【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种FFU风压监测装置,其特征在于,所述FFU风压监测装置至少包括:电压采样模块,采集所述FFU的风压值并将所述风压值转换为电压采样值;报警模块,与所述电压采样模块相连,比较所述电压采样值与报警模块设定的电压阈值,若所述电压采样值低于所述电压阈值,所述报警模块发出警报;电源输入模块,给所述电压采样模块和所述报警模块供电。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:丁可,马怀强,严峻,刘彬,
申请(专利权)人:中芯国际集成电路制造北京有限公司,中芯国际集成电路制造上海有限公司,
类型:新型
国别省市:北京;11
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