The invention discloses a novel fin field effect transistor and its manufacturing method, the new fin field effect transistor, the invention includes: a substrate; on the base of the fin, the two ends of the fin forming a source region and a drain region; intermediate across the source region and the drain region fin on the surface and the two sides of the gate structure, the fin surface is a convex tooth structure, the convex tooth part is convex tooth structure, the mobility enhancement zone between the fin on the surface of the two teeth, the source region and the drain region without doping in the tooth top, convex tooth structure the gate structure embedded in the fin portion, the invention can improve the transistor drive current, improving transistor performance.
【技术实现步骤摘要】
一种新型鳍式场效应晶体管及其制作方法
本专利技术涉及半导体
,特别涉及一种鳍式场效应晶体管及其制作方法。技术背景晶体管是集成电路中关键的元件。为了满足晶体管更快速的需求,需要较高的驱动电流。另外,由于晶体管的驱动电流正比于晶体管的栅极宽度,为了提高驱动电流,需要较大的栅极宽度。鳍式场效应晶体管具有一从基底突出的狭窄半导体材料有源区域作为鳍部,此鳍部包括两端的源区与漏区,栅极结构包括栅介质层以及位于栅介质层上的栅电极,栅极结构横跨源区与漏区之间的鳍部,与其上表面以及两侧接触形成导电沟道,相当于增加了栅极宽度,有效增加了驱动电流,改善了器件性能。随着现有相关技术的进步,器件的特征尺寸进一步下降,需进一步改善工艺,进一步增加驱动电流。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种新型鳍式场效应晶体管的制作方法,提高晶体管驱动电流,改善晶体管性能。本专利技术的另一目的是提供上述方法制作的鳍式场效应晶体管。为实现上述目的,本专利技术采用如下技术方案:一种新型鳍式场效应晶体管的制作方法,包括以下步骤:(1)提供基底,并在所述基底上形成一半导体凸出结构;(2)制作并通过第一掩膜版刻蚀所述半导体凸出结构,形成上表面呈凸齿结构的鳍部,所述凸齿结构凸起部分为齿部;(3)在未被第一掩膜版覆盖的鳍部表面沉积与鳍部晶格常数不同迁移率增强区;(4)制作第二掩膜版,第二掩膜版覆盖鳍部中间,同时以第一掩膜版以及第二掩膜版为掩膜,向所述鳍部两端掺杂杂质,形成源区以及漏区,并去除第二掩膜版以及第一掩膜版;(5)制作覆盖源区以及漏区的第三掩膜版,所述第三掩膜版两端开口边缘投影在未被掺杂的中间 ...
【技术保护点】
一种新型鳍式场效应晶体管的制作方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)提供基底,并在所述基底上形成一半导体凸出结构;(2)制作并通过第一掩膜版刻蚀所述半导体凸出结构,形成上表面呈凸齿结构的鳍部,所述凸齿结构凸起部分为齿部;(3)在未被第一掩膜版覆盖的鳍部表面沉积与鳍部晶格常数不同迁移率增强区;(4)制作第二掩膜版,第二掩膜版覆盖鳍部中间,同时以第一掩膜版以及第二掩膜版为掩膜,向所述鳍部两端掺杂杂质,形成源区以及漏区,并去除第二掩膜版以及第一掩膜版;(5)制作覆盖源区以及漏区的第三掩膜版,所述第三掩膜版两端开口边缘投影在未被掺杂的中间的鳍部上,通过第三掩膜版形成嵌入所述鳍部的凸齿结构内的栅极结构,并去除第三掩膜版。
【技术特征摘要】
1.一种新型鳍式场效应晶体管的制作方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)提供基底,并在所述基底上形成一半导体凸出结构;(2)制作并通过第一掩膜版刻蚀所述半导体凸出结构,形成上表面呈凸齿结构的鳍部,所述凸齿结构凸起部分为齿部;(3)在未被第一掩膜版覆盖的鳍部表面沉积与鳍部晶格常数不同迁移率增强区;(4)制作第二掩膜版,第二掩膜版覆盖鳍部中间,同时以第一掩膜版以及第二掩膜版为掩膜,向所述鳍部两端掺杂杂质,形成源区以及漏区,并去除第二掩膜版以及第一掩膜版;(5)制作覆盖源区以及漏区的第三掩膜版,所述第三掩膜版两端开口边缘投影在未被掺杂的中间的鳍部上,通过第三掩膜版形成嵌入所述鳍部的凸齿结构内的栅极结构,并去除第三掩膜版。2.根据权利要求1所述的新型鳍式场效应晶体管的制作方法,其特征在于:所述基底为硅或者绝缘体上硅。3.根据权利要求2所述的新型鳍式场效应晶体管的制作方法,其特征在于:所述迁移率增强区为硅锗或碳化硅。4.根据权利要求1所述的新型鳍式场效应晶体管的制作方法,其特征在于:第(3)步采用外延生长法沉积迁移率增强区。5.根据权利要求1所述的新型鳍式场...
【专利技术属性】
技术研发人员:李风浪,
申请(专利权)人:东莞市联洲知识产权运营管理有限公司,
类型:发明
国别省市:广东,44
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