属于半导体
，具体涉及一种冷却控温装置。

技术介绍

[0002]在半导体的工艺设备中，以湿法工艺设备为例，在工艺过程中因产品的复杂性而对化学液温度要求极其严格，过高或过低的化学品温度对产品的良率和厂务的安全都造成威胁,同时化学品种类繁多性质不一,化学品之间复杂的化学反应和繁杂的管路系统对工艺温度控制造成一定的困难,而且化学液是一种具有强烈腐蚀性质的液体,危险性极高,因此设计一种高安全性,高效率,高精度的控温装置极其重要。
[0003]目前常见的冷却装置由槽体、冷却盘管、液位模组三部分组成，其控温精度低、冷却精度低、缺乏安全的互锁方式。

技术实现思路

[0004]针对现有技术中存在的问题，本技术提供一种冷却控温装置，本技术通过对测温模组、液位模组、冷却盘管进行改进，实现对半导体制程中化学液的控温要求。
[0005]为实现上述目的，本技术采用以下技术方案：
[0006]本技术提供一种冷却控温装置，包括本体子模组、控温子模组、液位子模组及测温子模组，所述本体子模组包括槽体，所述槽体为顶端开口的结构并设置有槽体上盖，述控温子模组包括冷却盘管、盘管支架及变径接头，所述冷却盘管包括至少两个流体管路，所述冷却盘管安装于所述盘管支架，所述冷却盘管、所述盘管支架均设置于所述槽体内，所述变径接头呈阶梯式结构安装于槽体上盖，所述变径接头连通外部管路与冷却盘管的各个管路；所述液位子模组安装于所述槽体的外部并通过连通管与所述槽体内部连通，部分所述测温子模组由所述槽体上盖的位置插入所述槽体内。
[0007]作为优选的技术方案，所述变径接头为圆环形阶梯式结构，所述变径接头的每个阶梯沿周向设置有若干进液孔，所述进液孔连接外部管路，所述变径接头的底端位于槽体内部且设置有蜂窝孔，所述冷却盘管的各个管路对应连接蜂窝孔的各个小孔。
[0008]作为优选的技术方案，所述槽体上盖与所述槽体之间设置有密封垫圈。
[0009]作为优选的技术方案，所述本体子模组包括还包括槽体托座，所述槽体设置于槽体托座且与槽体托座焊接连接。
[0010]作为优选的技术方案，所述液位子模组包括液位计、液位尺、固定支架及压力传感器，所述液位计、所述液位尺安装于所述固定支架，所述固定支架安装于所述槽体的外侧壁，所述液位计包括液位管，所述液位管的两端连接所述连通管的两端，所述连通管置于所述槽体内部，所述连通管的侧壁上设置有与槽体内部导通的通孔，所述液位管的上端连接氮气接口，所述氮气接口处设置有压力传感器，所述压力传感器位于所述槽体上盖的上方。
[0011]作为优选的技术方案，所述固定支架通过螺钉固定安装于所述槽体的外侧壁。
[0012]作为优选的技术方案，所述测温子模组包括温度传感器、PFA管、固定接头及密封
盖，所述温度传感器部分设置于所述槽体内部，所述温度传感器位于槽体内部的部分于外部设置有PFA管，所述PFA管上均匀开设有多个开孔，所述固定接头与PFA管的顶部焊接连接，所述密封盖安装于所述PFA管的上方，所述温度传感器安装于所述密封盖上，所述固定接头安装于所述槽体上盖上。
[0013]作为优选的技术方案，所述固定接头与所述槽体上盖螺纹连接。
[0014]作为优选的技术方案，所述槽体为一体式结构，容积为90L。
[0015]与现有技术相比，本技术具有以下技术效果：本技术利用低温液体与高温液体之间的热交换达到降温目的，将流通低温液体的冷却盘管改为多根管路，并固定于盘管支架上增加与化学液之间的接触面积，提高冷却效率；依靠液位模组可以实时判断槽体内部化学液液位，根据液位高低决定化学液进液或排液；根据测温模组判断内部化学液是否达到所需温度，降温效率高；结构上安装及维修较为方便，依靠多种检测器可以及时发现异常并及时停止工作，安全性高。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]图1为本技术化学品冷却控温装置的整体结构示意图。
[0018]图2为本技术本体子模组的结构示意图。
[0019]图3为本技术控温子模组的结构示意图。
[0020]图4为本技术液位子模组的结构示意图。
[0021]图5为本技术测温子模组的结构示意图。
[0022]图6为本技术变径接头的结构示意图。
[0023]其中，附图标记具体说明如下：本体子模组1、控温子模组2、液位子模组3、测温子模组4、槽体1
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1、槽体托座1
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2、槽体上盖1
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3、密封垫圈1
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4、冷却盘管2
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1、盘管支架2
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2、变径接头2
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3、进液孔2
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4、蜂窝孔2
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5、液位计3
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1、液位尺3
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2、固定支架3
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3、压力传感器3
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4、液位管3
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5、连通管3
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6、温度传感器4
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1、PFA管4
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2、固定接头4
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3、密封盖4
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4。
具体实施方式
[0024]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0025]如图1所示，本实施例提供一种化学品冷却控温装置，包括本体子模组1、控温子模组2、液位子模组3、测温子模组4。
[0026]如图2所示，本体子模组1为控温装置的主体结构，为化学液的冷却过程中的载体,保证整个冷却控温过程安全进行。本体子模块包括槽体1
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1、槽体上盖1
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3、槽体托座1
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2，槽
体1
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1为顶端开口的结构，起化学液的载体作用,材质为特种材料氟树脂,优选为聚四氟乙烯,该材料耐化学性能和温度性能优异,可以长时间接触几乎所有的化学品.加工方式为一体式加工,避免因长时间浸泡产生的泄露风险，容积为90L。槽体上盖1
‑
3安装于槽体1
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1的顶端，槽体1
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1与槽体上盖1
‑
3之间设置有密封垫圈1<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种冷却控温装置，其特征在于，包括本体子模组、控温子模组、液位子模组及测温子模组，所述本体子模组包括槽体，所述槽体为顶端开口的结构并设置有槽体上盖，述控温子模组包括冷却盘管、盘管支架及变径接头，所述冷却盘管包括至少两个流体管路，所述冷却盘管安装于所述盘管支架，所述冷却盘管、所述盘管支架均设置于所述槽体内，所述变径接头呈阶梯式结构安装于槽体上盖，所述变径接头连通外部管路与冷却盘管的各个管路；所述液位子模组安装于所述槽体的外部并通过连通管与所述槽体内部连通，部分所述测温子模组由所述槽体上盖的位置插入所述槽体内。2.如权利要求1所述的一种冷却控温装置，其特征在于，所述变径接头为圆环形阶梯式结构，所述变径接头的每个阶梯沿周向设置有若干进液孔，所述进液孔连接外部管路，所述变径接头的底端位于槽体内部且设置有蜂窝孔，所述冷却盘管的各个管路对应连接蜂窝孔的各个小孔。3.如权利要求1所述的一种冷却控温装置，其特征在于，所述槽体上盖与所述槽体之间设置有密封垫圈。4.如权利要求1所述的冷却控温装置，其特征在于，所述本体子模组包括还包括槽体托座，所述槽体设置于槽体托座且与槽体托座焊接连接。5.如权利要求1所述的冷却控温装置，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱建雄，陶明生，刘大威，
申请(专利权)人：上海至纯洁净系统科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：