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本发明涉及粒子传感器和用于感测流体中的粒子的方法。各种实施例提供粒子传感器,所述粒子传感器包括:第一载体,所述第一载体包括至少一个加热结构和光探测结构;设置在所述第一载体之上的至少一个间隔物结构;设置在所述至少一个间隔物结构之上的第二载体,...该专利属于英飞凌科技德累斯顿有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过英飞凌科技德累斯顿有限责任公司授权不得商用。
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本发明涉及粒子传感器和用于感测流体中的粒子的方法。各种实施例提供粒子传感器,所述粒子传感器包括:第一载体,所述第一载体包括至少一个加热结构和光探测结构;设置在所述第一载体之上的至少一个间隔物结构;设置在所述至少一个间隔物结构之上的第二载体,...