电子级化学品分装设备制造技术

阅读:7 留言:0更新日期:2017-03-29 20:54
本实用新型专利技术涉及一种电子级化学品分装设备,属于化学品充填设备技术领域,包括设备主体(1),设备主体(1)底部设有滚轮输送线(7)、电子称平台(9),滚轮输送线(7)与变频电机(15)的输出端相连,电子称平台(9)设于滚轮输送线(7)下方,设备主体(1)中部设有气动阀门放置平台(3)、分装机械手(4),气动阀门放置平台(3)上装设有气动阀门(16),气动阀门(16)与分装机械手(4)相连,分装机械手(4)、电子称平台(9)、变频电机(15)分别通过线路连接工业电脑(5);本实用新型专利技术不仅可以精确的控制分装精度,提高生产效率,而且能够提高分装区环境洁净度,降低了作业风险,提高操作人员安全。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及化学品充填设备
,具体地说是一种电子级化学品分装设备。
技术介绍
在大规模集成电路(IC)制造中(RCA清洗,湿式蚀刻等制程工艺)需要使用大量电子级化学品。目前电子级化学品包含有三大类:1.酸类化学品(硫酸、硝酸等);2.碱类化学品(氢氧化钠、氢氧化钾、氨水等);3.有机溶剂类化学品(丙酮、无水乙醇等)。大部分化学品都具有腐蚀性,酸性,强氧化性等特性。同时电子级化学品对其浓度,微粒杂质含量,金属离子含量要求非常严苛。随着IC制程技术的不断进步,对高纯电子级化学品质量要求也越来越高。因此电子级化学品分装系统不同于其他分装系统,需要在提高生产效率的同时还需要满足超洁净的分装环境,更安全的操作性。目前,国内电子级化学品生产刚刚起步,现有电子级化学品分装设备的微粒子控制能力弱,自动化程度低,安全保护措施不充分等问题。随着国内半导体行业的快速发展,与之配套的上游电子级化工产业也纷纷配套研发更高标准的电子级化学品,因此对设备生产效率,洁净度,安全性等也提出更高的要求。
技术实现思路
本技术的目的就是要解决上述的不足而提供一种电子级化学品分装设备,不仅可以精确的控制分装精度,提高生产效率,而且能够提高分装区环境洁净度,降低了作业风险,提高操作人员安全。为实现上述目的设计一种电子级化学品分装设备,包括设备主体1,所述设备主体1底部设有滚轮输送线7、电子称平台9,所述滚轮输送线7上置有化学品桶6,所述滚轮输送线7与变频电机15的输出端相连,所述电子称平台9设于滚轮输送线7下方,所述设备主体1中部设有气动阀门放置平台3、分装机械手4,所述气动阀门放置平台3上装设有气动阀门16,所述气动阀门16与分装机械手4相连,所述分装机械手4、电子称平台9、变频电机15分别通过线路连接工业电脑5,所述工业电脑5安装在设备主体1上。所述设备主体1顶部设有高效空气过滤器2,所述设备主体1底部设有回风管一14,所述高效空气过滤器2与回风管一14之间形成洁净空气流场。所述分装机械手4底部设有回风管二13,所述回风管二13与回风管一14相连通。所述设备主体1上还设有紧急停止按钮11、条码识别器12,所述紧急停止按钮11、条码识别器12分别与工业电脑5相连。所述滚轮输送线7上方装设有位置传感器10,所述位置传感器10通过线路连接工业电脑5。所述滚轮输送线7下方装设有漏液传感器17,所述漏液传感器17通过线路连接工业电脑5。所述设备主体1上方前端面上装设有前防护门8。所述设备主体1采用防腐聚丙烯或聚乙烯材料制作而成。本技术同现有技术相比,具有如下优点:(1)主体设备采用聚丙烯包覆高碳钢制作,具有耐腐蚀和高洁净度的优点;(2)顶部安装有高效空气过滤器和底部回风管一,内部具有良好的回风流场设计,可以有效减少设备内微粒子数量,可以达到CLASS100(一立方英尺的空间内空气中直径为0.5微米的尘粒少于100颗)等级,最大程度减少了电子级化学品在分装时被污染的可能性;(3)化学品桶在分装时桶内会有害气体会挥发,通过机械手底部回风管二及时抽取至底部回风管一最大程度减少有害气体挥发,降低作业风险;(4)设备内阀门放置平台增加了分装化学品种类,使得设备具有更高的生产灵活性,最多可用于12种不同的化学品分装,其中内置侦测机构和自锁机构配合条码识别器工业电脑分装机械手避免了分装化学品出现产品类别错误;(5)采用分装机械手气动阀门工业电脑电子称平台控制化学品自动分装,可以精确的控制分装精度,提高生产效率,提高分装区环境洁净度,降低作业风险;(6)采用工业电脑配合传感器、滚轮输送线、变频电机进行化学品桶的自动传输,提高生产效率,提高分装区环境洁净度,降低作业风险;(7)滚轮输送线采用聚丙烯材质包覆不锈钢制作,能减少设备内微粒子杂质的产生,具有高洁净度,防腐蚀,负载能力大等优点,滚轮输送线采用多分段设计配合变频电机,输送更加灵活安全;(8)设备内包含前防护门紧急停止按钮、漏液传感器等防护措施,进一步提高操作人员安全。