粉末沉积装置和粉末沉积方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种能够有效地在粉末上进行沉积的粉末沉积装置和粉末沉积方法。所述粉末沉积装置包括设置在真空容器内并且被构造成在垂直方向上转动的鼓形转动体；设置在所述鼓形转动体内部的沉积源；筒状粉末供给/回收部件，它邻近所述鼓形转动体的内壁设置，并且被构造成回收通过上面进入的粉末和通过下面将粉末供给到所述内壁；以及盖部件，它设置在所述粉末供给/回收部件的下面的附近，并且被构造成在处于打开状态时通过粉末供给/回收部件的下面将粉末供给到所述内壁和在处于关闭状态时积聚通过上面进入所述粉末供给/回收部件内的粉末。

Powder deposition apparatus and powder deposition method

The present invention provides a powder deposition device and a powder deposition method capable of effectively depositing on a powder. The powder deposition device comprises a drum set in a vacuum chamber and is configured to rotate in the vertical direction of the rotating body; set the shape deposition source in the body of the rotating drum; the cylindrical powder supply / recovery components, it is adjacent to the inner wall of the rotating body of the drum set, and is configured through the above into the recovery of powder and powder will be supplied to the inner wall of the bottom; and the cover member, which is arranged on the powder supply / near the following recovery part, and is constructed in an open state by powder supply / recovery following components will powder supplied to the wall and in the closed when the accumulation through the above into the powder / powder in the supply of recycled parts.

【技术实现步骤摘要】
相关申请的交叉参考本申请要求于2012年11月20日提交的日本在先专利申请JP2012-253868的权益，其全部内容以引用的方式并入本文。
本公开涉及一种在粉末的表面上进行沉积的粉末沉积装置和在粉末的表面上进行沉积的粉末沉积方法。
技术介绍
提出了当将一些物质附着在粉末的表面上时进行沉积。当进行沉积时，将要形成为涂膜的材料由于加热等而蒸发并且使得蒸发的材料与粉末的表面碰撞。这样，在粉末的表面上形成涂膜。通常，在粉末的表面上的沉积需要具有复杂构造的沉积装置。也就是说，由于沉积只能向上进行，所以需要将颗粒放在沉积源的上方。由于这个原因，所以通常提出将粉末容纳在高速转动的圆筒形容器中并且设置在圆筒形容器中的沉积源进行沉积。高速转动圆筒形容器使得粉末由于离心力能够通过圆筒形容器内部的上部。于是，在粉末通过圆筒形容器内部的上部时，从沉积源蒸发的材料到达粉末，从而在粉末的表面上形成涂膜。日本专利特开No.2008-045197公开了一种使用这种圆筒形容器在粉末上进行沉积的构造。当使用如上所述的圆筒形容器在粉末上进行沉积时，所存在的问题是，将粉末供给到圆筒形容器的供给操作和在沉积之后回收粉末的回收操作很困难。也就是说，为了使得粉末均匀分散在圆筒形容器的内表面上，最初水平地转动圆筒形容器以施加离心力，使得粉末粘附在圆筒形容器的圆形内表面上。然后，维持转动，使圆筒形容器处于垂直直立位置，并且此时，使用沉积源在圆筒形容器内进行沉积。另外，以足够高的速度转动维持在直立状态下的圆筒形容器，将粉末供给到圆筒形容器内以进行沉积。然而，在这些方法的任一种中，所存在的问题是，装置具有复杂的构造。例如，当将圆筒形容器从水平状态移动到垂直状态时，在真空容器中需要具有用于移动圆筒形容器的可用空间，这需要非常大型的真空容器。此外，在设置于真空空间中并高速转动的圆筒形容器内供给粉末的情况下，需要在真空容器中设置非常复杂的粉末供给机构。此外，在这些构造的任一种中，所存在的问题是，在沉积结束后从圆筒形容器的内部回收粉末的操作的可操作性很差。例如，在沉积结束后需要打开从真空容器取出来的圆筒形容器并且用抽吸装置吸出分散在容器内的粉末以进行回收。所存在的问题是，这种回收操作的可操作性很差，是非常繁杂的操作。
技术实现思路
希望提供一种能够有效地在粉末上进行沉积的粉末沉积装置和粉末沉积方法。根据本公开实施方案的粉末沉积装置包括：设置在真空容器内并且被构造成在垂直方向上转动的鼓形转动体；设置在所述鼓形转动体内部的沉积源；筒状粉末供给/回收部件；以及设置在所述粉末供给/回收部件的下面的附近的盖部件。所述筒状粉末供给/回收部件邻近所述鼓形转动体的内壁设置，并且被构造成在回收通过上面进入的粉末的同时，通过下面将粉末供给到所述内壁。所述盖部件被构造成在处于打开状态时通过粉末供给/回收部件的下面将粉末供给到所述内壁和在处于关闭状态时积聚通过上面进入所述粉末供给/回收部件内的粉末。此外，根据本公开的实施方案的粉末沉积方法包括：(1)在真空容器内设置被构造成在垂直方向上转动的鼓形转动体；(2)在所述鼓形转动体的内部设置沉积源；(3)在所述鼓形转动体转动的状态并且筒状粉末供给/回收部件的底部处于打开状态下，在将粉末供给到所述鼓形转动体的内壁后，由所述沉积源进行沉积；(4)通过所述筒状粉末供给/回收部件的上面回收供给到所述鼓形转动体的内壁的粉末；以及(5)通过使得所述筒状粉末供给/回收部件的下面的附近处于关闭状态，在所述筒状粉末供给/回收部件内积聚回收的粉末。根据本公开，使用筒状粉末供给/回收部件，将粉末供给到设置有沉积源的鼓形转动体或从其回收粉末可以在真空容器内进行。因此，在粉末上进行沉积时，可以有效地进行粉末的供给和回收。附图说明图1是示出作为根据本公开实施方案的例子的粉末沉积装置的构造的侧视图；图2是示出作为根据本公开实施方案的例子的粉末沉积装置的构造的立体图；图3是示出包含在作为根据本公开实施方案的例子的粉末沉积装置中的粉末供给/回收部件的下部的立体图；图4是示出作为根据本公开实施方案的例子的沉积操作的流程的流程图；图5是作为根据本公开实施方案的例子的沉积操作过程(第一部分)的说明图；图6是作为根据本公开实施方案的例子的沉积操作过程(第二部分)的说明图；图7是作为根据本公开实施方案的例子的沉积操作过程(第三部分)的说明图；以及图8是作为根据本公开实施方案的例子的沉积操作过程(第四部分)的说明图。具体实施方式下面将参照附图详细说明本公开的优选实施方案。需要注意的是，在本说明书和附图中，用相同的附图标记表示具有基本上相同功能和结构的结构要素，并且省略了对这些结构要素的重复说明。按以下顺序进行说明。1.粉末沉积装置的构造(图1和图2)2.粉末沉积操作的流程(图3～图8)3.变形例[1.粉末沉积装置的构造]图1和图2是示出作为根据本公开实施方案的例子的粉末沉积装置的构造的视图。图1是侧视图，图2是立体图。该粉末沉积装置包括设置在真空容器30内的转动体10。真空容器30只需要具有可以容纳转动体10的形状。转动体10可以具有例如直径大约为50cm的尺寸。如图1和图2所示，转动体10是鼓形转动体，并且包括具有预定宽度的内壁10a。转动体10在其侧面没有设置封闭部件，然而转动体10可以被构造成用侧面板封闭其侧面。转动体10绕着转动中心轴11转动。转动体10的转动速度被设定为相对较高，使得粉末由于离心力粘附到内壁10a上。在图中，省略了对转动体10进行转动驱动的驱动源或转动机构。此外，沉积源12设置在转动体10的内部的上部。沉积源12加热将要形成涂膜的材料并使其蒸发。在沉积源12内通过蒸发产生的蒸气通过沉积源12的上部12a到达转动体10的内壁10a的上部。此外，粉末供给/回收装置20设置在转动体10的内部。粉末供给/回收装置20的主体由筒状部21构成，该筒状部由具有矩形断面的筒状部件构成。筒状部21的上面22和下面23处于打开状态。此外，筒状部21被构造成具有相对较大的长度，以在其内部具有搅拌粉末的功能。如图1中的虚线所示，粉末供给/回收装置20是可倒式的，能够绕着在其下端的枢轴支点24进行枢转本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种粉末沉积装置，包括：设置在真空容器内并且被构造成在垂直方向上转动的鼓形转动体；设置在所述鼓形转动体内部的沉积源；筒状粉末供给/回收部件，它邻近所述鼓形转动体的内壁设置，并且被构造成回收通过上面进入的粉末和通过下面将粉末供给到所述内壁；以及盖部件，它设置在所述粉末供给/回收部件的下面的附近，并且被构造成在处于打开状态时通过粉末供给/回收部件的下面将粉末供给到所述内壁和在处于关闭状态时积聚通过上面进入所述粉末供给/回收部件内的粉末。

