提供一种处理装置，该处理装置包括：操作部，其具备对规定的编辑文件进行编辑的操作画面；存储部，其存储所述编辑文件，所述编辑文件至少包括与规定的图形图像文件相当的数据和与规定的数据文件相当的数据、以及将所述规定的数据文件加密后的加密数据；以及控制部，其执行对将所述加密数据解除而生成的所述规定的数据文件和所述规定的数据文件进行比较的处理、以及在所述操作画面显示根据所述比较的结果将所述规定的图形图像文件和所述规定的数据文件合并为一个文件从而生成的所述编辑文件的处理。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及在对被处理体进行处理的处理装置中使用的特定的编辑文件的管理。
技术介绍
以往，对基板进行处理的基板处理装置等处理装置，作为DRAM、IC等器件的制造工序的一道工序而实施了基板处理工序，该基板处理工序基于定义有处理条件以及处理顺序的配方(工艺配方)而对基板进行处理，其中，处理条件以及处理顺序也为编辑文件之一。实施这样的工序的基板处理装置的各部分的动作由控制部来控制。工艺配方由多个步骤构成，各步骤是在操作画面(配方编辑画面)上通过数据的修改等编辑作业来创建的。然后，在编辑之后，通过在操作画面上对表示处理气体的供排状况的气体流型图进行显示，能够确认编辑内容。例如，根据专利文献1，在工艺配方的编辑过程中在操作画面上在规定的时间内未进行任何操作的情况下，进行退出处理和画面切换处理。由此来防止第三人的数据编辑作业。另外，根据专利文献2，构成为从配方编辑画面切换显示到柔性气体模型画面(softgaspatternpicture)，并在操作画面(柔性气体模型画面)上显示基于各步骤的气体流型图。由此，对处理气体的供排状况是否符合编辑内容进行确认。像这样，由于工艺配方是用于对基板进行处理的配方，所以若由第三人自由地编辑，则不仅牵涉到处理基板的品质不良，而且还牵涉到装置的可靠性的损失，因此对确保安全性的对策进行了研究。另一方面，气体流型图之类的编辑文件的创建以及修改等的编辑主要是在国内使用，从而并未特别设置限制或权限。因此，该气体流型图的编辑文件的创建及编辑虽使用了专用的数据编辑工具，但有可能因某种理由使得该数据编辑工具落入第三人手中，编辑文件有被恶意使用的危险。专利文献1：日本特开2008-112968号公报专利文献2：日本特开2006-093494号公报
技术实现思路
本专利技术的目的在于禁止无权限的第三人对编辑文件的编辑作业。根据本专利技术的一个方式，提供一种处理装置，该处理装置包括：操作部，其具备对规定的编辑文件进行编辑的操作画面；存储部，其存储所述编辑文件，所述编辑文件至少包括与规定的图形图像文件相当的数据和与规定的数据文件相当的数据、以及将所述规定的数据文件加密后的加密数据；以及控制部，其执行对将所述加密数据解除而生成的所述规定的数据文件和所述规定的数据文件进行比较的处理、以及在所述操作画面显示根据所述比较的结果将所述规定的图形图像文件和所述规定的数据文件合并为一个文件从而生成的所述编辑文件的处理。专利技术效果根据本专利技术的处理装置，能够禁止由无权限的第三人对编辑文件的数据的篡改。附图说明图1是本专利技术的一个实施方式的基板处理系统的概要结构图。图2是本专利技术的一个实施方式的基板处理装置的立体透视图。图3是本专利技术的一个实施方式的基板处理装置的侧视透视图。图4是本专利技术的一个实施方式的基板处理装置的处理炉的纵剖视图。图5是本专利技术的一个实施方式的基板处理装置所具备的基板处理用控制器及其周围的结构框图。图6是表示在本专利技术的一个实施方式的基板处理装置的操作画面显示的编辑文件的安装流程的例子。图7是防止在本专利技术的一个实施方式的基板处理装置中显示于操作画面的编辑文件被第三人编辑的例子。图8是基于由本专利技术的一个实施方式的基板处理装置执行的显示程序对编辑文件进行显示的图示例。图9是防止第三者关于创建在本专利技术的一个实施方式的基板处理装置的操作画面上显示的编辑文件的专用的编辑工具进行编辑的图示例。图10是用于说明在由本专利技术的一个实施方式的基板处理装置执行的显示程序起动之前执行的数据校验处理的图。具体实施方式<本专利技术的一个实施方式>以下，对本专利技术的一个实施方式进行说明。(1)基板处理系统的结构首先，利用图1对本专利技术的一个实施方式的基板处理系统的结构进行说明。图1是本专利技术的一个实施方式的基板处理系统的概要结构图。如图1所示，本实施方式的基板处理系统具备：至少一台基板处理装置100；以及群组管理装置500，其以能够与基板处理装置100交换数据的方式与该基板处理装置100连接。基板处理装置100构成为执行基于定义有处理顺序以及处理条件的配方的处理工艺。基板处理装置100与群组管理装置500之间例如由局域网(LAN)、广域网(WAN)等网络400连接。(2)基板处理装置的结构接下来，参照图2、图3对本实施方式的基板处理装置100的结构进行说明。图2是本专利技术的一个实施方式的基板处理装置的立体透视图。