附图说明图1是本技术的结构示意图。图中:1、设备主体2、高效空气过滤器3、气动阀门放置平台4、分装机械手5、工业电脑6、化学品桶7、滚轮输送线8、前防护门9、电子称平台10、位置传感器11、紧急停止按钮12、条码识别器13、回风管二14、回风管一15、变频电机16、气动阀门17、漏液传感器。具体实施方式下面结合附图对本技术作以下进一步说明:如附图所示,本技术包括:设备主体1,设备主体1底部设有滚轮输送线7、电子称平台9,滚轮输送线7上置有化学品桶6,滚轮输送线7与变频电机15的输出端相连,电子称平台9设于滚轮输送线7下方,设备主体1中部设有气动阀门放置平台3、分装机械手4,气动阀门放置平台3上装设有气动阀门16,气动阀门16与分装机械手4相连,分装机械手4、电子称平台9、变频电机15分别通过线路连接工业电脑5,工业电脑5安装在设备主体1上。本技术中,设备主体1顶部设有高效空气过滤器2,设备主体1底部设有回风管一14,高效空气过滤器2与回风管一14之间形成洁净空气流场,分装机械手4底部设有回风管二13,回风管二13与回风管一14相连通;设备主体1上还设有紧急停止按钮11、条码识别器12,滚轮输送线7上方装设有位置传感器10,滚轮输送线7下方装设有漏液传感器17,紧急停止按钮11、条码识别器12、位置传感器10、漏液传感器17分别与工业电脑5相连;设备主体1采用防腐聚丙烯或聚乙烯材料制作而成,设备主体1上方前端面上装设有前防护门8。本技术的基本原理为:设备主体采用高洁净防腐蚀聚丙烯、聚乙烯材料等材料制作,防止设备内微粒子污染;通过顶部高效空气过滤器机械手底部回风管二底部回风管一形成洁净空气流场,防止有害气体外泄,控制设备内洁净度;阀门放置平台增加了分装化学品种类,其中内置的自锁机构配合条码识别器工业电脑分装机械手使得分装化学品不会出现产品类别错误;采用工业电脑配合分装机械手进行自动分装,条码识别器配合工业电脑进行产品识别,选择配方;采用工业电脑配合传感器、滚轮输送线、变频电机进行自动传输,采用气动阀门配合分装机械手工业电脑电子称平台控制化学品分装精度,采用前防护门紧急停止按钮漏液传感器保护操作人员安全;漏液传感器侦测有无漏液情况,配合工业电脑进行设备内部漏液报警;滚轮输送线采用变频电机和耐腐蚀聚丙烯材质包覆不锈钢制作。本技术并不受上述实施方式的限制,其他的任何未背离本技术的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化,均应为等效的置换方式,都包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电子级化学品分装设备,其特征在于:包括设备主体(1),所述设备主体(1)底部设有滚轮输送线(7)、电子称平台(9),所述滚轮输送线(7)上置有化学品桶(6),所述滚轮输送线(7)与变频电机(15)的输出端相连,所述电子称平台(9)设于滚轮输送线(7)下方,所述设备主体(1)中部设有气动阀门放置平台(3)、分装机械手(4),所述气动阀门放置平台(3)上装设有气动阀门(16),所述气动阀门(16)与分装机械手(4)相连,所述分装机械手(4)、电子称平台(9)、变频电机(15)分别通过线路连接工业电脑(5),所述工业电脑(5)安装在设备主体(1)上。

【技术特征摘要】
1.一种电子级化学品分装设备,其特征在于:包括设备主体(1),所述设备主体(1)底部设有滚轮输送线(7)、电子称平台(9),所述滚轮输送线(7)上置有化学品桶(6),所述滚轮输送线(7)与变频电机(15)的输出端相连,所述电子称平台(9)设于滚轮输送线(7)下方,所述设备主体(1)中部设有气动阀门放置平台(3)、分装机械手(4),所述气动阀门放置平台(3)上装设有气动阀门(16),所述气动阀门(16)与分装机械手(4)相连,所述分装机械手(4)、电子称平台(9)、变频电机(15)分别通过线路连接工业电脑(5),所述工业电脑(5)安装在设备主体(1)上。2.如权利要求1所述的电子级化学品分装设备,其特征在于:所述设备主体(1)顶部设有高效空气过滤器(2),所述设备主体(1)底部设有回风管一(14),所述高效空气过滤器(2)与回风管一(14)之间形成洁净空气流场。3.如权利要求1或2所述的电子级化学品分装设备,其特...

【专利技术属性】
技术研发人员:岳佳佳简建至简水村林裕哲
申请(专利权)人:冠礼控制科技上海有限公司
类型:新型
编号:201621056641
国别省市:上海;31

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