【技术特征摘要】
2012.11.20 JP 2012-2538681.一种粉末沉积装置，包括：
设置在真空容器内并且被构造成在垂直方向上转动的鼓形转动体；
设置在所述鼓形转动体内部的沉积源；
筒状粉末供给/回收部件，它邻近所述鼓形转动体的内壁设置，并且
被构造成回收通过上面进入的粉末和通过下面将粉末供给到所述内壁；
以及
盖部件，它设置在所述粉末供给/回收部件的下面的附近，并且被构
造成在处于打开状态时通过粉末供给/回收部件的下面将粉末供给到所
述内壁和在处于关闭状态时积聚通过上面进入所述粉末供给/回收部件
内的粉末。
2.根据权利要求1所述的粉末沉积装置，
其中在所述鼓形转动体以产生使得粉末不会从所述内壁脱落的离心
力的程度的速度转动的状态下，所述盖部件从关闭状态逐渐变到打开状
态而将粉末供给到所述内壁。
3.根据权利要求2所述的粉末沉积装置，
其中所述粉末供给/回收部件能够在上面与所述鼓形转动体的内壁
分离的状态和上面与所述鼓形转动体的内壁接触或邻近的状态之间移
动，
其中当所述盖部件从关闭状态逐渐变到打开状态而将粉末供给到所
述内壁时，所述上面处于上面与所述鼓形转动体的内壁分离的状...

【专利技术属性】
技术研发人员：须藤业，香取健二，本村勇人，
申请(专利权)人：索尼公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP