【技术实现步骤摘要】
一种电源短路保护报警电路
本专利技术涉及离子注入机电源短路保护及报警功能,涉及离子注入机,属于半导体装备制造领域。
技术介绍
离子注入机是半导体器件制造中重要的掺杂设备,该设备通过引导杂质离子注入半导体晶片,从而改变晶片传导率。但是,由于离子注入机结构和电气线路非常复杂,以及大量电源的使用,短路现象多次发生。短路首先会造成电源的损坏,进而影响束流的稳定性,产品的合格率。严重时可能造成设备损坏。为提高设备的稳定性及产品合格率,对电源短路保护报警电路的应用极为重要。本专利技术提供了一种电源短路保护报警电路,该电路实现方便,功能齐全,实践表明该电路对电源短路保护效果良好。
技术实现思路
本专利技术涉及一种电源短路保护报警电路。该专利技术应用于离子注入机,该电路适用于离子注入机中所有直流电源。本专利技术通过以下技术方案实现:电源短路保护报警电路基本框图如图1所示,它包括四个主要功能单元:电源输出电路(1),电源短路自动断开/闭合电路(2),电源信号转换电路(3)和报警电路(4)。各功能单元的实现电路及作用如下:电源输出电路:各型号电源输出的直流可调电压,以及各电源电流监控输出端口0~10V的反馈电压信号。电源短路自动断开/闭合电路:当电源发生短路时,电源自动断开,排除故障后能自动恢复。该电路采用继电器来完成,控制继电器工作的信号为电源信号转换电路(3)的触发电平。电源信号转换电路:运算放大器的同相输入端为电源电流监控输出端口0~10V的反馈电压信号,反相输入端为预设电压,该电路通过设定电压值与电源监控输出电压值相比较,当高于设定值时触发电平信号。报警电路:报警采集信号 ...
【技术保护点】
一种电源短路保护报警电路,主要包括:电源输出电路(1)、电源短路自动断开/闭合电路(2)、电源信号转换电路(3)、报警电路(4)。由于电源的电流监控输出端口输出0至10V电压信号,因此,当电源输出电路(1)发生短路时,电流瞬时增大,电源电流输出端口的输出电压也突然迅速升高。当监控端口的电压升高到一定数值时,即可认为产生了短路。电源信号转换电路(3)通过设定电压值与电源监控输出电压值相比较,当高于设定值时触发电平信号,电源短路自动断开/闭合电路(2)通过继电器动作断开电路,同时,报警电路(4)采集电平信号触发蜂鸣器报警。排除故障后,电路自动恢复。
【技术特征摘要】
1.一种电源短路保护报警电路,主要包括:电源输出电路(1)、电源短路自动断开/闭合电路(2)、电源信号转换电路(3)、报警电路(4)。由于电源的电流监控输出端口输出0至10V电压信号,因此,当电源输出电路(1)发生短路时,电流瞬时增大,电源电流输出端口的输出电压也突然迅速升高。当监控端口的电压升高到一定数值时,即可认为产生了短路。电源信号转换电路(3)通过设定电压值与电源监控输出电压值相比较,当高于设定值时触发电平信号,电源短路自动断开/闭合电路(2)通过继电器动作断开电路,同时,报警电路(4)采集电平信号触发蜂鸣器报警。排除故障后,电路自动恢复。2.如权利要求1所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员:马少志,
申请(专利权)人:北京中科信电子装备有限公司,
类型:发明
国别省市:北京,11
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