【技术实现步骤摘要】
本专利技术的实施例涉及功率晶体管,特别地,功率场效应晶体管。
技术介绍
功率晶体管,特别地,功率场效应晶体管,诸如功率MOSFET(金属氧化物场效应晶体管)或者功率IGBT(绝缘栅双极型晶体管)在驱动应用诸如电动机驱动应用或者功率转换应用诸如AC/DC转换器、DC/AC转换器或者DC/DC转换器中被广泛地用作电子开关。需要提供能够阻断高电压并且具有低的比导通电阻(与功率晶体管的半导体区域(芯片大小)相乘的导通电阻)的功率晶体管。另外,针对尤其如果在相同的晶片上制造的简单模拟或逻辑电路使用最小型的晶体管是非常有用的。
技术实现思路
一个实施例涉及功率晶体管。功率晶体管包含至少两个晶体管单元,每个晶体管单元包含:半导体本体的半导体鳍中的漏极区、漂移区以及本体区;邻接本体区的源极区;邻近本体区并且通过栅极电介质与本体区电介质绝缘的栅极电极;以及通过场电极电介质与漂移区电介质绝缘并且被连接到源极区的场电极。场电极电介质被布置在半导体鳍与场电极之间的第一沟槽中。所述至少两个晶体管单元包括第一晶体管单元以及第二晶体管单元。第一晶体管单元的半导体鳍通过不同于第一沟槽的第二沟槽与第二晶体管单元的半导体鳍分离。另一个实施例涉及方法。所述方法包含:在邻近第一半导体鳍的第一沟槽以及邻近第二半导体鳍的第二沟槽中的每个中形成栅极电极、栅极电极电介质以及场电极电介质;在第一与第二半导体鳍之间的第三沟槽中形成绝缘层;形成第一场电极,所述第一场电极与绝缘层和第一半导体鳍间隔分开并且邻近在第一沟槽中形成的场电极电介质;以及形成第二场电极 ...
【技术保护点】
一种功率晶体管,包括至少两个晶体管单元,每个包括:在半导体本体的半导体鳍中的漏极区、漂移区以及本体区;邻接本体区的源极区;栅极电极,邻近本体区并且通过栅极电介质与本体区电介质绝缘;场电极,通过场电极电介质与漂移区电介质绝缘并且被连接到源极区,其中场电极电介质被布置在半导体鳍与场电极之间的第一沟槽中;其中所述至少两个晶体管单元包括第一晶体管单元以及第二晶体管单元,其中第一晶体管单元的半导体鳍通过不同于第一沟槽的第二沟槽与第二晶体管单元的半导体鳍分离。
【技术特征摘要】
2014.11.25 DE 102014117242.61.一种功率晶体管,包括至少两个晶体管单元,每个包括:
在半导体本体的半导体鳍中的漏极区、漂移区以及本体区;
邻接本体区的源极区;
栅极电极,邻近本体区并且通过栅极电介质与本体区电介质绝缘;
场电极,通过场电极电介质与漂移区电介质绝缘并且被连接到源极区,其中场电极电介质被布置在半导体鳍与场电极之间的第一沟槽中;
其中所述至少两个晶体管单元包括第一晶体管单元以及第二晶体管单元,
其中第一晶体管单元的半导体鳍通过不同于第一沟槽的第二沟槽与第二晶体管单元的半导体鳍分离。
2.根据权利要求1所述的功率晶体管,其中所述至少两个晶体管单元包括第三晶体管单元,其中第一晶体管单元与第三晶体管单元具有相同的场电极。
3.根据权利要求1所述的功率晶体管,其中栅极电极和栅极电介质被布置在第一沟槽中。
4.根据权利要求1所述的功率晶体管,其中栅极电极和栅极电介质被布置在第二沟槽中。
5.根据权利要求1所述的功率晶体管,其中所述至少两个晶体管单元通过使每个晶体管单元的栅极电极连接到栅极节点、通过使每个晶体管单元的漏极区连接到漏极节点、并且通过使每个晶体管单元的场电极连接到源极节点而被并联连接。
6.根据权利要求1所述的功率晶体管,其中所述第二沟槽容纳进一步的栅极电极,所述进一步的栅极电极通过进一步的栅极电介质与第一和第二晶体管单元的本体区电介质绝缘。
7.根据权利要求1所述的功率晶体管,其中本体区具有与源极区相同的掺杂类型。
8.根据权利要求1所述的功率晶体管,其中本体区具有与源极区的掺杂类型互补的掺杂类型。
9.根据权利要求1所述的功率晶体管,其中场电极包括从由以下各项组成的组中选择的材料:
金属;
金属氮化物;
碳;以及
高掺杂的多晶半导体材料。
10.根据权利要求5所述的功率晶体管,
其中所述至少两个晶体管单元中的每个进一步包括本体接触电极,
其中本体接触从半导体鳍的表面延伸到本体区、与漂移区电气绝缘、在半导体鳍的纵向方向中邻近漂移区,
并且被连接到源极节点。
11.根据权利要求5所述的功率晶体管,进一步包括:
至少一个栅极接触电极,连接在所述至少两个晶体管单元的栅极电极与栅极节点之间。
12.根据权利要求11所述的功率晶体管,其中每个晶体管单元包括栅极接触电极。
13.根据权利要求11所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:M巴特尔斯,R魏斯,
申请(专利权)人:英飞凌科技德累斯顿有限责任公司,
类型:发明
国别省市:德国;DE
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