流体在塑胶管内产生紊流与管外流量调节装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及流体在塑胶管内产生紊流与管外流量调节装置。流体在管道内流动时，遇到横截面形状与/或面积变化，会产生紊流。利用这种现象，在管道外设置横截面形状与/或面积调节装置，产生紊流，流体质点相互掺混均匀；流体管路常需要把流量调小，目前技术是把流量调节阀串联进管路中，在半导体加工设备的流体管路中，阀动作调节流量时，会摩擦产生很多微小颗粒物混入流体，影响加工质量，就用特别好非常贵的材料做阀，减少颗粒物产生，增加了成本。本实用新型专利技术在塑胶管道上套一个挤压装置，把塑胶管挤变形横截面积变小，可以产生紊流均质，也可以调节流量，并且本装置在管外不会产生颗粒物混入流体，简洁可靠，降低成本，提高设备加工品质。

The flow of fluid in the plastic tube produces turbulence and the flow regulator outside the pipe.

The utility model relates to a turbulent flow and a flow regulating device outside a pipe in a plastic pipe. When the fluid flows in the pipeline, turbulence will occur when the cross-section shape and / or area change. Using this phenomenon, the cross section shape and / or area adjustment device is set outside the pipeline to produce turbulence, and the fluid particles are mixed evenly. The fluid pipeline often needs to reduce the flow rate. At present, the current technology is to series the flow regulating valve into the pipeline. In the flow line of the semiconductor processing equipment, the valve moves to regulate the flow rate. Friction produces a lot of small particles mixed into the fluid, affecting the quality of processing, the use of special and very expensive materials to make valves, reduce the production of particles, increase the cost. The utility model sets a extruding device on the plastic pipe to reduce the cross section area of the plastic tube, which can produce the homogeneous turbulence and adjust the flow, and the device will not produce particles mixed with the fluid outside the tube. It is simple and reliable, reduces the cost, and improves the quality of the equipment.

【技术实现步骤摘要】
流体在塑胶管内产生紊流与管外流量调节装置
本技术涉及流体管路，尤其是用塑胶管作为流体管道的管路，很多工业加工设备用到流体管路，比如半导体湿法工艺设备。
技术介绍
很多流体设备，例如半导体湿法工艺设备，晶圆的镀膜、清洗、蚀刻、去胶等等设备，需要使用气体或者液体作为工作物质，设备里面很多粗细不一的塑胶管道，流体在设备里面通过塑胶管道流通。目前，很多用流体作为工作物质的设备，需要把流体掺混均匀，比如把化学药液掺混均匀，使流体各处浓度一致，就需要泵驱动在管路中快速循环，泵的功率大，流体循环速度才能快，循环速度慢了流体均匀性达不到要求，循环速度快就使泵转速快多耗能源，泵磨损老化加快，寿命缩短，泵用几年就要换新的；很多流体循环管路需要调节流量，流量都有设计余量，从最大流量开始，把流量调小到刚好能满足使用要求，节省流体，又减少流体循环动力消耗，现有技术是在流体管路中串联流量调节阀，在半导体加工设备的流体管路中，转动流量调节阀调节流量时，零件之间会摩擦产生很多微小颗粒物混入流体，影响流体纯度与设备加工质量，就用特别好非常贵的材料做阀，减少颗粒物的产生，这样的流量调节阀很贵，主要靠进口外国货，一个几千元人民币，增加了成本，管路中串联流量调节阀还增加了管接头数量，占用设备内空间增多，不利于设备结构紧凑化。
技术实现思路
本技术提供流体在塑胶管内产生紊流与管外流量调节装置，紊流能使流体质点掺混均匀，达到浓度一致，因为紊流掺混流体效果增强了，适当降低泵的转速，降低流体循环速度，也能达到之前的效果，节能增加泵的寿命；同时本方法与装置还可以从塑胶管外部调节流体在塑胶管内的流量，从流体管路有设计余量的最大流量开始，逐渐把流量调小，达到合适的流量，可以节省流体，减少流体动力消耗，降低驱动流体循环的泵的转速与功率，节能增加使用寿命。为了达到上述目的，本技术采用的技术方案是：流体在塑胶管内产生紊流与管外流量调节装置，其特征是：包括挤压装置与塑胶管，挤压装置嵌套在塑胶管上，可以把塑胶管挤压变形并保持变形不能回复原状，流体在塑胶管内流通，塑胶管串联在设备的流体管路中；塑胶管被挤压装置挤压变形之后流过变形处的流体横截面形状与面积都发生变化，就会产生紊流，紊流使流体内部的质点互相掺混，使流体掺混的均匀浓度一致；塑胶管被挤压处变形量越大通过塑胶管内此处的流体横截面积越小，流量就越小，可以通过调节挤压装置进而调节塑胶管的变形量从塑胶管外调节塑胶管内的流体流量大小。所述的挤压装置如果用在腐蚀性环境中，挤压装置用防腐材料制造或者表面做涂塑或者其它防腐处理。根据本技术的一个实施例，所述的挤压装置是间接挤压装置，是用金属制造的套筒形状的O型紊流发生与流量调节圈，其内壁两端加工平滑的弧线型倒角，可以是圆倒角或者是其它平滑的弧线型倒角；或者是用金属制造的手镯形状的O型紊流发生与流量调节圈，其表面做的光滑无棱角；可以把O型紊流发生与流量调节圈套在流体管路中的塑胶管上,用另外的工具挤压O型紊流发生与流量调节圈，它被挤压产生塑性变形时其内壁挤压塑胶管产生变形，所以它是间接挤压装置。根据本技术的一个实施例，所述的挤压装置是间接挤压装置，是用金属制造的C型紊流发生与流量调节圈，就是在上述O型紊流发生与流量调节圈上开一个缺口；套筒形状的C型紊流发生与流量调节圈其内壁两端与缺口边沿加工平滑的弧线型倒角，可以是圆倒角或者是其它平滑的弧线型倒角；手镯形状的C型紊流发生与流量调节圈其缺口端面加工平滑的弧线型倒角，可以是圆倒角或者是其它平滑的弧线型倒角；可以把C型紊流发生与流量调节圈套在流体管路中的塑胶管上，用另外的工具挤压C型紊流发生与流量调节圈产生塑性变形时，其内壁挤压塑胶管产生变形，所以它是间接挤压装置。根据本技术的一个实施例，所述的挤压装置是直接挤压装置，包括两套螺栓螺母或者两个螺钉，两个长条形夹板，夹板两端打通孔或者螺孔，夹板的楞做成平滑的弧线型倒角，可以是圆倒角或者是其它平滑的弧线型倒角；用两套螺栓螺母或者两个螺钉串起正对着的两个夹板的孔拧紧，可以把塑胶管夹在两个夹板之间。根据本技术的一个实施例，所述的挤压装置是直接挤压装置，包括一套螺栓螺母或者一个螺钉，两个长条形夹板，夹板的楞做成平滑的弧线型倒角，可以是圆倒角或者是其它平滑的弧线型倒角；两个夹板之间一端铰接在一起，另一端打通孔或者螺孔，用螺栓螺母或者螺钉通过正对着的夹板的孔串在一起拧紧，可以把塑胶管夹在两个夹板之间。