粒子传感器和用于感测流体中的粒子的方法技术

本发明专利技术涉及粒子传感器和用于感测流体中的粒子的方法。各种实施例提供粒子传感器，所述粒子传感器包括：第一载体，所述第一载体包括至少一个加热结构和光探测结构；设置在所述第一载体之上的至少一个间隔物结构；设置在所述至少一个间隔物结构之上的第二载体，所述第二载体包括发光结构；其中所述第一载体、所述第二载体以及所述至少一个间隔物结构被布置成提供用于流体流动的通道，其中所述发光结构被配置成向所述通道中发射光，并且其中所述光探测结构被配置成探测来自所述通道的光。

Particle sensors and methods for sensing particles in the fluid

The invention relates to a particle sensor and a method for sensing particles in a fluid. Various embodiments provide particle sensor, the particle sensor includes a first carrier, the first carrier includes at least one heating structure and light detection structure; arranged on the at least one spacer structure is first on the carrier; arranged on the at least one second carrier spacer structure, the second the carrier includes a light emitting structure; wherein the first carrier and the second carrier and the at least one spacer structure is arranged to provide for the fluid flow channel, wherein the light emitting structure is configured to emit light to the channel, and wherein the light detection structure is configured to detect from the the optical channel.

【技术实现步骤摘要】
粒子传感器和用于感测流体中的粒子的方法
各种实施例一般涉及粒子传感器和用于感测流体中的粒子的方法。
技术介绍
空气中的粒子污染（也称为颗粒性物质）是受到越来越多关注的主题。除了监测环境中的颗粒性物质之外，存在关于在用于处理半导体的洁净室中的颗粒性物质的预定要求，这使对颗粒性物质的监测是必要的或有帮助的。可以在气体（例如，空气）中或者在液体中（例如，在用于洁净室处理的水中）监测颗粒性物质。气体和液体可以称为流体。颗粒性物质可以包括气体中的固体和液体微滴，以及液体中的固体微滴。粒子可以具有各种各样的大小。可能怀疑具有小于10微米的直径的粒子（也称为PM10）会引起严重的健康问题。具有小于2.5微米的直径的粒子（也称为PM2.5）被称为细粒子。具有在2.5微米与10微米之间的直径的粒子被称为粗粒子。可以通过例如经由激光衍射粒子大小分析、凝结粒子计数器、差分式迁移率分析系统、动态光散射等评估的粒子的统计平均直径来对所述粒子的大小进行分类。
技术实现思路
各种实施例提供一种粒子传感器，所述粒子传感器包括：第一载体，所述第一载体包括至少一个加热结构和光探测结构；设置在所述第一载体之上的至少一个间隔物本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种粒子传感器，包括：第一载体，所述第一载体包括至少一个加热结构和光探测结构，设置在所述第一载体之上的至少一个间隔物结构，设置在所述至少一个间隔物结构之上的第二载体，所述第二载体包括发光结构，其中所述第一载体、所述第二载体以及所述至少一个间隔物结构被布置成提供用于流体流动的通道，其中所述发光结构被配置成向所述通道中发射光，并且其中所述光探测结构被配置成探测来自所述通道的光。

【技术特征摘要】
2016.06.09 US 15/1774041.一种粒子传感器，包括：第一载体，所述第一载体包括至少一个加热结构和光探测结构，设置在所述第一载体之上的至少一个间隔物结构，设置在所述至少一个间隔物结构之上的第二载体，所述第二载体包括发光结构，其中所述第一载体、所述第二载体以及所述至少一个间隔物结构被布置成提供用于流体流动的通道，其中所述发光结构被配置成向所述通道中发射光，并且其中所述光探测结构被配置成探测来自所述通道的光。2.权利要求1所述的粒子传感器，其中所述通道具有至少两个开口，所述至少两个开口限定流体从所述至少两个开口中的一个到所述至少两个开口中的另一个的流动方向。3.权利要求2所述的粒子传感器，其中所述通道被配置成具有沿着流动方向在从大约1mm到大约10mm的范围内的长度。4.权利要求2所述的粒子传感器，其中所述通道被配置成具有垂直于流动方向在从大约0.5mm到大约2mm的范围内的宽度。5.权利要求4所述的粒子传感器，其中所述通道被配置成具有垂直于流动方向在从大约10µm到大约500µm的范围内的高度。6.权利要求1所述的粒子传感器，进一步包括：驱动器电路，耦合到所述至少一个加热结构并且配置成提供流过所述至少一个加热结构的加热电流。7.权利要求6所述的粒子传感器，其中所述驱动器电路被配置成控制所述加热电流以提供具有在从大约0.5mm/s到大约5mm/s的范围内的流动速度的流体流动。8.权利要求1所述的粒子传感器，进一步包括：温度传感器，被配置成测量在所述通道中流动的流体的温度。9.权利要求2所述的粒子传感器，进一步包括：至少两个温度传感器，其中所述至少两个温度传感器中的一个被配置成测量在所述至少两个开口中的一个开口处的流体的温度，并且其中所述至少两个温度传感器中的另一个被配置成测量在所述至少两个开口中的另一个开口处的流体的温度。10.一种粒子传感器，包括：第一载体，隔离结构，设置成在所述第一载体之上和在所述第一载体中的至少一种；腔体结构，设置成在所述第一载体之上和在所述第一载体中的至少一种，所述腔体结构包括无固体材料的至少一个腔体；设置在所述腔体结构之上的加热层，其中所述隔离结构使所述加热层与所述第一载体隔离；电极结构，电接触所述加热层以提供流过所述加热层的电加热电流；光探测结构，设置成在所述第一载体之上和在所述第一载体中的至...

【专利技术属性】
技术研发人员：T考奇，
申请(专利权)人：英飞凌科技德累斯顿有限责任公司，
类型：发明
国别省市：德国,DE