图3是本专利技术的一个实施方式的基板处理装置的侧视透视图。此外，本实施方式的基板处理装置100构成为例如对晶片等基板进行氧化、扩散处理、CVD处理等的纵置型的装置。如图2、图3所示，本实施方式的基板处理装置100具备作为耐压容器而构成的框体111。在框体111的正面壁111a的正面前方部，开设有作为能够维护而设的开口部的正面维护口103。在正面维护口103，作为对正面维护口103进行开闭的进入机构而设有一对正面维护门104。容纳硅等晶片(基板)200的盒(pod；基板收容器)110用作向框体111的内外搬运晶片200的载体。在框体111的正面壁111a，以使框体111的内外连通的方式开设有盒搬入搬出口(基板收容器搬入搬出口)112。盒搬入搬出口112由前挡板(基板收容器搬入搬出口开闭机构)113进行开闭。在盒搬入搬出口112的正面前侧，作为载置部而设置有装载端口(基板收容器交接台)114。使舟皿载置在装载端口114上，同时使盒110对位。盒110构成为由OHT(OverheadHoistTransport：空中行驶式无人搬运车)等工序内搬运装置(未图示)向装载端口114上搬运。在框体111内的前后方向上的大致中央部的上部设置有旋转式盒架(基板收容器载置架)105。在旋转式盒架105上保管有多个盒110。旋转式盒架105具备：支柱116，其垂直地立起设置、且在水平面内间歇地旋转；以及多个架板(基板收容器载置台)117，其在支柱116的上中下层的各位置以放射状支承于该支柱116。多个架板117构成为以分别载置有多个盒110的状态保持这些盒。在框体111内的装载端口114与旋转式盒架105之间设置有盒搬运装置(基板收容器搬运装置)118。盒搬运装置118构成为包括：盒升降机(基板收容器升降机构)118a，其能够在保持有盒110的状态下升降；以及盒搬运机构(基板收容器搬运机构)118b，其为搬运机构。盒搬运装置118构成为通过盒升降机118a和盒搬运机构118b的连续动作而在装载端口114、旋转式盒架105、盒开启器(基板收容器盖体开闭机构)121的彼此之间对盒110进行搬运。在框体111内的下部，子框体119从框体111内的前后方向上的大致中央部设置至后端为止。在子框体119的正面壁119a，以在垂直方向上排列成上下二层的方式设置有向子框体119的内外搬运晶片200的一对晶片搬入搬出口(基板搬入搬出口)120。在上下层的晶片搬入搬出口120分别设置有盒开启器121。各盒开启器121具备：一对载置台122，其供盒110载置；以及盖装卸机构(盖体装卸机构)123，其对盒110的盖(盖体)进行装卸。盒开启器121构成为，利用盖装卸机构123对载置于载置台122上的盒110的盖进行装卸，由此对盒110的晶片取出放入口进行开闭。在子框体119内构成有相对于本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种处理装置，其特征在于，包括：操作部，其具备对规定的编辑文件进行编辑的操作画面；存储部，其存储所述编辑文件，所述编辑文件至少包括与规定的图形图像文件相当的数据和与规定的数据文件相当的数据、以及将所述规定的数据文件加密后的加密数据；以及控制部，其执行对将所述加密数据解除而生成的所述规定的数据文件和所述规定的数据文件进行比较的处理、以及在所述操作画面中显示根据所述比较的结果将所述规定的图形图像文件和所述规定的数据文件合并为一个文件从而生成的所述编辑文件的处理。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种处理装置，其特征在于，包括：操作部，其具备对规定的编辑文件进行编辑的操作画面；存储部，其存储所述编辑文件，所述编辑文件至少包括与规定的图形图像文件相当的数据和与规定的数据文件相当的数据、以及将所述规定的数据文件加密后的加密数据；以及控制部，其执行对将所述加密数据解除而生成的所述规定的数据文件和所述规定的数据文件进行比较的处理、以及在所述操作画面中显示根据所述比较的结果将所述规定的图形图像文件和所述规定的数据文件合并为一个文件从而生成的所述编辑文件的处理。2.一种控制器，其特征在于，包括：操作部，其具备对规定的编辑文件进行编辑的操作画面；存储部，其存储所述编辑文件，所述编辑文件至少包括与规定的图形图像文件相当的数据和与规定的数据文件相当的数据、以及将所述规定的数据文件加密后的加密数据；以及控制部，其执行对将所述加密数据解除而生成的所述规定的数据文件和所述规定的数据文件进行比较的处理、以及在所述操作画面中显示根据所述比较的结果将所述规定的图形图像文件和所述规定的数据文件合并为一个文件从而生成的所述编辑文件的处理。3....
【专利技术属性】
技术研发人员：布村一朗，高畑觉，岩仓裕幸，
申请(专利权)人：株式会社日立国际电气，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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