根据本技术的一个实施例，所述的挤压装置是直接挤压装置，包括一套螺栓螺母或者一个螺钉，一个长条形夹板；夹板两端打通孔或者螺孔，夹板的楞做成平滑的弧线型倒角，可以是圆倒角或者是其它平滑的弧线型倒角,把长条形夹板弯折成V型夹板，用螺栓螺母或者螺钉把夹板两端的孔串在一起拧紧，可以把塑胶管夹在V型夹板的V型槽内。根据本技术的一个实施例，在所述的夹板与塑胶管接触的面上沿着塑胶管轴向开槽，槽的楞做成平滑的弧线型倒角，可以是圆倒角或者是其它平滑的弧线型倒角,塑胶管卡在槽内，避免发生横向滑动。本技术的有益效果：用戒指一样大小的廉价的紊流发生与流量调节圈套在塑胶管上挤压变形就可以产生紊流并且控制流量，超低成本，简洁可靠，寿命长永不需要更换；紊流掺混流体效果增强了，流体更容易达到浓度一致，适当降低泵的转速，降低流体循环速度，也能达到之前的效果，节能增加泵的寿命；本方法与装置从塑胶管外部调节流体在塑胶管内的流量，省掉一些流量调节阀降低成本，在半导体设备上可取代几千元的进口流量调节阀，还可以省掉一些昂贵的氟塑料管接头，节省空间，降低成本，不产生颗粒物混入流体，提高流体纯度与设备加工品质；用本装置从流体管路的有余量的最大流量开始，逐渐把流量调小到合适的流量，可以节省流体，降低成本。附图说明下面结合附图和实施例对本技术进一步说明：图1是套筒形状的O型紊流发生与流量调节圈的立体示意图；图1a是套筒形状的O型紊流发生与流量调节圈的剖视图；图1b是套筒形状的O型紊流发生与流量调节圈的主视图；图1c是套筒形状的O型紊流发生与流量调节圈的左视图。图2是套筒形状的C型紊流发生与流量调节圈的立体示意图。图3是手镯形状的O型紊流发生与流量调节圈的主视图；图3a是手镯形状的O型紊流发生与流量调节圈的剖视图。图3b是手镯形状的C型紊流发生与流量调节圈的立体示意图。图4是套筒形状的O型紊流发生与流量调节圈、套筒形状的C型紊流发生与流量调节圈、手镯形状的O型紊流发生与流量调节圈、手镯形状的C型紊流发生与流量调节圈套在塑胶管上的立体示意图。图5是两端带通孔的带弧形槽的长条形夹板的立体示意图；图6是两端带螺孔的带弧形槽的长条形夹板的主视图。图7是两端带通孔的长条形夹板的立体示意图；图8是两端带螺孔的长条形夹板的俯视图。图9是两个带弧形槽的长条形夹板夹住塑胶管的立体示意图；图9a是另一个角度的两个带弧形槽的长条形夹板夹住塑胶管的立体示意图。图10是两个长条形夹板夹住塑胶管的立体示意图；图10a是另一个角度的两个长条形夹板夹住塑胶管的立体示意图。图中：1.平滑的弧线型倒角，2.塑胶管，3.通孔，4.螺孔，5.弧形槽，10.套筒形状的O型紊流发生与流量调节圈，100.套筒形状的C型紊流发生与流量调节圈，101.本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.流体在塑胶管内产生紊流与管外流量调节装置，其特征是：包括挤压装置和塑胶管，挤压装置嵌套在塑胶管上，流体在塑胶管内流通。

【技术特征摘要】
1.流体在塑胶管内产生紊流与管外流量调节装置，其特征是：包括挤压装置和塑胶管，挤压装置嵌套在塑胶管上，流体在塑胶管内流通。2.根据权利要求1所述的流体在塑胶管内产生紊流与管外流量调节装置，其特征是：所述挤压装置用防腐材料制造或者表面做涂塑。3.根据权利要求1所述的流体在塑胶管内产生紊流与管外流量调节装置，其特征是：所述的挤压装置是间接挤压装置，是用金属制造的套筒形状的O型紊流发生与流量调节圈，其内壁两端加工平滑的弧线型倒角；或者是用金属制造的手镯形状的O型紊流发生与流量调节圈，其表面做的光滑无棱角。4.根据权利要求1所述的流体在塑胶管内产生紊流与管外流量调节装置，其特征是：所述的挤压装置是间接挤压装置，是用金属制造的C型紊流发生与流量调节圈，就是在O型紊流发生与流量调节圈上开一个缺口；套筒形状的C型紊流发生与流量调节圈其内壁两端与缺口边沿加工平滑的弧线型倒角；手镯形状的C型紊流发生与流量调节圈其缺口端面加工平滑的弧线型倒角。5.根据权利要求1所述的流体在塑胶管内产生紊流与管外流量调节装置，其特征是：所述的挤压...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘现营，
申请(专利权)人：新阳硅密上海半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31