The utility model provides a novel polycrystalline silicon chip cleaning machine, which belongs to the technical field of machinery. The utility model solves the problem that the cleaning effect is not good. This new type of polycrystalline silicon wafer cleaning machine comprises a bottom plate and the bottom plate on the plate, the lower plate is provided with a plurality of nozzles, a liquid storage barrel is arranged between the plate and the bottom plate, a liquid storage barrel is open and closed at the bottom, can drive the liquid storage barrel under the translation of the driving part is provided with a base plate, a liquid storage barrel can end and top wall offset and circular plate under the top liquid storage barrel open closed, with a conical support tube fixed in the liquid storing tank, a supporting cylinder diameter decreases downwards, the supporting cylinder port is arranged at the outward flanging on a flange end face is provided with a groove for placing the polysilicon film, and the number of nozzles and nozzle outlet groove with the same groove one is. The utility model has the advantages of good cleaning effect.
【技术实现步骤摘要】
本技术属于机械
,涉及一种清洗机,特别是一种新型多晶硅片清洗机。
技术介绍
当前硅片清洗工艺一般需要引入化学药液来完成对硅片的清洗,传统的清洗工艺一般是将硅片固定在清洗桶内,接着通过设于清洗桶上方的喷头对往硅片表面喷射常温化学药液来达到清洗的效果。但该工艺过程中,化学药液容易受到空气的影响,导致硅片清洗的效果也不理想。
技术实现思路
本技术的目的是针对现有的技术存在上述问题,提出了一种新型多晶硅片清洗机,解决的技术问题是如何提高清洗效果。本技术的目的可通过下列技术方案来实现:一种新型多晶硅片清洗机,包括底板和设于底板上且与其平行的圆板,圆板的下侧设有多个沿圆板的周向均布的喷头,其特征在于,所述的圆板和底板之间设有储液桶,储液桶顶部敞口、底部封闭,所述的底板上设有能驱动储液桶上下平移的驱动件,且储液桶的顶壁能与圆板的下端面相抵并将储液桶的顶部敞口封闭,所述的储液桶内固定有呈锥形的支撑筒,支撑筒和储液桶两者的中心轴线共线,且支撑筒的直径向下逐渐减小,所述的支撑筒的上端口处制有向外的翻边,翻边的上端面上设有用于放置多晶硅片的凹槽,所述的凹槽的数量与喷头相同且凹槽的位置与喷头的出水口一一正对。安装时,每个喷头均通过管道与放置药液的容器相连;初始状态时,储液桶和圆板处于分离状态;使用时,将多晶硅片放入到凹槽内,然后驱动件工作以带动储液桶上移并最终与圆板相抵,在然后喷头对着多晶硅片进行喷射药液,以对多晶硅片进行清洗。清洗完毕后,驱动件带动储液桶下移然后将多晶硅片取出便可。在储液桶底部封闭以及且顶部敞口通过该储液筒和圆板的配合被封闭,使整个清洗的过程在一个密闭的空间内进 ...
【技术保护点】
一种新型多晶硅片清洗机,包括底板和设于底板上且与其平行的圆板,圆板的下侧设有多个沿圆板的周向均布的喷头,其特征在于,所述的圆板和底板之间设有储液桶,储液桶顶部敞口、底部封闭,所述的底板上设有能驱动储液桶上下平移的驱动件,且储液桶的顶壁能与圆板的下端面相抵并将储液桶的顶部敞口封闭,所述的储液桶内固定有呈锥形的支撑筒,支撑筒和储液桶两者的中心轴线共线,且支撑筒的直径向下逐渐减小,所述的支撑筒的上端口处制有向外的翻边,翻边的上端面上设有用于放置多晶硅片的凹槽,所述的凹槽的数量与喷头相同且凹槽的位置与喷头的出水口一一正对。
【技术特征摘要】
1.一种新型多晶硅片清洗机,包括底板和设于底板上且与其平行的圆板,圆板的下侧设有多个沿圆板的周向均布的喷头,其特征在于,所述的圆板和底板之间设有储液桶,储液桶顶部敞口、底部封闭,所述的底板上设有能驱动储液桶上下平移的驱动件,且储液桶的顶壁能与圆板的下端面相抵并将储液桶的顶部敞口封闭,所述的储液桶内固定有呈锥形的支撑筒,支撑筒和储液桶两者的中心轴线共线,且支撑筒的直径向下逐渐减小,所述的支撑筒的上端口处制有向外的翻边,翻边的上端面上设有用于放置多晶硅片的凹槽,所述的凹槽的数量与喷头相同且凹槽的位置与喷头的出水口一一正对。2.根据权利要求1所述的新型多晶硅片清洗机,其特征在于,所述的储液桶的内侧壁上具有呈环状凸出的连接座,且翻边的下端面与连接座的上端面相贴靠,所述的翻边的上端面上设有...
【专利技术属性】
技术研发人员:钱其峰,徐国华,钱鹏飞,陆亚杰,
申请(专利权)人:浙江芯能光伏科技股份有限公司,
类型:新型
国别省市:浙江;33
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